一种线材生产退火炉的制作方法

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种线材生产退火炉。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

现有的退火炉在进行退火的时候，可以很好的进行退火，而且在线材上可以很好的进行修复损伤等一些功能，但是现有的退火炉在进行退火后，就直接进入下一道工序，如果退火炉发生意外，发生掉移动，会将线材拉紧，甚至会将退火后的线材拉动，向反方向移动，可能会将退火后的线材造成损伤。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种线材生产退火炉，使用后，如果退火炉发生意外，可以将退火后的线材进行固定，防止退火炉发生意外造成退火后的线材造成损伤。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种线材生产退火炉，包括装置炉，所述装置炉的右侧滑动连接有装置板，所述装置板的底部焊接有支腿，所述装置板的顶部焊接有锁死机构，所述锁死机构的正表面通过合页旋转连接有盖板，所述盖板的左侧焊接有线柱。

所述锁死机构包括装置壳，所述装置壳内壁的正表面焊接有安装柱，所述安装柱的外部套设有轴承，所述轴承的外部套设有绕线轮，所述绕线轮的正表面焊接有齿块，所述安装柱的正表面通过转轴旋转连接有支撑杆，所述支撑杆的右侧焊接有卡轮，所述安装柱的正表面焊接有卡杆，所述安装柱的正表面焊接有连接板，所述连接板的右侧焊接有拉板，所述拉板的顶部焊接有弹簧。

所述线柱包括线筒，所述线筒内壁的四周贴设有橡胶板。

优选的，所述线柱的数目为两个，两个所述线柱平行对称分布在装置壳的两侧，所述盖板通过合页旋转连接在装置壳的正表面。

优选的，所述齿块的数目为若干个，其中每相邻两个所述齿块呈环形排列在绕线轮的正表面。

优选的，其中每相邻两个所述齿块之间的间隙与卡轮相匹配，所述弹簧的顶部焊接在支撑杆的底部。

优选的，所述卡杆的厚度和连接板的厚度相同，所述卡轮卡设在每相邻两个齿块之间的间隙中。

优选的，所述齿块呈直角三角形状，所述橡胶板呈三角形状，所述装置壳的底部焊接在装置板的顶部。

优选的，所述装置壳的正表面呈开口状，所述盖板与装置壳相匹配。

本实用新型提供了一种线材生产退火炉。具备以下有益效果：

(1)、该线材生产退火炉，退火后的线材带动绕线轮通过轴承在安装柱上进行旋转，使齿块进行旋转，齿块带动卡轮进行移动，卡轮被支撑杆通过转轴在安装柱上进行限位，使卡轮通过支撑杆进行旋转，支撑杆将弹簧在拉板上进行拉伸，当卡轮移动到下一个齿块上的时候，弹簧通过支撑杆带动卡轮复位，当装置炉发生意外移动的时候，装置炉带动退火后的线材反向移动，退火后的线材带动绕线轮反向旋转，使齿块带动卡轮反向移动，卡杆将支撑杆进行卡住，使支撑杆无法反向旋转，使卡轮将齿块卡住，使绕线轮无法旋转，使退火后的线材无法反向移动，可以将退火后的线材进行固定，防止退火炉发生意外造成退火后的线材造成损伤。

(2)、该线材生产退火炉，线材通过装置炉进行退火，旋转盖板，盖板通过合页在装置壳上进行旋转，打开装置壳，将退火后的线材插入线筒，橡胶板将退火后线材上的杂质擦掉，将退火后的线材在绕线轮上缠绕一圈，通过右侧线柱离开装置壳，使退火后的线材便于俺安装在绕线轮上。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型锁死机构的结构示意图；

图3为本实用新型线柱的结构示意图。

图中：1装置炉、2装置板、3支腿、4锁死机构、401装置壳、402安装柱、403轴承、404绕线轮、405齿块、406转轴、407支撑杆、408卡轮、409卡杆、410连接板、411拉板、412弹簧、5合页、6盖板、7线柱、701线筒、702橡胶板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种线材生产退火炉，包括装置炉1，装置炉1的右侧滑动连接有装置板2，装置板2的底部焊接有支腿3，装置板2的顶部焊接有锁死机构4，锁死机构4的正表面通过合页5旋转连接有盖板6，盖板6与装置壳401相匹配，盖板6通过合页5旋转连接在装置壳401的正表面，盖板6的左侧焊接有线柱7，线柱7包括线筒701，进线筒701内壁的四周贴设有橡胶板702，橡胶板702呈三角形状，线柱7的数目为两个，两个线柱7平行对称分布在装置壳401的两侧，线材通过装置炉1进行退火，旋转盖板6，盖板6通过合页5在装置壳401上进行旋转，打开装置壳401，将退火后的线材插入线筒701，橡胶板702将退火后线材上的杂质擦掉，将退火后的线材在绕线轮404上缠绕一圈，通过右侧线柱7离开装置壳401，使退火后的线材便于俺安装在绕线轮404上。

锁死机构4包括装置壳401，装置壳401的正表面呈开口状，装置壳401的底部焊接在装置板2的顶部，装置壳401内壁的正表面焊接有安装柱402，安装柱402的外部套设有轴承403，轴承403的外部套设有绕线轮404，绕线轮404的正表面焊接有齿块405，齿块405呈直角三角形状，齿块405的数目为若干个，若干个齿块405呈环形排列在绕线轮404的正表面，若干个齿块405之间的间隙与卡轮408相匹配，卡轮408卡设在每相邻两个齿块405之间的间隙中，弹簧412的顶部焊接在支撑杆407的底部，安装柱402的正表面通过转轴406旋转连接有支撑杆407，支撑杆407的右侧焊接有卡轮408，安装柱402的正表面焊接有卡杆409，卡杆409的厚度和连接板410的厚度相同，安装柱402的正表面焊接有连接板410，连接板410的右侧焊接有拉板411，拉板411的顶部焊接有弹簧412，退火后的线材带动绕线轮404通过轴承403在安装柱402上进行旋转，使齿块405进行旋转，齿块405带动卡轮408进行移动，卡轮408被支撑杆407通过转轴406在安装柱402上进行限位，使卡轮408通过支撑杆407进行旋转，支撑杆407将弹簧412在拉板411上进行拉伸，当卡轮408移动到下一个齿块405上的时候，弹簧412通过支撑杆407带动卡轮408复位，当装置炉1发生意外移动的时候，装置炉1带动退火后的线材反向移动，退火后的线材带动绕线轮404反向旋转，使齿块405带动卡轮408反向移动，卡杆409将支撑杆407进行卡住，使支撑杆407无法反向旋转，使卡轮408将齿块405卡住，使绕线轮404无法旋转，使退火后的线材无法反向移动，可以将退火后的线材进行固定，防止退火炉发生意外造成退火后的线材造成损伤。

使用时，线材通过装置炉1进行退火，旋转盖板6，盖板6通过合页5在装置壳401上进行旋转，打开装置壳401，将退火后的线材插入线筒701，橡胶板702将退火后线材上的杂质擦掉，将退火后的线材在绕线轮404上缠绕一圈，通过右侧线柱7离开装置壳401，退火后的线材在进行移动的时候，退火后的线材带动绕线轮404通过轴承403在安装柱402上进行旋转，使齿块405进行旋转，齿块405带动卡轮408进行移动，卡轮408被支撑杆407通过转轴406在安装柱402上进行限位，使卡轮408通过支撑杆407进行旋转，支撑杆407将弹簧412在拉板411上进行拉伸，当卡轮408移动到下一个齿块405上的时候，弹簧412通过支撑杆407带动卡轮408复位，当装置炉1发生意外移动的时候，装置炉1带动退火后的线材反向移动，退火后的线材带动绕线轮404反向旋转，使齿块405带动卡轮408反向移动，卡杆409将支撑杆407进行卡住，使支撑杆407无法反向旋转，使卡轮408将齿块405卡住，使绕线轮404无法旋转，使退火后的线材无法反向移动。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。