技术特征：
1.一种提高co2激光器倍频效率的方法，其特征在于：分为晶片抛光、真空环境下键合操作和热处理三个步骤；步骤1，采用砷化镓作为准相位匹配的倍频晶体，以垂直于[0
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11]晶向将晶体切割并抛光至328微米的晶片，该328微米利于使用现有工艺实现高质量的晶片，晶片之间的厚度偏差0.5λ＝0.3μm，粗糙度ra＝0.41nm，平面度峰谷值为0.056λ、均方根值为0.009λ，优于一阶准相位匹配晶体的质量；步骤2，经步骤1得到的晶片用丙酮、酒精、去离子水去除晶片表面研磨液，在盐酸混合溶液中酸洗2分钟去除晶片表面氧化物，在真空环境中按照极化方向依次旋转180度的方式进行光胶，最后在真空球中进行抽真空处理，处理至真空度为10
‑7pa；步骤3，步骤2得到的晶体放置于真空热压炉中进行热处理，控制以0.37℃/min的加热速度升温至560℃，保温时间20小时，保温过程保持恒定压力0.27kgf/mm2，降温至室温25℃，使层与层之间的晶片紧密结合在一起，得到47层低损耗准相位匹配砷化镓晶体，其平均单层界面损耗低于0.11％，优于一阶准相位匹配晶体的质量。2.根据权利要求1所述的一种提高co2激光器倍频效率的方法，其特征在于：通过增加晶片厚度，提高晶片加工质量和精度；根据准相位匹配理论，只能采用奇数阶的匹配方式，即三、五、七阶准相位匹配。3.根据权利要求1所述的一种提高co2激光器倍频效率的方法，其特征在于：考虑到尽量减少对基频光和倍频光的吸收，采用三阶准相位匹配晶片用于倍频实验。4.根据权利要求1所述的一种提高co2激光器倍频效率的方法，其特征在于：步骤2中，以纯度为38％的盐酸和离子水按照体积比1:1混合。5.根据权利要求1所述的一种提高co2激光器倍频效率的方法，其特征在于：抛光后的晶体按照相邻晶片极化方向反转180
°
进行堆叠，经过真空环境下高温加压热键合过程，使晶片结合在一起。