一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置的制作方法

1.本实用新型属于单晶硅生产技术领域，特别是涉及一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，在单晶炉收尾工艺中，无法自动控制收尾的直径，使得晶棒收尾的成功率及重复性较差，影响晶棒有效产出，因此需要用到收尾装置，现有的收尾装置，不能有效的根据拉速的需要适当的对矩形拉晶杆主体进行转动及位置的调节，导致收尾成功率低，调整难度大，且现有的收尾装置，不能有效的根据使用的需要适当的调整坩埚放置台主体的高度，易造成不能适应不同生产需求，降低了适应性，基于此，我们提出了一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置，以解决现有的问题：现有的收尾装置，不能有效的根据拉速的需要适当的对矩形拉晶杆主体进行转动及位置的调节，导致收尾成功率低，调整难度大。
4.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
5.本实用新型为一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置，包括单晶炉主体、矩形拉晶杆主体和坩埚放置台主体，所述矩形拉晶杆主体设置在单晶炉主体内部的上端，所述坩埚放置台主体设置在单晶炉主体内部的下端，所述单晶炉主体的下端固定有多个圆形支腿，所述单晶炉主体的上端安装有旋转高度调整机构，所述旋转高度调整机构用于矩形拉晶杆主体的转动及高度的调整。
6.进一步地，所述旋转高度调整机构包括圆形转台、第一电机、蜗杆、蜗轮、圆形连接杆、直齿轮、矩形固定架、第二电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮和齿条，所述圆形转台转动连接在单晶炉主体的上端，且所述圆形转台与矩形拉晶杆主体滑动连接，所述第一电机固定连接在圆形转台的上端，所述蜗杆固定在第一电机的输出端，所述蜗轮啮合连接在蜗杆的下部，所述圆形连接杆固定连接在蜗轮的一端，且所述圆形连接杆与圆形转台转动连接，所述直齿轮固定连接在圆形连接杆远离蜗轮的一端，所述直齿条固定连接在矩形拉晶杆主体内部且靠近齿轮的位置处，且所述直齿轮与齿条啮合连接，所述矩形固定架固定连接在单晶炉主体的上端，所述第二电机固定连接在矩形固定架的上端，所述第一锥齿轮固定连接在第二电机的输出端，所述第二锥齿轮啮合连接在第一锥齿轮的下部，所述第二锥齿轮与矩形固定架转动连接，所述第二锥齿轮与矩形拉晶杆主体滑动连接。
7.进一步地，所述单晶炉主体的下端固定连接有方形固定架，所述方形固定架的下端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出端与坩埚放置台主体转动连接，所述单晶炉主体的下端固定连接有第三电机，所述第三电机的输出端固定连接有第三锥齿轮，所述第
三锥齿轮的上部啮合连接有第四锥齿轮，所述第四锥齿轮与单晶炉主体转动连接，所述第四锥齿轮与坩埚放置台主体滑动连接。
8.进一步地，所述圆形支腿的下端均固定有圆形垫。
9.进一步地，所述矩形固定架的上端且且位于第二电机的外侧固定有防护罩。
10.进一步地，所述齿条的上端固定连接有圆形挡块。
11.本实用新型具有以下有益效果：
12.1、本实用新型通过旋转高度调整机构的结构设计，能有效的根据拉速的需要适当的对矩形拉晶杆主体进行转动及位置的调节，提升了收尾的成功率，减小了调整的难度。
13.2、本实用新型通过方形固定架、电动推杆、第三电机、第三锥齿轮和第四锥齿轮的相互配合，能有效的根据使用的需要适当的调整坩埚放置台主体的高度，进而能适应不同生产需求，提升了适应性。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型的整体结构示意图；
16.图2为本实用新型旋转高度调整机构的结构示意图；
17.图3为本实用新型单晶炉主体的剖视图。
18.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
19.1、单晶炉主体；2、圆形支腿；3、圆形转台；4、矩形拉晶杆主体；5、第一电机；6、蜗杆；7、蜗轮；8、圆形连接杆；9、直齿轮；10、矩形固定架；11、第二电机；12、第一锥齿轮；13、第二锥齿轮；14、齿条；15、坩埚放置台主体；16、方形固定架；17、电动推杆；18、第三电机；19、第三锥齿轮；20、第四锥齿轮。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-3所示，本实用新型为一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾装置，包括单晶炉主体1、矩形拉晶杆主体4和坩埚放置台主体15，矩形拉晶杆主体4设置在单晶炉主体1内部的上端，坩埚放置台主体15设置在单晶炉主体1内部的下端，单晶炉主体1的下端固定有多个圆形支腿2，圆形支腿2的下端均固定有圆形垫，增加接触面积，提升装置的稳定性，单晶炉主体1的上端安装有旋转高度调整机构，旋转高度调整机构用于矩形拉晶杆主体4的转动及高度的调整；
22.旋转高度调整机构包括圆形转台3、第一电机5、蜗杆6、蜗轮7、圆形连接杆8、直齿轮9、矩形固定架10、第二电机11、第一锥齿轮12、第二锥齿轮13和齿条14；
23.圆形转台3转动连接在单晶炉主体1的上端，且圆形转台3与矩形拉晶杆主体4滑动连接，第一电机5固定连接在圆形转台3的上端，蜗杆6固定在第一电机5的输出端，蜗轮7啮合连接在蜗杆6的下部，圆形连接杆8固定连接在蜗轮7的一端，且圆形连接杆8与圆形转台3转动连接，直齿轮9固定连接在圆形连接杆8远离蜗轮7的一端，齿条14固定连接在矩形拉晶杆主体4内部且靠近直齿轮9的位置处，且直齿轮9与齿条14啮合连接，矩形固定架10固定连接在单晶炉主体1的上端，第二电机11固定连接在矩形固定架10的上端，矩形固定架10的上端且且位于第二电机11的外侧固定有防护罩，对第二电机11进行防护，提升第二电机11的安全性；
24.第一锥齿轮12固定连接在第二电机11的输出端，第二锥齿轮13啮合连接在第一锥齿轮12的下部，第二锥齿轮13与矩形固定架10转动连接，第二锥齿轮13与矩形拉晶杆主体4滑动连接，矩形拉晶杆主体4的上端固定连接有圆形挡块，限定矩形拉晶杆主体4的移动距离；
25.单晶炉主体1的下端固定连接有方形固定架16，方形固定架16的下端固定连接有电动推杆17，电动推杆17的输出端与坩埚放置台主体15转动连接，单晶炉主体1的下端固定连接有第三电机18，第三电机18的输出端固定连接有第三锥齿轮19，第三锥齿轮19的上部啮合连接有第四锥齿轮20，第四锥齿轮20与单晶炉主体1转动连接，第四锥齿轮20与坩埚放置台主体15滑动连接。
26.本实施例的一个具体应用为：使用时，将用电设备与外部电源电性连接，通过启动第一电机5，从而带动蜗杆6的转动，因蜗杆6与蜗轮7啮合连接，蜗轮7与圆形连接杆8固定连接，圆形连接杆8与圆形转台3转动连接，圆形连接杆8与直齿轮9固定连接，进而带动直齿轮9的转动，因直齿轮9与齿条14啮合连接，齿条14与矩形拉晶杆主体4固定连接，矩形拉晶杆主体4与圆形转台3滑动连接，从而带动矩形拉晶杆主体4的移动，通过启动第二电机11，从而带动第一锥齿轮12转动，因第一锥齿轮12与第二锥齿轮13啮合连接，第二锥齿轮13与矩形固定架10转动连接，矩形拉晶杆主体4分别在第二锥齿轮13和圆形转台3的内部滑动，矩形拉晶杆主体4为矩形状，圆形转台3与单晶炉主体1转动连接，从而带动矩形拉晶杆主体4和圆形转台3的转动，能有效的根据拉速的需要适当的对矩形拉晶杆主体4进行转动及位置的调节，提升了收尾的成功率，减小了调整的难度；
27.通过启动第三电机18，从而带动第三锥齿轮19的转动，因第三锥齿轮19与第四锥齿轮20啮合连接，第四锥齿轮20与单晶炉主体1转动连接，坩埚放置台主体15在第四锥齿轮20的内部滑动，电动推杆17的输出端与坩埚放置台主体15转动连接，进而带动坩埚放置台主体15的转动，因电动推杆17与方形固定架16固定，方形固定架16与单晶炉主体1固定，从而带动坩埚放置台主体15的移动，能有效的根据使用的需要适当的调整坩埚放置台主体15的高度，进而能适应不同生产需求，提升了适应性。
28.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
29.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并
没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。