一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉的制作方法

1.本实用新型涉及扩散炉技术领域，具体为一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉。


背景技术：

2.扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，在对太阳能电池片加工过程中，需要使用到扩散炉，现有的扩散炉不具备均匀喷淋的功能，从而造成了炉管内不同区域硅片的方块电阻不同，降低了太阳能电池片质量。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉，具备均匀喷淋的优点，解决了现有的扩散炉不具备均匀喷淋的功能，从而造成了炉管内不同区域硅片的方块电阻不同，降低了太阳能电池片质量的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉，包括底座和箱体，所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体，所述扩散炉本体内腔的顶部固定连接有壳体，所述扩散炉本体内腔的两侧均固定连接有安装架，所述安装架的一侧固定安装有加热器，所述扩散炉本体内腔的底部固定连接有第一放置架，所述扩散炉本体内腔底部的左侧固定安装有温度探测器，所述扩散炉本体的顶部固定安装有第一风机，所述第一风机的输入端固定连接有吸气管，所述吸气管的一侧固定连接有连接口，所述第一风机的输出端固定连接有第一出气管，所述第一出气管的底部贯穿扩散炉本体和壳体并延伸至壳体的内部，所述第一出气管的底部连通有第二出气管，所述第二出气管的底部固定连接有喷洒头，所述喷洒头的底部贯穿至壳体的底部，所述箱体的顶部固定安装有第二风机，所述第二风机的输入端固定连接有输气管，所述输气管的一侧贯穿至扩散炉本体的内腔，所述第二风机的输出端固定连接有导气管，所述导气管的底部贯穿至箱体的内腔，所述箱体内腔的底部安装有第二放置架，所述第二放置架的内腔填充有活性炭吸附块，所述第二放置架的底部开设有通孔。
5.优选的，所述壳体的两侧均固定连接有固定杆，且固定杆的一侧固定连接于扩散炉本体的内壁。
6.优选的，所述第二放置架两侧的顶部和底部均固定连接有连接杆，所述连接杆的外侧与箱体的内壁固定连接。
7.优选的，所述箱体内腔的底部固定连接有高效过滤网，所述高效过滤网位于第二放置架的底部，所述扩散炉本体的内壁固定连接有密封层。
8.优选的，所述第二出气管表面的两侧均套设有限位块，且限位块的顶部固定连接于壳体内腔的顶部。
9.优选的，所述密封层包括有第一密封垫和第二密封垫，且第一密封垫和第二密封
垫的厚度均为0.03mm-0.05mm。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.1、本实用新型通过第一风机、吸气管、连接口、第一出气管、第二出气管和喷洒头的设置，实现了均匀喷洒的效果，使得太阳能电池片的表面与携带磷源的氮气可以充分的进行反应，大大提高了太阳能电池片的质量，通过密封层、第一密封垫和第二密封垫的设置，防止气体出现泄漏的现象，大大增强了装置整体密封的效果，同时解决了现有的扩散炉不具备均匀喷淋的功能，从而造成了炉管内不同区域硅片的方块电阻不同，降低了太阳能电池片质量的问题。
12.2、本实用新型通过活性炭吸附块和高效过滤网的设置，对反应后的气体进行过滤，防止有害气体直接排出，大大威胁使用者的身体健康。
附图说明
13.图1为本实用新型结构示意图；
14.图2为本实用新型扩散炉本体内部结构剖视图；
15.图3为本实用新型壳体内部结构剖视图。
16.图中：1、底座；2、扩散炉本体；3、第一风机；4、吸气管；5、连接口；6、第一出气管；7、壳体；8、第二出气管；9、高效过滤网；10、喷洒头；11、安装架；12、连接杆；13、加热器；14、温度探测器；15、第一放置架；16、箱体；17、第二风机；18、输气管；19、导气管；20、第二放置架；21、活性炭吸附块；22、通孔；23、密封层。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.在本技术文件的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。在本技术文件的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
19.请参阅图1-3，一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉，包括底座1和箱体16，箱体16内腔的底部固定连接有高效过滤网9，通过活性炭吸附块和高效过滤网的设置，对反应后的气体进行过滤，防止有害气体直接排出，大大威胁使用者的身体健康，高效过滤网9位于第二放置架20的底部，扩散炉本体2的内壁固定连接有密封层23，密封层23包括有第一密封垫和第二密封垫，且第一密封垫和第二密封垫的厚度均为0.03mm-0.05mm，底座1的顶部固定连接有扩散炉本体2，扩散炉本体2内腔的顶部固定连接有壳体7，壳体7的两侧
均固定连接有固定杆，且固定杆的一侧固定连接于扩散炉本体2的内壁，扩散炉本体2内腔的两侧均固定连接有安装架11，安装架11的一侧固定安装有加热器13，扩散炉本体2内腔的底部固定连接有第一放置架15，扩散炉本体2内腔底部的左侧固定安装有温度探测器14，扩散炉本体2的顶部固定安装有第一风机3，第一风机3的输入端固定连接有吸气管4，吸气管4的一侧固定连接有连接口5，第一风机3的输出端固定连接有第一出气管6，第一出气管6的底部贯穿扩散炉本体2和壳体7并延伸至壳体7的内部，第一出气管6的底部连通有第二出气管8，第二出气管8表面的两侧均套设有限位块，且限位块的顶部固定连接于壳体7内腔的顶部，第二出气管8的底部固定连接有喷洒头10，喷洒头10的底部贯穿至壳体7的底部，箱体16的顶部固定安装有第二风机17，第二风机17的输入端固定连接有输气管18，输气管18的一侧贯穿至扩散炉本体2的内腔，第二风机17的输出端固定连接有导气管19，导气管19的底部贯穿至箱体16的内腔，箱体16内腔的底部安装有第二放置架20，第二放置架20两侧的顶部和底部均固定连接有连接杆12，连接杆12的外侧与箱体16的内壁固定连接，第二放置架20的内腔填充有活性炭吸附块21，第二放置架20的底部开设有通孔22，通过第一风机3、吸气管4、连接口5、第一出气管6、第二出气管8和喷洒头10的设置，实现了均匀喷洒的效果，使得太阳能电池片的表面与携带磷源的氮气可以充分的进行反应，大大提高了太阳能电池片的质量，通过密封层23、第一密封垫和第二密封垫的设置，防止气体出现泄漏的现象，大大增强了装置整体密封的效果，同时解决了现有的扩散炉不具备均匀喷淋的功能，从而造成了炉管内不同区域硅片的方块电阻不同，降低了太阳能电池片质量的问题。
20.本实用新型中的所有部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，同时本技术文件中使用到的标准零件均可以从市场上购买，本技术文件中各部件根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，并且本技术文件主要用来保护机械装置，所以本技术文件不再详细解释控制方式和电路连接，在此不再作出具体叙述。
21.使用时，首先使用者将连接口5与外部装置进行连接，其次使用者通过外置控制器启动加热器13，通过加热器13对扩散炉本体2的内腔进行增温，通过温度探测器14对扩散炉本体2内腔的温度进行探测，通过温度探测器14将信息输送至控制面板，当加热到一定温度时增温停止，然后使用者通过外置控制器启动第一风机3，通过第一风机3带动吸气管4和连接口5吸入携带磷源的氮气，通过吸气管4将氮气输送至第一出气管6的内腔，通过第一出气管6将氮气输送至第二出气管8，通过第二出气管8将氮气输送至喷洒头10的内腔，通过喷洒头10喷洒而出即可，使得携带磷源的氮气在高温条件下进行均匀扩散，从而在硅片的表面形成pn结，工作结束后，使用者通过外置控制器启动第二风机17，通过第二风机17带动输气管18吸入反应后残留气体，通过输气管18将气体输送至导气管19的内腔，通过导气管19将有毒气体输送至箱体16的内腔，最后气体经过活性炭吸附块21和高效过滤网9过滤后排出即可。
22.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。