一种液态源扩散装置的制作方法

本实用新型涉及电池制造技术领域，尤其涉及一种液态源扩散装置。

背景技术：

太阳能单晶电池的扩散工序通常使用液态源扩散，氮气通过气路管道进入源瓶内的液态源中进行鼓泡，气泡爆裂后释放气体，此时气体会携带一定量的三氯氧磷，进入石英管内参与化学反应和扩散，工艺过程中通过控制源瓶的气压和氮气的量来控制参与反应的三氯氧磷，因此，气路管道内部的压力控制显得尤为重要。

在氮气鼓泡的过程中，产生鼓泡的必要条件是进气管路的压力大于出气管路的压力，当出气管路堵塞或者炉管压力偏高等原因导致出气管路压力大于进气管路压力时，液态源就会回流入进气管路，进入气动阀，流量计，压力计等电子元器件，三氯氧磷不但会腐蚀破坏气体管路，还会对电子元器件造成破坏，影响气体管路气压的稳定，所以，液态源回流进入进气管路会带来很大的安全隐患。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种液态源扩散装置，防止液态源回流进入进气管路，避免液态源对进气管路及电子器件造成损伤。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：一种液态源扩散装置，包括：

源瓶，装有液态源；

进气管路，包括第一进气管和第二进气管，所述第一进气管的下端插入所述源瓶内，被配置为向所述源瓶内输送气体，所述第二进气管的下端伸入所述液态源中；

防回流装置，包括腔室，支架及堵头，所述腔室的底部位于所述液态源的上方，所述腔室包括上开口和下开口，所述上开口与所述第一进气管的下端口连通，所述下开口与所述第二进气管的上端口连通，所述支架固设于所述腔室中，所述支架设有固定部，所述气体及所述液态源能够通过所述支架，所述堵头设于所述腔室中，所述堵头位于所述支架的上方，所述堵头能在所述液态源的浮力和流动压力作用下沿所述固定部在轴向上移动，以使所述堵头封堵所述上开口；

出气管，所述出气管的下端插入所述源瓶中，且所述出气管的下端口位于所述液态源的上方。

作为优选，所述固定部为固定柱，所述堵头的下端设有固定槽，所述堵头通过所述固定槽可滑动地套设于所述固定柱上。

作为优选，所述固定部为限位台，所述限位台至少有三个，所述限位台与所述堵头的外侧壁滑动贴合。

作为优选，所述固定部为筒体，所述筒体的内壁与所述堵头的外侧壁滑动贴合。

作为优选，所述支架的下端与所述腔室的底壁间隔设置。

作为优选，所述堵头的下端面为中心区域外凸的台阶面。

作为优选，所述堵头的内部开设空腔。

作为优选，所述腔室的上内壁面及所述堵头的上端面的形状为弧形。

作为优选，所述支架沿径向延伸有多个支撑筋，多个所述支撑筋沿所述支架的周向均布，所述支架位于相邻两个所述支撑筋之间的部分镂空。

作为优选，所述上开口所在端面的面积为所述上开口面积的1.5-4倍。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供的液态源扩散装置，通过设置防回流装置，当出气管的压力大于进气管路的压力时，源瓶内的液态源通过源瓶内的第二进气管进入腔室中，液态源的浮力和流动压力能够使腔室中的堵头及时地堵住腔室的上开口，避免液态源进入第一进气管对第一进气管及电子器件造成损伤。当液态源扩散装置正常工作时，腔室中的堵头能够复位，进气管路中的气体进入源瓶内进行鼓泡。防回流装置的结构简单，便于制造且制造成本低，拥有该防回流装置的液态源扩散装置能够及时地防止液态源回流进入进气管路，避免液态源对进气管路及电子器件造成损伤。

附图说明

图1是本实用新型液态源扩散装置的示意图；

图2是本实用新型防回流装置的示意图；

图3是本实用新型支架的俯视图。

图中：1、源瓶；11、液态源；2、进气管路；21、第一进气管；22、第二进气管；3、防回流装置；31、腔室；311、上开口；312、下开口；32、支架；321、固定部；322、支撑筋；33、堵头；331、固定槽；4、出气管。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本实用新型提供的液态源扩散装置，用于太阳能单晶电池的扩散工序，该液态源扩散装置能够及时地防止液态源11回流进入进气管，避免液态源11对进气管及电子器件造成损伤。下面以具体的实施例阐述本实用新型上述的液态源扩散装置的结构。

实施例1

本实施例提供的一种液态源扩散装置，如图1所示，该液态源扩散装置包括源瓶1、进气管路2、防回流装置3及出气管4，其中，源瓶1内装有液态源11，液态源11用于被鼓泡；进气管路2包括第一进气管21和第二进气管22，第一进气管21的下端插入源瓶1内，被配置为向源瓶1内输送气体，第二进气管22的下端伸入液态源11中，用于向将第一进气管21中的气体输送到液态源11中，使液态源11产生气泡，气泡破裂后释放携带三氯氧磷的气体；防回流装置3设置于第一进气管21和第二进气管22之间，能够防止液态源11回流进入第一进气管21；出气管4的下端插入源瓶1中，且出气管4的下端口位于液态源11的上方，用于将携带三氯氧磷的气体输送到石英管内参与化学反应和扩散。该液态源扩散装置工作过程中，当出气管4的压力大于进气管路2压力时，进气管路2上的防回流装置3防止液态源11回流进入第一进气管21，能够避免液态源11对第一进气管21及电子器件造成损伤。

本实施例中，如图2所示，防回流装置3包括腔室31，支架32及堵头33，腔室31的底部位于液态源11的上方，腔室31包括上开口311和下开口312，上开口311与第一进气管21的下端口连通，下开口312与第二进气管22的上端口连通，通过上开口311和下开口312，第一进气管21和第二进气管22能够连通，以使气体输送到液态源11中；支架32固设于腔室31中，用于支撑堵头33，支架32设有固定部321，气体及液态源11能够通过支架32，堵头33设于腔室31中，堵头33位于支架32的上方，堵头33能在液态源11的浮力和流动压力作用下沿固定部321在轴向上移动，以使堵头33封堵上开口311。具体地，当出气管4的压力大于进气管路2压力时，源瓶1中的液态源11会通过第二进气管22进入腔室31中，随着液态源11的增多，液态源11通过支架32后继续上升，堵头33在液态源11浮力和流动压力的作用下随着液态源11上升，直到堵头33堵住与第一进气管21连通的上开口311，防止液态源11继续回流进入第一进气管21中，达到了防回流的目的。进一步地，腔室31的上内壁面及堵头33的上端面的形状为弧形，能够使堵头33更好地封堵上开口311。更进一步地，尽管腔室31的容积越大，能够在液态源11回流时容纳更多的液态源11，但腔室31的容积过大时，气体从第一进气管21进入到腔室31中会出现气压降低的现象，气压不稳定会导致工艺过程中三氯氧磷的供给量出现偏差，所以上开口311所在端面的面积为上开口311面积的1.5-4倍。

示例性地，如图2所示，固定部321为固定柱，堵头33的下端设有固定槽331，堵头33通过固定槽331可滑动地套设于固定柱上，通过固定柱和固定槽331的搭配设置，能够使堵头33在固定部321轴向上移动，防止堵头33在固定部321周向上移动，以使堵头33精准地堵住上开口311。

本实施例中，如图3所示，支架32沿径向延伸有多个支撑筋322，多个支撑筋322沿支架32的周向均布，支架32位于相邻两个支撑筋322之间的部分镂空，支撑筋322用于为堵头33提供支撑作用，相邻两个支撑筋322之间的部分镂空有利于气体及液态源11的流通。进一步地，当液态源扩散装置正常工作时，支架32的下端与腔室31的底壁可以间隔设置以使堵头33的下端面与下开口312留有间隙，以使气体通过下开口312进入液态源11中进行正常的鼓泡过程。

本实施例中，如图2所示，堵头33的下端面可以是平面，可以理解的是，堵头33的下端面还可以是中心区域外凸的台阶面(图中未示出)，固定槽331设置在外凸区域的端面上，堵头33的下端面为台阶面能够减小堵头33的体积，进而减小堵头33的质量，有利于在液态源11浮力和流动压力的作用下移动。进一步地，堵头33的内部开设空腔，能够进一步地减轻堵头33的质量，有利于在液态源11浮力和流动压力的作用下移动。可以理解的是，当堵头33下端面外凸区域的面积小于下开口312的面积时，支架32的下端可以不和腔室31的底壁间隔设置，气体依然可以经未被堵头33的下端面挡住的下开口312进入液态源11中进行正常的鼓泡过程。

通过上述实施方式可以看出，本实施例提供的液态源扩散装置，其通过设置防回流装置3，当源瓶1内的液态源11回流到腔室31中，液态源11的浮力和流动压力能够使腔室31中的堵头33及时地堵住腔室31的上开口311，避免液态源11进入第一进气管21对第一进气管21及电子器件造成损伤。当液态源扩散装置正常工作时，腔室31中的堵头33能够复位，进气管路2中的气体进入源瓶1内进行鼓泡。防回流装置3的结构简单，便于制造且制造成本低，拥有该防回流装置3的液态源扩散装置能够及时地防止液态源11回流进入进气管路2，避免液态源11对进气管路2及电子器件造成损伤。

实施例2

本实施例提供的一种液态源扩散装置，其与实施例1提供的液态源扩散装置的区别仅在于固定部321为限位台(图中未示出)，限位台至少有三个，限位台与堵头33的外侧壁滑动贴合。至少三个限位台能够保证堵头33在固定部321轴向上移动的同时，还能防止堵头33在固定部321周向上移动，以使堵头33精准地堵住上开口311，并且堵头33的下端面不用再加工固定槽331，降低了加工制造的成本。本实施例的其余结构与实施例1均相同，不再赘述。

实施例3

本实施例提供的一种液态源扩散装置，其与实施例1提供的液态源扩散装置的区别仅在于固定部321为筒体(图中未示出)，筒体的内壁与堵头33的外侧壁滑动贴合。筒体能够保证堵头33在固定部321轴向上移动的同时，还能防止堵头33在固定部321周向上移动，以使堵头33精准地堵住上开口311，并且堵头33的下端面不用再加工固定槽331，降低了加工制造的成本。本实施例中支架32的下端与腔室31的底壁须间隔设置，以使气体通过下开口312进入液态源11中进行正常的鼓泡过程。本实施例的其余结构与实施例1均相同，不再赘述。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。