单晶炉热屏结构的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，尤其涉及一种单晶炉热屏结构。


背景技术：

2.半导体拉晶对石墨热屏的形状，保温效果有严格的要求，一般大多采用断热材进行保温材制作，断热材使用过一段时间后，存在老化现象，会存在碳粉脱落，分层等现象，拉晶过程中容易掉入溶汤内，形成杂质，难以成晶。


技术实现要素：

3.有鉴于此，有必要提供一种单晶炉热屏结构。
4.一种单晶炉热屏结构，包括内热屏、外热屏、固定部件、热屏上部断热材盖、保护盖板、提升环，所述内热屏套装在外热屏内，所述外热屏的顶部固定设置有连接凸边，所述提升环设置在连接凸边的下部，所述固定部件与提升环固定连接，且固定部件的底部与提升环的上部表面相贴合，所述热屏上部断热材盖固定设置在连接凸边及提升环的上部，所述保护盖板固定设置在热屏上部断热材盖的上部。
5.优选的，所述提升环包括上部连接环、下部连接环，所述下部连接环的上部表面与上部连接环的下部表面搭接，使上部连接环与下部连接环之间形成阶台，阶台的上部表面与连接凸边的下部表面相贴合。
6.优选的，所述提升环上设置有螺栓孔。
7.优选的，所述上部连接环的厚度与连接凸边的厚度相同。
8.优选的，所述固定部件包括夹沟头、夹紧块，所述夹紧块的一端与提升环固定连接，所述夹沟头固定设置在夹紧块远离提升环的一端。
9.优选的，所述夹紧块远离提升环的一端设置有安装孔。
10.优选的，所述夹沟头包括底板、连接柱，所述底板固定设置在夹紧块远离提升环的一端，所述连接柱固定设置在底板上，且连接柱的上端向上延伸后穿过安装孔。
11.优选的，所述底板、连接柱的一侧均开设有凹槽。
12.优选的，所述保护盖板、热屏上部断热材盖上均开设有用于夹紧块穿过的豁口。
13.优选的，所述外热屏呈圆筒状，所述内热屏呈圆锥状，在内热屏套装在外热屏内后，使内热屏与外热屏之间形成间隙，在该间隙内设置有热屏断热材。
14.本实用新型采用上述技术方案，其有益效果在于：该实用新型包括内热屏、外热屏、固定部件、热屏上部断热材盖、保护盖板、提升环，内热屏套装在外热屏内，外热屏的顶部固定设置有连接凸边，提升环设置在连接凸边的下部，固定部件与提升环固定连接，且固定部件的底部与提升环的上部表面相贴合，热屏上部断热材盖固定设置在连接凸边及提升环的上部，保护盖板固定设置在热屏上部断热材盖的上部；本实用新型在使用的时候可以减轻氩气对断热材的冲刷，使得氩气难以将热屏断热材上的碳粉，纤维等带入溶汤，提高成晶率，改善晶棒体内碳含量，延长断热材使用寿命。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图。
16.图2为图1另一角度的结构示意图。
17.图3为图1的剖视结构示意图。
18.图4为本实用新型外热屏的结构示意图。
19.图5为本实用新型提升环的结构示意图。
20.图6为本实用新型固定部件的结构示意图。
21.图7为本实用新型保护盖板的结构示意图。
22.图8为本实用新型热屏上部断热材盖的结构示意图。
23.图9为本实用新型夹沟头的结构示意图。
24.图10为本实用新型夹紧块的结构示意图。
25.图中：内热屏01、外热屏02、连接凸边21、固定部件03、夹沟头31、底板311、连接柱312、凹槽313、夹紧块32、安装孔321、热屏上部断热材盖04、保护盖板05、提升环06、上部连接环61、下部连接环62、螺栓孔63、豁口07、热屏断热材08。
具体实施方式
26.请参看图1至图10，本实用新型实施例提供了一种单晶炉热屏结构，包括内热屏01、外热屏02、固定部件03、热屏上部断热材盖04、保护盖板05、提升环06，所述内热屏01套装在外热屏02内，所述外热屏02的顶部固定设置有连接凸边21，所述提升环06设置在连接凸边21的下部，所述固定部件03与提升环06固定连接，且固定部件03的底部与提升环06的上部表面相贴合，所述热屏上部断热材盖04固定设置在连接凸边21及提升环06的上部，所述保护盖板05固定设置在热屏上部断热材盖04的上部，对断热材形成保护，延长寿命，减少碳粉，纤维等掉落。
27.所述提升环06包括上部连接环61、下部连接环62，所述下部连接环62的上部表面与上部连接环61的下部表面搭接，使上部连接环61与下部连接环62之间形成阶台，阶台的上部表面与连接凸边21的下部表面相贴合。所述提升环06上设置有螺栓孔63,可以方便将提升环06与夹紧块32通过螺栓相固定。
28.所述上部连接环61的厚度与连接凸边21的厚度相同，在将下部连接环62与连接诶凸边相贴合后，可以保证上部连接环61与连接凸边21的上部表面保持平整，当热屏上部断热材盖04固定到上部连接环61与连接凸边21的上部表面后，可以保持平整。
29.所述固定部件03包括夹沟头31、夹紧块32，所述夹紧块32的一端与提升环06固定连接，所述夹沟头31固定设置在夹紧块32远离提升环06的一端。所述夹紧块32远离提升环06的一端设置有安装孔321。所述夹沟头31包括底板311、连接柱312，所述底板311固定设置在夹紧块32远离提升环06的一端，所述连接柱312固定设置在底板311上，且连接柱312的上端向上延伸后穿过安装孔321。
30.所述底板311、连接柱312的一侧均开设有凹槽313。
31.所述保护盖板05、热屏上部断热材盖04上均开设有用于夹紧块32穿过的豁口07。
32.所述外热屏02呈圆筒状，所述内热屏01呈圆锥状，在内热屏01套装在外热屏02内后，使内热屏01与外热屏02之间形成间隙，在该间隙内设置有热屏断热材08。
33.以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于实用新型所涵盖的范围。