1.一种硅芯铸锭炉用热场结构,其特征在于,包括:
由内往外依次设置的
石英坩埚(1),为长方形;
加热器(2),设于石英坩埚(1)的四周和顶部,包括上加热器(22)和侧面加热器(23);
保温层(3),设于加热器的外部,所述保温层包括侧保温层(31)、底保温层(32)和上保温层(33),所述侧保温层(31)设于石英坩埚(1)的四个侧面,所述底保温层(32)设于石英坩埚(1)的底面,所述上保温层(33)设于石英坩埚(1)的顶面;
支撑柱(4),设于石英坩埚(1)的底部;
隔热笼(5),设于保温层(3)的外部。
2.根据权利要求1所述的一种硅芯铸锭炉用热场结构,其特征在于,所述上加热器(22)包括第一电阻加热器(221)和第二电阻加热器(222),所述第一电阻加热器(221)和所述第二电阻加热器(222)相邻设置,所述第一电阻加热器(221)和第二电阻加热器(222)皆为闭合结构。
3.根据权利要求2所述的一种硅芯铸锭炉用热场结构,其特征在于,所述第一电阻加热器(221)包括第一部(2211)、第二部(2212)和第三部(2213),所述第一部(2211)与第二部为f型结构,且第一部(2211)与第二部(2212)的凸出部分相对设置,第一部(2211)与第二部(2212)相连通。
4.根据权利要求2所述的一种硅芯铸锭炉用热场结构,其特征在于,所述第一电阻加热器(221)和第二电阻加热器(222)对称设于长方形的顶板(21)下方。