一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法与流程

技术特征：

1.一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将基体铜、镍或铜镍合金清洗后，置于气相沉积炉的石墨坩埚中，将气相沉积炉抽真空，再向系统中通入氮气至正压，反复操作三次至系统氮气压力保持为0.1mpa以上；

2)按800-1200nm³/h速度通入氮气，启动电加热系统，将铜、镍或铜镍合金加热熔融为铜、镍或铜镍熔融液，并升温至1100-1500度；

3)向熔融液中按20-100nm³/h通入气态烷烃，石墨烯随气体飘浮至熔融液面上，其中，每小时通入气态烷烃的体积为熔融液体积的200-300％；

4)停止通入气态烷烃后，停止加热，直到熔融液冷却凝固后停止通入氮气，所得产品经三氯化铁和盐酸混合溶液进行酸洗去除基体，再清洗后干燥得石墨烯成品。

2.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于，气态烷烃为天燃气、甲烷、乙炔或丙烷。

3.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于，步骤1)中，所述的基体铜、镍或铜镍合金依次采用丙酮、去离子水清洗。

4.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于，气相沉积炉采用循环水冷却。

5.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于，所述的气相沉积炉的石墨坩埚底部分布有若干进气孔，气态烷烃采用底部进气的方式通入铜液中。

6.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于，所述的气相沉积炉的石墨坩埚内设置有气体分布器，气态烷烃通过气体分布器通入铜液中。

7.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法，其特征在于，所述的三氯化铁与盐酸的混合溶液中三氯化铁与盐酸的质量比为3:1。