技术特征：
1.一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，包括：母液盖板(1)、保温盖板(2)、母液板(3)以及衬底板(4)；所述母液盖板(1)盖设于所述母液板(3)上方，所述衬底板(4)上设置有用于放置衬底的衬底槽(41)，所述母液板(3)上设置有用于放置母液用的母液槽(31)，所述保温盖板(2)盖设于所述母液槽(31)上，所述母液板(3)位于所述衬底板(4)的上方且二者可相对滑动设置。2.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述石墨舟还包括有底板(5)，所述衬底板(4)设置于所述底板(5)上方。3.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述母液板(3)上还设置有汞源保护槽(32)，所述汞源保护槽(32)对称设置于母液槽(31)的两侧。4.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述母液槽(31)的周围设置有隔热槽(33)，所述保温盖板(2)包括顶壁以及自顶壁四周向下延伸的侧壁，所述顶壁设置于所述母液槽(31)的上方，所述侧壁插设于所述隔热槽(33)中。5.根据权利要求4所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述保温盖板(2)采用一体设计，保温盖板(2)的侧壁为中空结构，或侧壁的厚度大于顶壁的厚度。6.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述保温盖板(2)的材质选自石英或氧化铝隔热材料。7.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述母液槽(31)顶部尺寸大于底部尺寸。8.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述母液槽(31)底部尺寸等于或略小于衬底槽(41)的尺寸。9.一种采用权利要求1-8中任一项所述的水平液相外延石墨舟制备薄膜材料的方法，包括如下的步骤：s1：将水平外延炉进行升温至母液均匀化的温度；s2：水平外延炉分区降温至母液结晶点附近，使石墨舟的各个温区从左至右呈现一定的温度梯度，推动母液板(3)，使母液槽(31)位于衬底上方；s3：生长结束，推动母液板(3)，使母液槽(31)离开衬底上方。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：生长过程中，温度较高的温区使用较快的降温速率，温度较低的温区使用较慢的降温速率，最终保证生长结束时，温度梯度与生长初始相反。
技术总结
本发明属于薄膜材料的外延生长技术领域，具体涉及一种改善水平液相外延生长薄膜材料表面形貌的石墨舟及薄膜的生长方法，通过采用本发明提供的石墨舟以及外延薄膜的生长方法，能够消除水平液相外延制备薄膜材料过程中由于溶质对流以及汞压差异导致外延生长的薄膜材料出现宏观波纹缺陷，提高薄膜材料厚度以及组分的均匀性及平整度，改善探测器成像“鬼影”现象。现象。现象。
技术研发人员：黄晟 黄立 张冰洁 舒秀婷
受保护的技术使用者：武汉高芯科技有限公司
技术研发日：2022.11.28
技术公布日：2023/3/30