技术总结
本实用新型涉及一种一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产设备，包括原料储罐、动力输送泵、混合树脂塔提纯净化系统、膜分离系统和成品接收储罐，通过管道依次连接，管道上设有控制阀。其中，原料储罐和动力输送泵相连，再与混合树脂塔提纯净化系统相连、膜分离系统与成品接收储罐相连。本实用新型抛去了吸附、阴、阳、和混合的繁琐的生产设备，简单实用又能提高生产量。
技术研发人员：陈增瑞;张平均;张玓瓅
受保护的技术使用者：广州市天夫美新材料科技有限公司
技术研发日：2019.04.24
技术公布日：2020.01.21