技术特征：
1.一种碳化硅籽晶粘接后的碳化方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）把高纯石墨板放在井式炉炉底，然后再把石英筒放置在石墨板上；所述井式炉只设置底部电阻丝加热程序，所述石英筒包括侧面有开孔的筒身和筒盖，无底部 ；（2）把粘接好籽晶的石墨台放置到石英筒内，在石墨台上的籽晶上放置一张圆形石墨纸作为缓冲层，再往上面放置压铁，放置压铁总重在100-150kg；全部放好并固定后，盖上石英筒的盖子，把井式炉盖上，关闭进气孔阀门；（3）先启动井式炉真空泵，进行10-30min的抽气，直到测试炉内的压力表数值在-0.1处维持并不发生偏转；（4）打开进气孔阀门，以0.1-0.3mpa的流量通入氩气，边通气边以30%的漏率抽真空持续5-20min，炉内气压维持在负压状态，然后开始加热；（5）一直维持以0.1-0.3mpa的流量通氩气，以30%的漏率抽真空，只开启井式炉底部的加热电阻丝进行加热，加热程序设定为3-6h加热到碳化温度400-600℃，在碳化温度保温0.5-2h后结束加热，并让其自动降温到室温；（6）温度降到室温后，关闭真空泵停止抽气，继续通入氩气使炉内压力达到室内大气压后再关闭氩气进气阀门，打开井式炉取出碳化好的籽晶。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶粘接后的碳化方法，其特征在于，所述压铁为数块，单块压铁为10kg,相邻两块压铁的中部分别设置相互嵌接的凸凹台，并外设不锈钢固定架进行固定，具体放置压铁的操作步骤为：一块底面平整，上面有个凹台的压铁后利用不锈钢固定架固定好，放置于石墨纸上，再继续往上面放下面有凸台，上面有凹台的压铁，反复操作后，达到需要的压铁重量。3.根据权利要求1或2所述的一种碳化硅籽晶粘接后的碳化方法，其特征在于，所述不锈钢固定架整体为圆柱形，包括两个抱箍，两个抱箍外设置四根固定柱搭建而成，所述抱箍上设置多个螺纹孔，并配置多根螺栓辅助固定压铁。4.根据权利要求3所述的一种碳化硅籽晶粘接后的碳化方法，其特征在于，所述步骤（2）中放置压铁总重为120kg。5.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶粘接后的碳化方法，其特征在于，所述步骤（4）、（5）中氩气的通入流量为0.15mpa。6.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶粘接后的碳化方法，其特征在于，所述步骤（5）中，加热程序设定为4 h，加热到碳化温度500℃，在碳化温度保温1h后结束加热，并让其自动降温到室温。7.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶粘接后的碳化方法，其特征在于，所述步骤（1）中的石墨板为高纯石墨板，厚10mm，且平整度在
±
10um内。
技术总结
本发明属于碳化硅单晶生长前处理领域，具体公开一种碳化硅籽晶粘接后减少空腔的碳化方法，（1）把高纯石墨板放在井式炉炉底，然后再把石英筒放置在石墨板上；（2）把粘接好籽晶的石墨台放置到石英筒内，在石墨台上的籽晶上放置一张圆形石墨纸作为缓冲层，再往上面放置压铁；（3）启动井式炉真空泵，进行10-30min的抽气，（4）打开进气孔阀门，以0.1-0.3MPa的流量通入氩气然后开始加热；（5），以30%的漏率抽真空，开启井式炉底部的加热电阻丝进行加热，加热程序设定为3-6h加热到碳化温度400-600℃，在碳化温度保温0.5-2h后结束加热，并让其自动降温到室温；本发明通过利用底部的电阻丝加热，中间气泡和有机胶中挥发物排出完全，长出的晶体表面光滑平整。表面光滑平整。表面光滑平整。
技术研发人员：黄四江 王美春 沙智勇 刘得伟 尹归 杨海平 殷云川
受保护的技术使用者：昆明云锗高新技术有限公司 云南鑫耀半导体材料有限公司
技术研发日：2022.06.17
技术公布日：2022/10/13