技术特征：
1.一种石墨盘治具，其特征在于，所述石墨盘治具包括：烘烤架本体，所述烘烤架本体包两个间隔设置的固定板及设于两个所述固定板之间的承载架，所述承载架包括若干承载横梁，各所述承载横梁上在对应位置上都设有若干卡槽，以通过各所述承载横梁上的卡槽来卡放石墨盘，所述卡槽包括弧形部与所述弧形部连接的阶梯部，所述弧形部设于所述阶梯部开口的两侧，所述弧形部朝向所述石墨盘的圆心一侧，以用于导向所述石墨盘的取放。2.根据权利要求1所述的石墨盘治具，其特征在于，所述弧形部包括第一弧形部以及与所述第一弧形部相对的第二弧形部，以通过所述第一弧形部和所述第二弧形部围合于所述石墨盘的两侧。3.根据权利要求2所述的石墨盘治具，其特征在于，所述石墨盘包括第一石墨板以及与所述第一石墨板连接的第二石墨板，所述第一石墨板于远离所述第二石墨板的一侧被所述第一弧形部包围，所述第二石墨板于远离所述第一石墨板的一侧被所述第二弧形部包围。4.根据权利要求2所述的石墨盘治具，其特征在于，所述第一弧形部的宽度、所述第二弧形部的宽度及所述卡槽的突出部宽度的比值为1：1：2-4。5.根据权利要求3所述的石墨盘治具，其特征在于，所述阶梯部包括曲面部以及与所述曲面部连接的台阶部，所述曲面部设于所述台阶部朝向所述石墨盘圆心的一侧，所述曲面部围合于所述第一石墨板和所述第二石墨板的边缘。6.根据权利要求5所述的石墨盘治具，其特征在于，所述曲面部包括第一曲面部以及与所述第一曲面部连接的第二曲面部，所述第一曲面部于远离所述第二曲面部的一侧连接所述第一弧形部，所述第二曲面部于远离所述第一曲面部的一侧连接所述第二弧形部。7.根据权利要求6所述的石墨盘治具，其特征在于，所述第一曲面部包围所述第一石墨板的边缘，所述第二曲面部包围所述第二石墨板的边缘。8.根据权利要求5所述的石墨盘治具，其特征在于，所述台阶部包括第一台阶部以及与所述第一台阶部连接的第二台阶部，所述第一台阶部抵靠所述第一石墨板的边缘，所述第二台阶部抵靠所述第二石墨板的边缘，以承载所述石墨盘。9.根据权利要求1所述的石墨盘治具，其特征在于，所述承载横梁的两端分别固定连接所述固定板以形成一用于放置所述石墨盘的容纳空间。10.根据权利要求9所述的石墨盘治具，其特征在于，所述承载横梁与所述固定板的连接为活动连接。
技术总结
本实用新型提供了一种石墨盘治具，涉及半导体生产设备技术领域，该石墨盘治具包括：烘烤架本体，烘烤架本体包两个间隔设置的固定板及设于两个固定板之间的承载架，承载架包括若干承载横梁，各承载横梁上在对应位置上都设有若干卡槽，以通过各承载横梁上的卡槽来卡放石墨盘，卡槽包括弧形部与弧形部连接的阶梯部，弧形部设于阶梯部开口的两侧，弧形部朝向石墨盘的圆心一侧，以用于导向石墨盘的取放。本实用新型能够解决现有技术中石墨盘治具易造成石墨盘碰撞边缘破损，影响石墨盘的使用寿命的技术问题。技术问题。技术问题。
技术研发人员：冯宽 肖崇武 张铭信 陈铭胜
受保护的技术使用者：江西兆驰半导体有限公司
技术研发日：2022.04.27
技术公布日：2022/8/19