技术总结
本申请提供一种石英舟、石英舟组件及扩散炉，涉及太阳能电池加工领域。扩散炉包括扩散炉腔、装载于扩散炉腔内的石英舟或石英舟组件，石英舟用于装载硅片，安装通道的轴线、装载后的硅片的排列方式分别与气流扩散方向平行，通过上述设置，横向气流流通性良好，极大的降低了硅片内部的方阻差别，提高了整体电池片生产的均匀性以及电池片的电性能，同时在扩散炉的内径为350mm时可兼容边长为210mm硅片，提高了扩散炉本体的利用效率。了扩散炉本体的利用效率。了扩散炉本体的利用效率。
技术研发人员：谢毅 周公庆 马志强 王璞 陈坤
受保护的技术使用者：通威太阳能（眉山）有限公司
技术研发日：2020.06.03
技术公布日：2021/3/1