一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统的制作方法

本实用新型涉及玻璃制造技术领域，具体是一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统。

背景技术：

在tft-lcd、ltps等电子显示玻璃基板制造过程中，配合料在窑炉内高温熔融后，进入耐高温耐腐蚀的铂金通道完成澄清、均化等工艺处理，形成缺陷数量极少的玻璃液供成型拉制玻璃基板用。

这个过程中，铂金通道需要加热到一定的温度，以满足工艺要求。在生产中最常见的是直接引流加热铂金通道，利用法兰结构将电流直接导向铂金通道本体，电流流经有一定内阻的铂金通道产生热量，进而加热铂金通道。

这种加热方式在生产中发现的问题有：一、加热法兰结构需要精密的尺寸以保证均流层对电流的平均分配；二、加热电流在法兰结构与铂金通道的连接处集中，造成局部电流密度大，易烧蚀铂金通道；三、加热回路存在烧断的情况，且无法进行修复、更换；四、某回路烧断后，只能通过增加前、后回路的电流/功率进行热量补偿，限制工艺调整空间，同时增加了增加前、后回路的烧断几率；五、加热速度较慢，能耗高。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统，该加热系统能够均衡地对铂金通道进行加热，加热速度快、能耗低，便于设置，易于调整。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统，包括由内向外依次套设于铂金通道的坩埚、微波加热腔体与固定支撑钢套，所述坩埚、微波加热腔体与固定支撑钢套均沿铂金通道轴向设置；坩埚与铂金通道之间设有填充层，固定支撑钢套与微波加热腔体之间设有保温层；微波加热腔体外周沿径向间隔设有三个微波发生器，三个微波发生器构成一个微波加热组，微波加热腔体外周沿轴向设有两个以上的微波加热组；

所述微波加热系统还包括plc与若干微波控制器，微波控制器与微波发生器一一对应连接，plc输出接口分别连接各个微波控制器；

所述填充层为可吸收微波的无机非金属材料。

进一步的，所述微波加热腔体两侧分别设有能够抑制微波外泄的抑波板。

进一步的，所述微波加热系统还包括用于输入加热参数的上位机，上位机与plc通讯连接。

本实用新型的有益效果是：

一、本实用新型采用微波加热，与尺寸精密的加热法兰结构铂金通道相比，对尺寸的精密度要求低。

二、避免了烧蚀现象，同时也使铂金通道加热温度更加均衡。

三、某个微波发生器故障时，可及时切断该组电源进行更换，更换后可迅速恢复工作，对生产影响小。

四、微波的发生频段广，工艺调整范围大。

五、微波加热速度快，能耗低。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的a-a剖视图；

图3是本实用新型的电气原理框图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型提供一种用于玻璃基板制造过程中铂金通道的微波加热系统，包括由内向外依次套设于铂金通道1的坩埚2、微波加热腔体3与固定支撑钢套4，坩埚2采用耐高温、抗热冲击、可吸收微波的陶瓷坩埚；所述坩埚2、微波加热腔体3与固定支撑钢套4均沿铂金通道1轴向设置；坩埚2与铂金通道1之间设有填充层5，固定支撑钢套4与微波加热腔体3之间设有保温层6，保温层6可以防止热量无谓损失；结合图2所示，微波加热腔体3外周沿径向间隔设有三个微波发生器7，三个微波发生器构成一个微波加热组，微波加热腔体1外周沿轴向设有两个以上的微波加热组。

所述填充层5采用可耐受加热温度的、可吸收微波的无机非金属材料。微波加热腔体3两侧分别设有能够抑制微波外泄的抑波板11，避免微波外泄造成危害。相邻的两段铂金通道之间通过法兰12相连。

为了方便微波发生器7的更换，微波发生器7相对应的地方均设置检修口，并通过检修口堵砖13进行封堵。

结合图3所示，所述微波加热系统还包括上位机8、plc9与若干微波控制器10，微波控制器10与微波发生器7一一对应连接，plc9输出接口分别连接各个微波控制器10。

工艺人员通过上位机8可以输入目标加热温度、每个微波加热组中各个微波发生器的设定输出功率，plc9接收到控制指令后控制微波控制器10，再由微波控制器10控制微波发生器7发出相应功率的微波，填充层5、坩埚2在快迅变化的高频电磁场作用下，内部偶极分子高频往复运动，造成分子的运动和相互摩擦效应，产生“内摩擦热”而使被加热的填充层5、坩埚2温度升高，不须任何热传导过程，就能使被加热体内外部同时加热、同时升温，加热速度快且均匀，仅需传统加热方式的能耗的几分之一或几十分之一就可达到加热目的。

填充层5、坩埚2将产生的热量经铂金通道1传导至玻璃液14，达到加热目的。

不同频率的微波，对同一被加热体的加热效果不同。为满足通道不同段、不同部位的加热需求，各个微波发生器的设定输出功率不同，不同输出功率产生的微波频率不同，从而达到相应的加热效果。需要对某个区域的温度进行调整时，亦可修改相对应微波发生器的设定输出功率，达到调整目的。

必要时，可以在澄清段通道的铂金通道顶端强化、悬挂设计，避免在生产后期铂金通道澄清段因长期高温下的蠕变沉降导致的塌陷。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。