一种多晶还原炉生产用石墨夹头的制作方法

文档序号:31319934发布日期:2022-08-31 01:48阅读:154来源:国知局
一种多晶还原炉生产用石墨夹头的制作方法

1.本技术涉及石墨夹头领域,具体而言,涉及一种多晶还原炉生产用石墨夹头。


背景技术:

2.多晶硅是生产太阳能光伏电池和半导体晶圆的基本原料,目前主流的生产工艺是改良西门子法,通过化学气相沉积法在高温真空炉中还原三氯氢硅,最后得到高纯度的原料多晶硅,沉积过程中需要将硅芯用夹具固定,在高温情况下,石墨的硬度极高,且导电性强,因此常常使用到石墨夹头对硅芯进行固定,但是现有的多晶还原炉生产用石墨夹头,通常直接将硅芯插入石墨夹头的插孔内,缺少其他辅助固定结构,导致硅芯会产生晃动,降低了实用性。


技术实现要素:

3.为了弥补以上不足,本技术提供一种多晶还原炉生产用石墨夹头,旨在改善现有的多晶还原炉生产用石墨夹头,缺少其他辅助固定结构,导致硅棒会产生晃动,降低了实用性的问题。
4.本技术实施例提供了一种多晶还原炉生产用石墨夹头包括支撑组件和夹紧组件。
5.所述支撑组件包括底座、伸缩杆和底板,所述伸缩杆固定安装于所述底座一侧,所述底板固定安装于所述伸缩杆一端,所述夹紧组件包括支撑板、双向螺杆、夹板、支撑块、夹块和固定件,所述支撑板与所述底板转动连接,所述双向螺杆与所述支撑板转动连接,所述夹板相对应设置于所述支撑板一侧,所述夹板与所述支撑板滑动连接,所述夹板与所述双向螺杆螺纹连接,夹板一侧设置有放置孔,所述支撑块与所述放置孔滑动连接,所述夹块固定安装于所述支撑块一端,所述固定件固定安装于所述支撑板一侧。
6.在上述实现过程中,当需要对硅芯进行夹紧时,使用者可以先将硅芯穿过两个放置孔,并且放在夹块之间,使得夹块全部搭在硅芯表面,随后使用者可以转动双向螺杆,因为夹板相对应设置于支撑板一侧,夹板与支撑板滑动连接,夹板与双向螺杆螺纹连接,当转动双向螺杆时,会带动夹板相互靠近,支撑块与放置孔滑动连接,由于夹块与硅芯表面的摩擦,会使支撑块从放置孔内不断的伸出,当支撑块越从放置孔内伸出夹的就会越紧,可以提高对硅芯夹持的便捷性和稳定性,固定件固定安装于支撑板一侧,随后通过固定件对硅芯进行固定,进一步提高稳定性,当固定结束后,使用者可以调节伸缩杆对其进行高度调节,进而增加了其他辅助固定结构,对硅芯提高了稳定性,从而增加了实用性。
7.在一种具体的实施方案中,所述伸缩杆包括第一支杆、第二支杆和旋钮,所述第二支杆与所述第一支杆滑动连接,所述旋钮一端贯穿连接于所述第一支杆一侧,所述旋钮一端抵在所述第二支杆表面。
8.在上述实现过程中,伸缩杆可以对其进行升高和降低的调节,当需要升高时,只要拉动第二支杆,当调节完成后,可以拧动旋钮进行固定。
9.在一种具体的实施方案中,所述底板一侧设置有转槽。
10.在上述实现过程中,底板一侧设置有转槽,设置转槽可以起到限位的作用。
11.在一种具体的实施方案中,所述支撑板一侧设置有滑轮,所述滑轮与所述底板相贴合。
12.在上述实现过程中,支撑板一侧设置有滑轮,设置滑轮是为了支撑板更好的转动,可以减小摩擦力。
13.在一种具体的实施方案中,所述支撑板一侧设置有限位杆,所述限位杆与所述转槽转动连接。
14.在上述实现过程中,支撑板一侧设置有限位杆,限位杆可以起到对支撑板限位的作用,同时使用者可以转动限位杆对支撑板进行转动,从而可以调节方向。
15.在一种具体的实施方案中,所述夹板一侧设置有滑槽。
16.在上述实现过程中,夹板一侧设置有滑槽,设置滑槽可以起到限位的作用。
17.在一种具体的实施方案中,所述夹板一侧设置有螺纹块,所述螺纹块与所述双向螺杆螺纹连接。
18.在上述实现过程中,夹板一侧设置有螺纹块,螺纹块可以起到支撑和带动的作用,螺纹块与双向螺杆螺纹连接,当转动双向螺杆时,螺纹块会进行移动,从而带动夹板进行移动。
19.在一种具体的实施方案中,所述支撑块一侧设置有滑块,所述滑块与所述滑槽滑动连接。
20.在上述实现过程中,支撑块一侧设置有滑块,滑块可以起到支撑和连接的作用。
21.在一种具体的实施方案中,所述固定件包括第一固定块、第二固定块、螺纹杆和弧形板,所述第一固定块固定安装于所述支撑板一侧,所述第二固定块与所述第一固定块固定连接,所述螺纹杆与所述第二固定块螺纹连接,所述弧形板与所述螺纹杆转动连接。
22.在上述实现过程中,当需要对硅芯进行固定时,可以拧动螺纹杆,螺纹杆带动弧形板进行移动,将弧形板与硅芯相互贴合,从而对硅芯增加了稳定性。
23.在一种具体的实施方案中,所述第二固定块一侧设置有螺纹槽,所述螺纹杆与所述螺纹槽螺纹连接。
24.在上述实现过程中,第二固定块一侧设置有螺纹槽,螺纹槽可以对螺纹杆进行移动限位。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本技术的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
26.图1是本技术实施方式提供的一种多晶还原炉生产用石墨夹头第一视角结构示意图;
27.图2为本技术实施方式提供的伸缩杆结构示意图;
28.图3为本技术实施方式提供的图1中a处结构示意图;
29.图4为本技术实施方式提供的夹板第二视角结构示意图;
30.图5为本技术实施方式提供的固定件结构示意图。
31.图中:100-支撑组件;110-底座;120-伸缩杆;121-第一支杆;122-第二支杆;123-旋钮;130-底板;131-转槽;200-夹紧组件;210-支撑板;211-滑轮;212-限位杆;220-双向螺杆;230-夹板;231-滑槽;232-螺纹块;240-放置孔;250-支撑块;251-滑块;260-夹块;270-固定件;271-第一固定块;272-第二固定块;2721-螺纹槽;273-螺纹杆;274-弧形板。
具体实施方式
32.下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行描述。
33.为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施方式中的附图,对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施方式是本技术一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本技术保护的范围。
34.请参阅图1-5,本技术提供一种多晶还原炉生产用石墨夹头包括支撑组件100和夹紧组件200,支撑组件100可以起到调节的作用,夹紧组件200可以对硅芯进行夹紧和固定。
35.请参阅图1-2,支撑组件100包括底座110、伸缩杆120和底板130,伸缩杆120固定安装于底座110一侧,通过焊接的方式进行固定,底板130固定安装于伸缩杆120一端,伸缩杆120包括第一支杆121、第二支杆122和旋钮123,第二支杆122与第一支杆121滑动连接,旋钮123一端贯穿连接于第一支杆121一侧,旋钮123一端抵在第二支杆122表面,伸缩杆120可以对其进行升高和降低的调节,当需要升高时,只要拉动第二支杆122,当调节完成后,可以拧动旋钮123进行固定,底板130一侧设置有转槽131,设置转槽131可以起到限位的作用。
36.请参阅图1、图3、图4和图5,夹紧组件200包括支撑板210、双向螺杆220、夹板230、支撑块250、夹块260和固定件270,支撑板210与底板130转动连接,双向螺杆220与支撑板210转动连接,夹板230相对应设置于支撑板210一侧,最起码设置有两个,夹板230与支撑板210滑动连接,支撑板210最起码设置有四个,方便固定,夹板230与双向螺杆220螺纹连接,夹板230一侧设置有放置孔240,支撑块250与放置孔240滑动连接,滑动连接可以带动支撑块250进行移动,夹块260固定安装于支撑块250一端,固定件270固定安装于支撑板210一侧,可以对硅芯增加稳定性。
37.在一些具体的实施方案中,支撑板210一侧设置有滑轮211,滑轮211与底板130相贴合,设置滑轮211是为了支撑板210更好的转动,可以减小摩擦力,支撑板210一侧设置有限位杆212,限位杆212与转槽131转动连接,限位杆212可以起到对支撑板210限位的作用,同时使用者可以转动限位杆212对支撑板210进行转动,从而可以调节方向,夹板230一侧设置有滑槽231,设置滑槽231可以起到限位的作用。
38.在一些具体的实施方案中,夹板230一侧设置有螺纹块232,螺纹块232与双向螺杆220螺纹连接,螺纹块232可以起到支撑和带动的作用,螺纹块232与双向螺杆220螺纹连接,当转动双向螺杆220时,螺纹块232会进行移动,从而带动夹板230进行移动,支撑块250一侧设置有滑块251,滑块251与滑槽231滑动连接,固定件270包括第一固定块271、第二固定块272、螺纹杆273和弧形板274,第一固定块271固定安装于支撑板210一侧,第二固定块272与第一固定块271固定连接,螺纹杆273与第二固定块272螺纹连接,弧形板274与螺纹杆273转
动连接,当需要对硅芯进行固定时,可以拧动螺纹杆273,螺纹杆273带动弧形板274进行移动,将弧形板274与硅芯相互贴合,从而对硅芯增加了稳定性,第二固定块272一侧设置有螺纹槽2721,螺纹杆273与螺纹槽2721螺纹连接,螺纹槽2721可以对螺纹杆273进行移动限位。
39.该多晶还原炉生产用石墨夹头的工作原理:当需要对硅芯进行夹紧时,使用者可以先将硅芯穿过两个放置孔240,并且放在夹块260之间,使得夹块260全部搭在硅芯表面,随后使用者可以转动双向螺杆220,因为夹板230相对应设置于支撑板210一侧,夹板230与支撑板210滑动连接,夹板230与双向螺杆220螺纹连接,当转动双向螺杆220时,会带动夹板230相互靠近,支撑块250与放置孔240滑动连接,由于夹块260与硅芯表面的摩擦,会使支撑块250从放置孔240内不断的伸出,当支撑块250越从放置孔240内伸出夹的就会越紧,可以提高对硅芯夹持的便捷性和稳定性,固定件270固定安装于支撑板210一侧,随后可以拧动螺纹杆273,螺纹杆273带动弧形板274进行移动,将弧形板274与硅芯相互贴合,从而对硅芯进一步提高稳定性,当固定结束后,使用者可以调节伸缩杆120对其进行高度调节,进而增加了其他辅助固定结构,对硅芯提高了稳定性,从而增加了实用性。
40.以上所述仅为本技术的实施例而已,并不用于限制本技术的保护范围,对于本领域的技术人员来说,本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
41.以上所述,仅为本技术的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此,本技术的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
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