一种直拉单晶硅用加热器

1.本实用新型涉及单晶硅技术领域，更具体的说，尤其涉及一种直拉单晶硅用加热器。


背景技术：

2.目前单晶硅的制备方法分为区熔单晶硅和直拉单晶硅。直拉法是运用熔体的冷凝结晶驱动原理，在固液的界面处借由熔体温度下降，将产生由液体转换成固态的相变化。
3.但是目前直拉单晶硅用的加热器还存着一定不足之处，例如多数仅仅依靠石墨材料进行加热，由于石墨加热较慢，严重影响工作效率，以及坩埚与加热器之间间隙较大造成受热慢，同时坩埚在加热器内也容易随意转动，导致使用不便，从而大大降低其实用价值等问题。
4.有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种直拉单晶硅用加热器，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种直拉单晶硅用加热器，以解决上述背景技术中提出的问题和不足。
6.为实现上述目的，本实用新型提供了一种直拉单晶硅用加热器，由以下具体技术手段所达成：
7.一种直拉单晶硅用加热器，包括：外壳体、电加热棒、限位槽、第一卡槽、石英坩埚、限位块、第二卡槽、裙边、吊环；所述外壳体内的下部设置有电加热棒，且外壳体与电加热棒通过嵌入方式相连接；所述限位槽位于外壳体的内壁上，且限位槽与外壳体为一体式结构；所述第一卡槽位于外壳体的内壁上，且第一卡槽与外壳体为一体式结构；所述石英坩埚设置在外壳体的内部，且石英坩埚与外壳体通过间隙配合方式套接；所述限位块位于石英坩埚的外壁上，且限位块与石英坩埚为一体式结构；所述第二卡槽位于石英坩埚的外壁上，且第二卡槽与石英坩埚为一体式结构；所述裙边位于石英坩埚的上部，且裙边与石英坩埚为一体式结构；所述吊环设置在裙边的上部，且吊环与裙边通过螺纹拧接。
8.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述外壳体为圆桶状，且外壳体内的下部位置呈环形分布方式共设置有八处电加热棒。
9.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述限位槽为u形状的凹槽，且限位槽呈十字分布方式在外壳体的内壁上共设置有四处。
10.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述第一卡槽与第二卡槽均为弧形槽，且第一卡槽与第二卡槽之间通过石英坩埚与外壳体套接组成圆形孔。
11.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述限位块为矩形块状结构，且限位块通过间隙配合方式与限位槽之间卡接。
12.作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述第一卡槽呈环形阵列分布方式在外壳体的内壁上共设置有八处，且第一卡槽与电加热棒之间通过间隙配合方式卡接。
13.由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
14.1、本实用新型一种直拉单晶硅用加热器，通过设置电加热棒，从而可以在原有石墨加热的基础上进行电加热棒加热，从而大大提高加热速度，提高工作效率，继而大大提高该装置的实用价值。
15.2、本实用新型一种直拉单晶硅用加热器，通过将电加热棒卡在第一卡槽与第二卡槽组成的孔内，从而可以使电加热棒与石英坩埚之间紧密贴合，提高受热效率，继而大大提高其实用性能。
16.3、本实用新型一种直拉单晶硅用加热器，通过使限位块与限位槽之间卡接，从而可以防止石英坩埚在外壳体内随意转动引起的操作不便问题，继而大大提高了该装置的实用价值。
17.4、本实用新型通过对上述装置在结构上的改进，具有加热工作效率高，并且受热效果好以及使用稳定性强，大大提高其实用性能及实用价值等优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
附图说明
18.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
19.图1为本实用新型的主视结构示意图；
20.图2为本实用新型的外壳体结构示意图；
21.图3为本实用新型的电加热棒位置结构示意图；
22.图4为本实用新型的石英坩埚结构示意图。
23.图中：外壳体1、电加热棒2、限位槽3、第一卡槽4、石英坩埚5、限位块 6、第二卡槽7、裙边8、吊环9。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
25.需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
26.此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
27.同时，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.请参见图1至图4，本实用新型提供一种直拉单晶硅用加热器的具体技术实施方案：
29.一种直拉单晶硅用加热器，包括：外壳体1、电加热棒2、限位槽3、第一卡槽4、石英坩埚5、限位块6、第二卡槽7、裙边8、吊环9；外壳体1内的下部设置有电加热棒2，且外壳体1与电加热棒2通过嵌入方式相连接；限位槽3 位于外壳体1的内壁上，且限位槽3与外壳体1为一体式结构；第一卡槽4位于外壳体1的内壁上，且第一卡槽4与外壳体1为一体式结构；石英坩埚5设置在外壳体1的内部，且石英坩埚5与外壳体1通过间隙配合方式套接；限位块6位于石英坩埚6的外壁上，且限位块6与石英坩埚5为一体式结构；第二卡槽7位于石英坩埚5的外壁上，且第二卡槽7与石英坩埚5为一体式结构；裙边8位于石英坩埚5的上部，且裙边8与石英坩埚5为一体式结构；吊环9 设置在裙边8的上部，且吊环9与裙边8通过螺纹拧接。
30.具体的，外壳体1为圆桶状，且外壳体1内的下部位置呈环形分布方式共设置有八处电加热棒2，并且外壳体1采用石墨材料制成，并且带有现有技术中的加热电极。
31.具体的，限位槽3为u形状的凹槽，且限位槽3呈十字分布方式在外壳体1 的内壁上共设置有四处，并且结合图2所示，限位槽3与第一卡槽4在外壳体1 的内壁上呈错开式分布。
32.具体的，第一卡槽4与第二卡槽7均为弧形槽，且第一卡槽4与第二卡槽7 之间通过石英坩埚5与外壳体1套接组成圆形孔，并且组成的圆孔为电加热棒2 的安装孔。
33.具体的，限位块6为矩形块状结构，且限位块6通过间隙配合方式与限位槽 3之间卡接，并且结合图4所示，限位块6与第二卡槽7在石英坩埚5的外壁上呈错开式分布。
34.具体的，第一卡槽4呈环形阵列分布方式在外壳体1的内壁上共设置有八处，且第一卡槽4与电加热棒2之间通过间隙配合方式卡接，第一卡槽4为电加热棒2的躲避槽。
35.具体实施步骤：
36.使用该装置时，首先将外壳体1放入单晶硅炉内，并使它的加热电极及电加热棒2接通控制电源，然后利用吊环9吊起将石英坩埚5利用限位块6对准限位槽3滑动套进外壳体1的内部即可进行后续加热直拉操作等工作。
37.综上所述：该一种直拉单晶硅用加热器，通过设置电加热棒，从而可以在原有石墨加热的基础上进行电加热棒加热，从而大大提高加热速度，提高工作效率，继而大大提高该装置的实用价值；通过将电加热棒卡在第一卡槽与第二卡槽组成的孔内，从而可以使电加热棒与石英坩埚之间紧密贴合，提高受热效率，继而大大提高其实用性能；通过使限位块与限位槽之间卡接，从而可以防止石英坩埚在外壳体内随意转动引起的操作不便问题，继而大大提高了该装置的实用价值，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
38.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。