用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴的制作方法

文档序号:25263914发布日期:2021-06-01 23:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,其特征在于:包括喷嘴芯体(6)和喷嘴壳体(7),所述喷嘴芯体(6)设置在还原炉底盘(3)上,喷嘴芯体(6)内形成用于原料气进入的第一进气腔(61),喷嘴芯体(6)顶端形成与第一进气腔(61)连通的收缩口(62),收缩口(62)设置在第一进气腔(61)顶部;

所述喷嘴壳体(7)下部套设在喷嘴芯体(6)外侧,喷嘴壳体(7)顶端形成喷口(8),喷嘴壳体(7)内形成第二进气腔(71),喷嘴芯体(6)设置在第二进气腔(71)下部,第二进气腔(71)通过收缩口(62)与第一进气腔(61)连通,喷口(8)设置在第二进气腔(71)顶部,第一进气腔(61)、收缩口(62)、第二进气腔(71)及喷口(8)之间形成原料气流通的通路;

所述喷嘴壳体(7)上设置有用于外源气进入的开口(9),开口(9)与第二进气腔(71)连通,开口(9)、第二进气腔(71)及喷口(8)之间形成外源气流通的通路;

所述开口(9)与还原炉底盘(3)之间的距离小于第一进气腔(61)顶端与还原炉底盘(3)之间的距离;

所述喷口(8)横截面积大于收缩口(62)横截面积。

2.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,其特征在于:所述第二进气腔(71)上部横截面积小于第二进气腔(71)下部横截面积。

3.根据权利要求1或2所述的用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,其特征在于:所述喷嘴壳体(7)呈锥形。

4.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,其特征在于:所述喷嘴壳体(7)外侧设置有用于为外源气导流的导流罩(10)。

5.根据权利要求4所述的用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,其特征在于:所述导流罩(10)呈板状或者槽状。

6.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,其特征在于:所述喷嘴芯体(6)通过螺纹或者焊接固定在还原炉底盘(3)上。

7.根据权利要求1或6所述的用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,其特征在于:所述第一进气腔(61)与还原炉底盘(3)上的原料气供料支管(2)连通。

8.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,其特征在于:所述开口(9)为多个。

9.根据权利要求1或8所述的用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,其特征在于:所述开口(9)设置在喷嘴壳体(7)底端,或者,开口(9)设置在喷嘴壳体(7)侧壁上。


技术总结
本实用新型涉及一种用于多晶硅生产中还原炉的抽吸式喷嘴,属于多晶硅生产设备技术领域。包括喷嘴芯体和喷嘴壳体,喷嘴芯体内形成第一进气腔和收缩口;喷嘴壳体下部套设在喷嘴芯体外侧,喷嘴壳体顶端形成喷口,喷嘴壳体内形成第二进气腔;喷嘴壳体上设置用于外源气进入的开口,开口与第二进气腔连通。喷嘴喷射时,第二进气腔内形成低压区,第二进气腔外的外源气会被吸入;在第二进气腔中,外源气与原料气混合,两者共同从顶部喷口喷射,顶部喷口喷射的气体流量大于喷嘴底部的进气流量,使得喷嘴出气喷射更高,有效提高炉内各组分分布的均匀性,进而减少硅棒上疏松、珊瑚状等非致密沉积,提高硅棒产品质量,降低电耗。

技术研发人员:贾琳蔚;朱彬;陈彬;杨楠;陈绍林;李寿琴;刘逸枫;甘居富
受保护的技术使用者:云南通威高纯晶硅有限公司
技术研发日:2020.09.09
技术公布日:2021.06.01
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