一种硅芯铸锭炉用热场结构的制作方法

文档序号:20863353发布日期:2020-05-22 21:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅芯铸锭炉用热场结构,其特征在于,包括:

由内往外依次设置的

石英坩埚(1),为长方形;

加热器(2),设于石英坩埚(1)的四周和顶部,包括上加热器(22)和侧面加热器(23);

保温层(3),设于加热器的外部,所述保温层包括侧保温层(31)、底保温层(32)和上保温层(33),所述侧保温层(31)设于石英坩埚(1)的四个侧面,所述底保温层(32)设于石英坩埚(1)的底面,所述上保温层(33)设于石英坩埚(1)的顶面;

支撑柱(4),设于石英坩埚(1)的底部;

隔热笼(5),设于保温层(3)的外部。

2.根据权利要求1所述的一种硅芯铸锭炉用热场结构,其特征在于,所述上加热器(22)包括第一电阻加热器(221)和第二电阻加热器(222),所述第一电阻加热器(221)和所述第二电阻加热器(222)相邻设置,所述第一电阻加热器(221)和第二电阻加热器(222)皆为闭合结构。

3.根据权利要求2所述的一种硅芯铸锭炉用热场结构,其特征在于,所述第一电阻加热器(221)包括第一部(2211)、第二部(2212)和第三部(2213),所述第一部(2211)与第二部为f型结构,且第一部(2211)与第二部(2212)的凸出部分相对设置,第一部(2211)与第二部(2212)相连通。

4.根据权利要求2所述的一种硅芯铸锭炉用热场结构,其特征在于,所述第一电阻加热器(221)和第二电阻加热器(222)对称设于长方形的顶板(21)下方。


技术总结
本实用新型提供了一种硅芯铸锭炉用热场结构,包括:由内往外依次设置的石英坩埚,为长方形;加热器,设于石英坩埚的四周和顶部,包括上加热器和侧面加热器;保温层,设于加热器的外部,所述保温层包括侧保温层、底保温层和上保温层,所述侧保温层设于石英坩埚的四个侧面,所述底保温层设于石英坩埚的底面,所述上保温层设于石英坩埚的顶面;支撑柱,设于石英坩埚的底部;隔热笼,设于保温层的外部。本实用新型具有结构合理、使用效果好,本长方形热场结构能够在硅芯铸锭过程中,通过热场结构更好的为铸锭提供生长的环境,热场结构能更好的提高热场的保温性,确保铸锭工作的顺利进行;而且铸锭的尺寸没有局限性,产品的质量佳。

技术研发人员:唐凌翔
受保护的技术使用者:浙江晶阳机电有限公司
技术研发日:2019.07.17
技术公布日:2020.05.22
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