技术总结
本发明公开了一种晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备，提拉系统包括：固定支架、籽晶轴和密封组件。籽晶轴为刚性件，密封组件设在固定支架上且套设在籽晶轴的下端，籽晶轴相对密封组件可上下移动且绕籽晶轴的中心轴线可转动，密封组件与籽晶轴的外周面之间限定出适于容纳润滑油的润滑间隙，密封组件上形成有与润滑间隙连通的第一进口和第一出口，润滑油适于从第一进口进入润滑间隙，并适于从第一出口流出润滑间隙。根据本发明实施例的提拉系统，籽晶轴的旋转和提升更为稳定，有利于晶体中原子的排列和生长，并且籽晶轴下端的密封组件能进一步使籽晶轴更加稳定运行，从而有效提升晶体生长质量。升晶体生长质量。升晶体生长质量。
技术研发人员：袁长路 苗江涛
受保护的技术使用者：徐州晶睿半导体装备科技有限公司
技术研发日：2020.11.26
技术公布日：2021/4/12