技术特征：
1.一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法，其特征在于，包括以下步骤：将合成的高纯度三氯氢硅与回收三氯氢硅送入分离塔中进行混合，通过对分离塔进行加热，汽化氯硅烷，再通过冷凝器冷凝二氯二氢硅至液态，采出部分二氯二氢硅，余下部分二氯二氢硅送回至分离塔作为回流液，获取分离塔塔釜中的压力值和温度值，通过dcs系统判断分离塔中二氯二氢硅的含量与分离塔压力值、温度值的关系，确定二氯二氢硅的采出量。2.根据权利要求1所述的一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法，其特征在于：所述三氯氢硅来自于三氯氢硅合成工段的高纯三氯氢硅，以及精馏处理后含8%~15%二氯二氢硅的三氯氢硅。3.根据权利要求1所述的一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法，其特征在于：采用aspen软件，根据分离塔中三氯氢硅和二氯二氢硅的气液平衡数据进行拟合得到分离塔中二氯二氢硅的含量与分离塔塔底压力值、温度值的满足下述关系：c（二氯二氢硅）=（a
×
pi-b）
×
ln（ti）+（c
×
pi+d），其中a，b，c为拟合参数，pi为分离塔塔釜气相压力值，ti为分离塔塔釜液相温度值。4.一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的系统，其特征在于：包括分离塔和dcs系统，分离塔的塔釜设有温度计和压力计，分离塔上连接有合成三氯氢硅管线和回收三氯氢硅管线，分离塔的塔顶通过管线i连接储罐，储罐上连接有二氯二氢硅采出管线，二氯二氢硅采出管线上设有阀门i，储罐通过回流管线与分离塔上部连接，分离塔的塔釜连接有精制三氯氢硅管线，dcs系统分别与温度计、压力计、阀门i控制连接，分离塔的塔釜连接有管壳式换热器，分离塔与储罐连接的管线上设有冷凝器。5.根据权利要求4所述的一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的系统，其特征在于：与所述储罐连接的二氯二氢硅采出管线上设有增压泵i；精制三氯氢硅管线上设有增压泵ii。6.根据权利要求5所述的一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的系统，其特征在于：所述增压泵i和增压泵ii均选用屏蔽泵。7.根据权利要求4所述的一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的系统，其特征在于：回流管线上设有阀门ii，精制三氯氢硅管线上设有阀门iii。
技术总结
本发明公开了一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法，属于多晶硅生产技术领域，包括以下步骤：将合成的高纯度三氯氢硅与回收三氯氢硅送入分离塔中进行混合，通过对分离塔进行加热，汽化氯硅烷，再通过冷凝器冷凝二氯二氢硅至液态，采出部分二氯二氢硅，余下部分二氯二氢硅送回至分离塔作为回流液，获取分离塔塔釜中的压力值和温度值，通过DCS系统判断分离塔中二氯二氢硅的含量与分离塔压力值、温度值的关系，确定二氯二氢硅的采出量，同时公开了匹配该方案的系统，有效解决现有技术生产多晶硅的还原工段中，输入原料精制三氯氢硅过程中，三氯氢硅与二氯二氢硅的比例存在较大波动，导致产品质量不稳定的问题。导致产品质量不稳定的问题。导致产品质量不稳定的问题。
技术研发人员：彭中 李寿琴 杨强 杜炳胜 汪云清 杨成 刘阳 王世棋
受保护的技术使用者：云南通威高纯晶硅有限公司
技术研发日：2022.06.21
技术公布日：2022/9/23