一种晶体生长提拉升降装置及其工作方法与流程

文档序号:19312207发布日期:2019-12-03 23:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶体生长提拉升降装置,其特征在于,包括水平调节装置、竖直调节装置、径向旋转装置和微提拉装置;

所述水平调节装置包括一固定板和能够相对于固定板左右移动的水平滑轴,所述竖直调节装置的底部固定于水平滑轴上,所述竖直调节装置包括一提拉箱体,能够沿竖直方向的支撑杆上下移动,所述提拉箱体固定连接径向旋转装置,所述径向旋转装置固定连接一水平连接板,水平连接板上设置有微提拉装置,微提拉装置上固定连接有一水平支撑板,水平支撑板上设置有晶转电机,所述晶转电机的输出轴通过轴承连接有籽晶杆,籽晶杆下入到炉体内坩埚的高温熔融物中。

2.根据权利要求1所述的晶体生长提拉升降装置,其特征在于,所述固定板上固定有一固定轴,所述固定板一端固定有螺杆支架,所述水平滑轴下方设置有与固定轴相配合的滑块,滑块套设在固定轴上并能够在固定轴上左右滑动,所述水平调节装置还包括第一螺杆和螺母,所述第一螺杆固定于螺杆支架上,所述螺母固定于水平滑轴上。

3.根据权利要求2所述的晶体生长提拉升降装置,其特征在于,所述螺杆支架上还设置有手轮,手轮与第一螺杆连接,用于调节第一螺杆与螺母之间的距离。

4.根据权利要求3所述的晶体生长提拉升降装置,其特征在于,所述竖直调节装置还包括竖直设置的第一支撑杆和第二支撑杆,第一支撑杆和第二支撑杆的数量均为2个,2个第一支撑杆和2个第二支撑杆顶部设置有顶板,所述提拉箱体套设于2个第二支撑杆上,2个第一支撑杆上套设有配重块,所述顶板上设置有定滑轮,提拉箱体和配重块之间通过定滑轮采用钢丝绳连接,所述提拉箱体上设置有锁紧螺丝;

优选的,所述提拉箱体一侧设置有把手,配重块为配重铁块。

5.根据权利要求4所述的晶体生长提拉升降装置,其特征在于,所述径向旋转装置包括固定块和u型旋转块,所述固定块与提拉箱体固定连接,所述u型旋转块包括上连接板、下连接板和位于上连接板、下连接板之间的竖直连接板,所述上连接板和下连接板上均设置有销孔,所述上连接板、固定块和下连接板之间通过销轴连接,所述上连接板与固定块之间设置有径向旋转固定螺丝。

6.根据权利要求5所述的晶体生长提拉升降装置,其特征在于,所述u型旋转块与水平连接板固定连接,所述水平连接板上设置有内螺纹,水平支撑板上设置有与水平连接板的内螺纹配合的第二螺杆,通过拧动第二螺杆实现竖直方向的微调。

7.根据权利要求6所述的晶体生长提拉升降装置,其特征在于,所述水平连接板的一端固定连接有一竖向的导轨,所述水平支撑杆上竖直固定连接有一竖向的滑动板,滑动板与导轨配合并能够相对于导轨上下移动,所述滑动板上固定设置有一限位块,所述限位块中部设有限位孔;

所述晶转电机的输出轴通过轴承连接一连接杆,连接杆穿过限位孔连接一卡扣,卡扣连接连接杆与籽晶杆,使得连接杆与籽晶杆同轴转动。

8.根据权利要求7所述的晶体生长提拉升降装置,其特征在于,所述第一支撑杆、第二支撑杆的材质均为不锈钢或铝;

优选的,固定板底部设置有支撑架,支撑架底部设置有减震底座。

9.根据权利要求8所述的晶体生长提拉升降装置,其特征在于,所述水平调节装置的水平调节距离为5-30cm,竖直调节装置的调节距离为0-80cm,微提拉装置的调节距离为0-15cm。

10.一种权利要求9所述的晶体生长提拉升降装置的工作方法,其特征在于,包括:

籽晶杆工作时,晶转电机转动,带动连接杆、籽晶杆同轴转动,实现籽晶杆的转动;

当籽晶杆需要左右调节时,旋动第一螺杆,带动螺母、水平滑轴左右滑动,同时与水平滑轴连接的滑块沿固定轴左右移动,实现装置的左右移动;

当籽晶杆需要上下调节幅度较大时,首先调节竖直调节装置,通过把手拉动提拉箱体沿第二支撑杆上下滑动,同时,配重块通过钢丝绳沿第一支撑杆也上下移动,当接近目标位置时,采用锁紧螺丝将提拉箱体锁紧在第二支撑杆上;然后调节微提拉装置,拧动第二螺杆,此时水平连接板和导轨为相对固定,第二螺杆与水平支撑板一同上下移动,与水平支撑杆固定连接的滑动板相对于导轨上下移动,此时,位于水平支撑杆上的晶转电机,以及连接杆、籽晶杆则一同上下移动,实现微调;当籽晶杆需要上下调节幅度较小时,只需调节微提拉装置即可;

当籽晶杆需要前后调节时,u型旋转块能够沿销轴转动,当转动到适当位置时,通过径向旋转固定螺丝固定。


技术总结
本发明涉及一种晶体生长提拉升降装置及其工作方法,属于晶体生长设备领域,包括水平调节装置、竖直调节装置、径向旋转装置和微提拉装置;水平调节装置包括固定板和水平滑轴,竖直调节装置包括提拉箱体,提拉箱体固定连接径向旋转装置,径向旋转装置固定连接一水平连接板,水平连接板上设置有微提拉装置,微提拉装置上固定连接有一水平支撑板,水平支撑板上设置有晶转电机,晶转电机的输出轴通过轴承连接有籽晶杆,籽晶杆下入到炉体内坩埚的高温熔融物中。本发明在晶体生长过程中可以根据情况自由灵活调节升降提拉装置的位置,同时又保证装置的稳定性,在晶体生长过程中可以随时调整位置,在生长完成后可以顺利将晶体位置调整和提出。

技术研发人员:孙友轩;黄东阳;岳跃忠;高泽亮;陶绪堂
受保护的技术使用者:山东大学
技术研发日:2019.10.17
技术公布日:2019.12.03
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