一种氙气尾气的回收装置的制作方法

1.本实用新型涉及氙气生产技术领域，更具体地说，涉及一种氙气尾气的回收装置。


背景技术：

2.近年来，氙气被广泛应用于电子半导体生产工艺中，其中在生产过程中，需要对氙气生产尾气进行回收处理。由于现有的氙气回收装置采用单次吸附回收方式，其未能预先分离杂质气体，直接导致回收产物中混有一定浓度的杂质气体，回收效果差，且回收效率低下；另外，排废质量和产物回收质量主要取决于排废机构和回收机构的进料速率，现有的回收装置由于不能根据实际回收情况而调整排废机构和回收机构的进料速率，无法确保大部分杂质气体被隔离及产物回收完全。
3.因此，目前研发一种可根据实际回收需要调整排废速率和回收速率，且可进行氙气深度回收的回收装置是一个急需解决的问题。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供了一种氙气尾气的回收装置，以解决现有技术中氙气尾气的回收装置的排废速率和回收速率不可调整且氙气回收效果差的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：
6.一种氙气尾气的回收装置，其包括冷却装置、充氮装置及吸附装置，所述冷却装置设有进气管和吸附管，所述进气管用于通入待回收的氙气尾气，所述吸附装置包括依次连接的排废机构、固化吸附机构和回收机构，所述吸附管与所述排废机构之间连接有真空泵，且所述排废机构上设置有第一压力变送器，所述固化吸附机构设有充氮管，所述充氮管与所述充氮装置连接，且所述固化吸附机构里设置有第一吸附剂层，所述回收机构包括连接的压缩机和纯化器，所述纯化器通过回收管连接有回收容器，所述回收容器上设置有第二压力变送器。
7.作为本实用新型的优选方案，所述排废机构包括排废箱、若干交替设置于所述排废箱内部的隔流板、及由所述隔流板形成的处理腔，所述排废箱设置有进料口和出料口，所述进料口、所述出料口分别与所述真空泵、所述固化吸附机构连接。
8.作为本实用新型的优选方案，于所述隔流板上设置有第二吸附剂层。
9.作为本实用新型的优选方案，所述第二吸附剂层选自于活性碳层、固体氢氧化钠层、氧化钙层、氧化铝层、沸石层和硅胶层中的一种或多种。
10.作为本实用新型的优选方案，所述回收容器内设置有用于检测其内部气压的气压检测装置。
11.作为本实用新型的优选方案，于所述回收管上设置有止回阀。
12.作为本实用新型的优选方案，于所述进气管和所述吸附管上分别设置有第一气动阀和第二气动阀。
13.作为本实用新型的优选方案，所述第一吸附剂层选自于活性碳层、固体氢氧化钠
层、氧化钙层、氧化铝层、沸石层和硅胶层中的一种或多种。
14.从上述的技术方案可以看出，本实用新型的有益效果为：本实用新型的结构设计合理巧妙，通过设置排废机构和固化吸附机构，使尾气中的杂质气体进行分离，且回收机构便于进一步除去氙气中微量的杂质气体，有效地提高氙气的回收纯度和质量；并且设置有第一压力变送器和第二压力变送器，可根据实际回收需要，分别调节排废机构和回收机构的进料速率，以有效地提高杂质气体的排废质量，和有效地提高回收产物的回收纯度和质量。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
16.图1为本实用新型实施例所提供的氙气尾气的回收装置的正视示意图。
17.图中：1
‑
冷却装置；2
‑
真空泵；3
‑
排废机构；4
‑
固化吸附机构；5
‑
回收机构；6
‑
充氮装置；71
‑
第一气动阀；72
‑
第二气动阀。
具体实施方式
18.如图1中所示，本实施例提供了一种氙气尾气的回收装置，其包括一种氙气尾气的回收装置，其包括冷却装置1、充氮装置6及吸附装置，所述冷却装置1设有进气管和吸附管，所述进气管用于通入待回收的氙气尾气，所述吸附装置包括依次连接的排废机构3、固化吸附机构4和回收机构5，所述吸附管与所述排废机构3之间连接有真空泵2，且所述排废机构3上设置有第一压力变送器，所述固化吸附机构4设有充氮管，所述充氮管与所述充氮装置6连接，且所述固化吸附机构4里设置有第一吸附剂层，所述回收机构5包括连接的压缩机和纯化器，所述纯化器通过回收管连接有回收容器，所述回收容器上设置有第二压力变送器；所述冷却装置1用于预先对待处理尾气进行预冷却，以便于使尾气流至后续工序进行除杂回收操作，所述真空泵2用于快速将所述冷却装置1中已预冷却的尾气移至所述排废机构3中，所述纯化器用于进一步除去氙气中微量的杂质气体，有效地提高氙气的回收纯度和质量，所述第一压力变送器用于根据实际回收需要，调节所述排废机构3的进料速率，以有效地提高杂质气体的排废质量，所述第二压力变送器用于根据实际回收需要，调节所述回收机构5的进料速率，以有效地提高回收产物的回收纯度和质量；通过于所述固化吸附机构4连接设置有充氮装置6，使进入所述固化吸附机构4中的尾气进行冷冻固化，以进一步提高氙气与杂质气体的分离质量，提高产物的回收效率。
19.在一种可选实施例中的氙气尾气的回收装置，所述排废机构3包括排废箱、若干交替设置于所述排废箱内部的隔流板、及由所述隔流板形成的处理腔，所述排废箱设置有进料口和出料口，所述进料口、所述出料口分别与所述真空泵2、所述固化吸附机构4连接；具体地，所述进料口、所述处理腔和所述出料口形成排废流径，所述冷却装置1预冷却的尾气经由所述排废流径分离出氙气及杂质气体，提高分离效率。
20.在一种可选实施例中的氙气尾气的回收装置，于所述隔流板上设置有第二吸附剂层。
21.在一种可选实施例中的氙气尾气的回收装置，所述第二吸附剂层选自于活性碳
层、固体氢氧化钠层、氧化钙层、氧化铝层、沸石层和硅胶层中的一种或多种。
22.在一种可选实施例中的氙气尾气的回收装置，所述回收容器内设置有用于检测其内部气压的气压检测装置，所述气压检测装置便于实时监测所述回收容器内氙气产物的压力。
23.在一种可选实施例中的氙气尾气的回收装置，于所述回收管上设置有止回阀，防止所述回收容器中的氙气回流至所述回收管或所述纯化器中。
24.在一种可选实施例中的氙气尾气的回收装置，于所述进气管和所述吸附管上分别设置有第一气动阀71和第二气动阀72。
25.在一种可选实施例中的氙气尾气的回收装置，所述第一吸附剂层选自于活性碳层、固体氢氧化钠层、氧化钙层、氧化铝层、沸石层和硅胶层中的一种或多种。
26.本实用新型的工作过程为：根据实际回收需要，通过所述第一压力变送器和所述第二压力变送器调整所述排废机构3和所述回收容器的进料速率，所述进气管输入待处理的尾气，所述冷却装置1对该尾气进行预冷却处理，并经由所述真空泵2输入至所述排废机构3中，所述排废机构3对该废气进行初步去杂，所述固化吸附机构4对该已初步去杂的尾气进行二次去杂得到初步产物，所述回收机构5对该初步产物进行纯化并进行回收得到氙气产物。
27.本实用新型的结构设计合理巧妙，通过设置排废机构和固化吸附机构，使尾气中的杂质气体进行分离，且回收机构便于进一步除去氙气中微量的杂质气体，有效地提高氙气的回收纯度和质量；并且设置有第一压力变送器和第二压力变送器，可根据实际回收需要，分别调节排废机构和回收机构的进料速率，以有效地提高杂质气体的排废质量，和有效地提高回收产物的回收纯度和质量。
28.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。