技术特征：
1.一种对组合物进行退火以制备用于传感器的膜的方法，所述组合物包含至少一种金属氧化物材料，所述方法包括：将组合物沉积在基板的一侧；在组合物附近提供电磁辐射源；将组合物的表面暴露于第一剂量的电磁辐射中，其中第一剂量包括诱导组合物退火的第一特性；将组合物的表面暴露于第二剂量的电磁辐射中，其中第二剂量包括诱导组合物退火的第二特性，其中第一特性与第二特性基本上相同或不同。2.根据权利要求1所述的方法，其中第一剂量和第二剂量的电磁辐射包括在以下任意范围内的电磁辐射：紫外、可见光、近红外和远红外。3.根据权利要求1所述的方法，其中第一剂量和第二剂量的第一特性和第二特性与电磁辐射的频率有关。4.根据权利要求3所述的方法，其中对第一特性和第二特性中的任一个或两个进行选择，使得电磁辐射的频率补充至少一种金属氧化物的吸收光谱。5.根据权利要求1所述的方法，其中第一剂量和第二剂量的第一特性和第二特性与暴露时间的长度有关。6.根据权利要求1所述的方法，其中对第一剂量和第二剂量的第一特性和第二特性中的至少一个进行选择，从而将组合物表面的化学方面功能化。7.根据权利要求1所述的方法，其中所述组合物包含第一金属氧化物材料和第二金属氧化物材料，其中第一金属氧化物材料和第二金属氧化物材料具有不同的第一吸收光谱和第二吸收光谱。8.根据权利要求7所述的方法，其还包括对第一剂量和第二剂量的辐射的第一吸收光谱和第二吸收光谱进行选择，以补充第一金属氧化物材料和第二金属氧化物材料的吸收光谱。9.根据权利要求7所述的方法，其中第一剂量的辐射在第一金属氧化物中诱导的退火速率高于由第一剂量在第二金属氧化物中诱导的退火速率，并且其中第二剂量的辐射在第二金属氧化物中诱导的退火速率高于第二剂量在第一金属氧化物中诱导的退火速率。10.根据权利要求9所述的方法，其中：第一金属氧化物中较高的退火速率仅对应于第一金属氧化物局部区域的较高温度；和第二金属氧化物中较高的退火速率仅对应于第二金属氧化物的局部区域中较高的温度。11.根据权利要求1所述的方法，其中暴露在第一剂量和第二剂量的辐射下的组合物的表面面积是相同的。12.根据权利要求1所述的方法，其中组合物表面包括第一区域和第二区域，其中第一区域和第二区域是分开的。13.根据权利要求12所述的方法，其还包括：在将组合物表面暴露于第一剂量的电磁辐射期间，在电磁辐射源之前提供第一掩模，其中第一掩模允许辐射透射到组合物的第一区域。
14.权利要求12所述的方法，其还包括：在将组合物表面暴露于第二剂量的电磁辐射期间，在电磁辐射源之前提供第二掩模，其中第二掩模允许辐射透射到组合物的第二区域。15.根据权利要求1所述的方法，其还包括在多个脉冲中提供第一剂量和第二剂量的辐射中的任一个或两个，其中所述脉冲散布有非曝光间隔。16.根据权利要求1所述的方法，其中将组合物的表面暴露于第一剂量和第二剂量中的任一个或两个导致组合物温度达到400℃至1500℃。17.根据权利要求1所述的方法，其中总曝光时间小于约10ms。18.根据权利要求1所述的方法，其中组合物还包含聚合物，其中第一剂量和第二剂量中的任一个或两个导致聚合物分解成气态副产物。19.根据权利要求1所述的方法，其还包括在接近组合物处提供第二电磁辐射源，其中第二电磁辐射源提供具有相关的第二特性的第二剂量的电磁辐射。20.一种制造传感器的方法，其中所述传感器包括包含至少一种金属氧化物的膜，所述方法包括：提供包含至少一种金属氧化物以及有机添加剂的前驱体组合物；将前驱体组合物沉积到基板上；将前驱体组合物的表面暴露于第一剂量的电磁辐射，其中第一剂量具有诱导前驱体组合物退火的第一特性；将前驱体组合物的表面暴露于第二剂量的电磁辐射，其中第二剂量具有诱导前驱体组合物退火的第二特性，其中第一特性不同于第二特性；和其中由第一剂量和第二剂量的电磁辐射产生的膜包括可透过气体的结构。
技术总结
本文公开了一种对组合物进行退火以制备用于传感器的膜的方法，所述组合物包含至少一种金属氧化物材料，所述方法包括：将组合物沉积在基板的一侧；在组合物附近提供电磁辐射源；将组合物的表面暴露于第一剂量的电磁辐射中，其中第一剂量包括诱导组合物退火的第一特性；将组合物的表面暴露于第二剂量的电磁辐射中，其中第二剂量包括诱导组合物退火的第二特性，其中第一特性与第二特性基本上相同或不同。同。同。
技术研发人员：克劳迪奥
受保护的技术使用者：希奥检测有限公司
技术研发日：2020.05.06
技术公布日：2021/12/23