基于分子束外延生长大面积高稳定单层蓝磷烯的制备方法与流程

文档序号:19749274发布日期:2020-01-21 19:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.基于分子束外延生长大面积高稳定单层蓝磷烯的制备方法,其特征在于:包括以下步骤,

步骤1:对cu(111)衬底进行氩离子刻蚀以及退火处理,以去除表面的杂质,得到洁净的cu(111)衬底;

步骤2:对cu(111)衬底进行氧化处理,得到氧化层cu2o(111)衬底;

步骤3:以黑磷为前驱体,在cu2o(111)衬底上用分子束外延的方法沉积磷原子,得到p/cu2o(111);

步骤4:对p/cu2o(111)进行升温以退火,得到大面积均匀单层蓝磷表面。

2.根据权利要求1所述的基于分子束外延生长大面积高稳定单层蓝磷烯的制备方法,其特征在于:步骤1所述氩离子刻蚀时间为12-15min,且保持氩气气压为1.5×10-5mbar,能量为1.5kev。

3.根据权利要求1所述的基于分子束外延生长大面积高稳定单层蓝磷烯的制备方法,其特征在于:步骤1所述退火处理,具体操作过程为将氩离子刻蚀后的衬底,缓慢加热至650-700k并维持1-2min,至表面洁净。

4.根据权利要求1所述的基于分子束外延生长大面积高稳定单层蓝磷烯的制备方法,其特征在于:步骤2所述氧化处理具体操作过程为,维持衬底于温度650k,氧气气压为5×10-7mbar中5min,得到cu2o(111)衬底。

5.根据权利要求1所述的基于分子束外延生长大面积高稳定单层蓝磷烯的制备方法,其特征在于:步骤3中,将黑磷源加热至260℃,衬底加热至360k,在cu2o(111)衬底上分子束外延沉积磷原子3min,得到p/cu2o(111)。

6.根据权利要求1所述的基于分子束外延生长大面积高稳定单层蓝磷烯的制备方法,其特征在于:步骤4所述退火过程为将p/cu2o(111)缓慢加热至590k,并维持20-25min。

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