一种CZ直拉法单晶炉冷却装置的制作方法

一种cz直拉法单晶炉冷却装置
技术领域
1.本实用新型属于单晶炉冷却技术领域，特别是涉及一种cz直拉法单晶炉冷却装置。


背景技术：

2.单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶硅的设备，在生产制造过程中，停炉工序是非有效产出时间，会导致单晶炉单位小时产量下降，从而影响了非硅成本的上升，以及在安装进气(出气)管道时可能会有缝隙，进而导致单晶炉主体漏气，从而降低单晶炉主体的工作效率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种cz直拉法单晶炉冷却装置，以解决现有的问题：在生产制造过程中，停炉工序是非有效产出时间，会导致单晶炉单位小时产量下降，从而影响了非硅成本的上升。
4.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种cz直拉法单晶炉冷却装置，包括单晶炉主体，所述单晶炉主体的顶部安装有处晶体管，所述单晶炉主体的一侧固定有第一气泵，所述第一气泵的输入端固定有第一气体管道，所述第一气泵的输出端固定有输气管，且所述输气管的底部贯穿单晶炉主体并延伸至单晶炉主体的内部，所述单晶炉主体的另一侧固定有第二气泵，所述第二气泵的输出端固定有第二气体管道，所述第二气泵的输入端固定有吸气管，且所述吸气管的底部贯穿并延伸至单晶炉主体的内部；
5.所述单晶炉主体的外侧还安装有控制机构，所述控制机构用于控制第一气泵和第二气泵的工作与否。
6.进一步地，所述控制机构包括支撑板、时间继电器和控制器；
7.所述支撑板固定于单晶炉主体的外侧，所述支撑板的顶部安装有时间继电器，所述支撑板的顶部还安装有控制器。
8.进一步地，所述输气管和吸气管的外侧均固定有两圈第三密封胶条，所述单晶炉主体的内侧且位于第三密封胶条的外侧均固定有两圈第一密封胶条，两个所述第一密封胶条之间且位于两个第三密封胶条之间还固定有第二密封胶条，所述单晶炉主体和输气管以及单晶炉主体和吸气管之间且位于第一密封胶条和第三密封胶条的两侧均注塑有隔温密封胶。
9.进一步地，所述时间继电器和控制器、控制器和第一气泵以及控制器和第二气泵之间均电性连接。
10.进一步地，所述第一气泵和第二气泵均与单晶炉主体通过螺钉固定连接。
11.进一步地，所述第一密封胶条、第二密封胶条和第三密封胶条的材质均为橡胶。
12.本实用新型具有以下有益效果：
13.1、本实用新型通过时间继电器、控制器和第一气泵之间的相互配合，使得装置可有效降低单晶炉主体内部部件的温度，进而缩短了停炉时间并提升了工作效率。
14.2、本实用新型通过隔温密封胶、第二密封胶条和第一密封胶条之间的相互配合，使得单晶炉主体避免漏气，从而使得单晶炉主体的工作效果得到提升。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本实用新型的结构示意图；
17.图2为本实用新型单晶炉主体、时间继电器和控制器之间的结构示意图；
18.图3为本实用新型单晶炉主体的剖视图。
19.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
20.1、单晶炉主体；2、处晶体管；3、第一气泵；4、第一气体管道；5、输气管；6、第二气泵；7、第二气体管道；8、吸气管；9、支撑板；10、时间继电器；11、控制器；12、隔温密封胶；13、第一密封胶条；14、第二密封胶条；15、第三密封胶条。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-3所示，本实用新型为一种cz直拉法单晶炉冷却装置，包括单晶炉主体1，单晶炉主体1的顶部安装有处晶体管2，单晶炉主体1的一侧固定有第一气泵3，第一气泵3的输入端固定有第一气体管道4，第一气泵3的输出端固定有输气管5，且输气管5的底部贯穿单晶炉主体1并延伸至单晶炉主体1的内部，单晶炉主体1的另一侧固定有第二气泵6，第一气泵3和第二气泵6均与单晶炉主体1通过螺钉固定连接，使得第一气泵3和第二气泵6固定在单晶炉主体1上的效果更好，且便于对第一气泵3和第二气泵6进行维修，第二气泵6的输出端固定有第二气体管道7，第二气泵6的输入端固定有吸气管8，且吸气管8的底部贯穿并延伸至单晶炉主体1的内部；
23.单晶炉主体1的外侧还安装有控制机构，控制机构用于控制第一气泵3和第二气泵6的工作与否。
24.控制机构包括支撑板9、时间继电器10和控制器11；
25.支撑板9固定于单晶炉主体1的外侧，支撑板9的顶部安装有时间继电器10，支撑板9的顶部还安装有控制器11，时间继电器10和控制器11、控制器11和第一气泵3以及控制器11和第二气泵6之间均电性连接，使得时间继电器10能够将信号传递给控制器11，并通过控制器11得以控制第一气泵3和第二气泵6启动。
26.输气管5和吸气管8的外侧均固定有两圈第三密封胶条15，单晶炉主体1的内侧且位于第三密封胶条15的外侧均固定有两圈第一密封胶条13，两个第一密封胶条13之间且位于两个第三密封胶条15之间还固定有第二密封胶条14，第一密封胶条13、第二密封胶条14和第三密封胶条15的材质均为橡胶，使得装置的防止漏气的效果更好，单晶炉主体1和输气管5以及单晶炉主体1和吸气管8之间且位于第一密封胶条13和第三密封胶条15的两侧均注塑有隔温密封胶12。
27.本实施例的一个具体应用为：时间继电器10是一种利用电磁原理或机械原理实现延时控制的自动开关装置，当加入或去掉输入的动作信号后，其输出电路需经过规定的准确时间才产生跳跃式变化或触头动作的一种继电器，在汽车、家用和工业等领域具有较为广泛且成熟的应用，在此不再赘述；
28.使用者使用该装置时，对时间继电器10进行设置，进而预先对时间继电器10设定为需要的时间间隔，通过时间继电器10的设置，使得时间继电器10每隔一段时间后，就会将信号传递给控制器11，使得控制器11控制第一气泵3和第二气泵6启动，当第一气泵3启动时，使得第一气泵3将外部氩气仓室内的氩气抽吸至输气管5内部，进而通过输气管5将氩气输送至单晶炉主体1内部，而当第二气泵6启动时，使得第二气泵6通过吸气管8将氩气抽吸至第二气体管道7内部，再通过第二气体管道7输送至外部氩气仓室内，进而能够对单晶炉主体1内部的氩气进行循环，当第一气泵3和第二气泵6工作一段时间后，再通过时间继电器10将信号传递给控制器11，并通过控制器11关闭第一气泵3和第二气泵6，从而在保证了单晶炉主体1在一定温度下的正常运行时，可有效降低单晶炉主体1内部部件的温度，进而缩短了停炉时间并提升了工作效率；
29.在输气管5和吸气管8安装在单晶炉主体1上时，如果安装效果不好，很可能会导致单晶炉主体1内部漏气，此时，在输气管5和吸气管8安装时，通过第三密封胶条15的移动，使得第三密封胶条15移动至第一密封胶条13之间，并通过第一密封胶条13与第三密封胶条15以及第二密封胶条14与第三密封胶条15相互进行贴合，使得单晶炉主体1有效避免漏气，接着从单晶炉主体1和输气管5以及单晶炉主体1和吸气管8之间注塑隔温密封胶12，进而进一步避免单晶炉主体1漏气，从而使得单晶炉主体1的工作效果得到提升。
30.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
31.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。