一种用于气相外延炉的冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及外延炉冷却技术领域，具体为一种用于气相外延炉的冷却装置。


背景技术：

2.气相外延是一种单晶薄层生长方法，气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式性质，而气相外延炉为单晶薄片的生长提高热源，在单晶薄片生长完成后需要对其进行冷却。
3.现有技术中，所使用的气相外延炉的冷却装置在使用过程中冷却效果差，同时不能自动检测并分离出温度不合格的单晶薄片，因此需要改进出一种用于气相外延炉的冷却装置来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种用于气相外延炉的冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于气相外延炉的冷却装置，包括冷却箱，所述冷却箱的内壁上固定安装有扰流板，所述冷却箱的底部固定安装有支撑腿，所述支撑腿的内侧固定安装有底板，所述底板的顶部左侧固定安装有成品箱，所述底板的顶部右侧固定安装有废品箱，所述冷却箱的内部设置有冷却机构，所述冷却箱的右侧固定在有冷却液循环机构。
6.所述冷却液循环机构包括水箱，所述水箱固定安装在冷却箱的右侧，所述水箱的底部与冷却箱的右侧之间固定安装有支撑架，所述水箱的底部内壁上固定安装有水泵，所述水泵的顶部固定安装有进水管，所述水箱的左侧固定安装有排水管，所述水箱的右侧固定安装有换液口。
7.优选的，所述水箱的左侧以及冷却箱的右侧与进水管以及排水管的对应位置处均开设有通孔，且所述进水管与排水管均穿过通孔，便于使水箱内的冷却液与冷却箱中的冷却液进行循环交换。
8.优选的，所述冷却机构包括固定框，所述固定框固定安装在冷却箱的顶部，所述固定框的左侧开设有进气孔，固定框的底部内壁上固定安装有气泵，所述气泵的顶部固定安装有进气管，所述固定框的右侧与进气管的对应位置处开设有通孔，且所述进气管穿过通孔，通过气泵将空气吹入进料盒中，使进料盒内的单晶薄片进入冷却管中。
9.优选的，所述冷却箱的顶部固定安装有进料盒，所述进气管远离气泵的一端固定安装在进料盒的顶部，所述进料盒的右侧固定安装有加料斗，便于向进料盒内加入单晶薄片。
10.优选的，所述冷却箱的内部固定安装有冷却管，且所述冷却管为螺旋形管，所述冷却管的顶部固定安装在进料盒的底部，所述冷却管的底部固定安装有出料管，通过螺旋形的冷却管增大与冷却液的接触面积，提高单晶薄片的冷却效果。
11.优选的，所述冷却箱的底部与出料管的对应位置处开设有通孔，且所述出料管穿过通孔，通过出料管将单晶薄片排出冷却管。
12.优选的，所述冷却箱的底部固定安装有温度检测器，且所述温度检测器使用红外温度检测，所述支撑腿的内侧固定安装有喷嘴，且所述喷嘴通过压缩机进行喷气，便于将冷却后温度不合格的单晶薄片通过喷嘴吹入废品箱中。
13.与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于气相外延炉的冷却装置，具备以下有益效果：
14.1、该用于气相外延炉的冷却装置，通过设置的冷却机构，在使用过程中，提高单晶薄片的冷却效果，同时自动对冷却后的单晶薄片进行温度检测，并将温度不合格的单晶薄片与合格的单晶薄片分离，无需人工进行二次检测。
15.2、该用于气相外延炉的冷却装置，通过设置的冷却循环机构，在使用过程中，使冷却箱中的冷却液可以一直循环更换，保证冷却温度维持恒定，防止冷却液温度过高影响冷却效果。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：
17.图1为本实用新型正面结构示意图；
18.图2为本实用新型正面结构剖视示意图；
19.图3为本实用新型图2中a处结构放大示意图；
20.图4为本实用新型图2中b处结构放大示意图。
21.图中：1、冷却箱；11、扰流板；2、支撑腿；3、底板；31、成品箱；32、废品箱；4、冷却机构；41、固定框；42、进气孔；43、气泵；44、进气管；45、进料盒；46、加料斗；47、冷却管；48、出料管；49、温度检测器；410、喷嘴；5、冷却液循环机构；51、水箱；52、支撑架；53、水泵；54、进水管；55、排水管；56、换液口。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于气相外延炉的冷却装置，
包括冷却箱1，冷却箱1的内壁上固定安装有扰流板11，冷却箱1的底部固定安装有支撑腿2，支撑腿2的内侧固定安装有底板3，底板3的顶部左侧固定安装有成品箱31，底板3的顶部右侧固定安装有废品箱32，冷却箱1的内部设置有冷却机构4，冷却箱1的右侧固定在有冷却液循环机构5。
25.冷却液循环机构5包括水箱51，水箱51固定安装在冷却箱1的右侧，水箱51的底部与冷却箱1的右侧之间固定安装有支撑架52，水箱51的底部内壁上固定安装有水泵53，水泵53的顶部固定安装有进水管54，水箱51的左侧固定安装有排水管55，水箱51的右侧固定安装有换液口56，水箱51的左侧以及冷却箱1的右侧与进水管54以及排水管55的对应位置处均开设有通孔，且进水管54与排水管55均穿过通孔，便于使水箱51内的冷却液与冷却箱1中的冷却液进行循环交换。
26.冷却机构4包括固定框41，固定框41固定安装在冷却箱1的顶部，固定框41的左侧开设有进气孔42，固定框41的底部内壁上固定安装有气泵43，气泵43的顶部固定安装有进气管44，固定框41的右侧与进气管44的对应位置处开设有通孔，且进气管44穿过通孔，通过气泵43将空气吹入进料盒45中，使进料盒45内的单晶薄片进入冷却管47中，冷却箱1的顶部固定安装有进料盒45，进气管44远离气泵43的一端固定安装在进料盒45的顶部，进料盒45的右侧固定安装有加料斗46，便于向进料盒45内加入单晶薄片，冷却箱1的内部固定安装有冷却管47，且冷却管47为螺旋形管，冷却管47的顶部固定安装在进料盒45的底部，冷却管47的底部固定安装有出料管48，通过螺旋形的冷却管47增大与冷却液的接触面积，提高单晶薄片的冷却效果，冷却箱1的底部与出料管48的对应位置处开设有通孔，且出料管48穿过通孔，通过出料管48将单晶薄片排出冷却管47，冷却箱1的底部固定安装有温度检测器49，且温度检测器49使用红外温度检测，支撑腿2的内侧固定安装有喷嘴410，且喷嘴410通过压缩机进行喷气，便于将冷却后温度不合格的单晶薄片通过喷嘴410吹入废品箱32中。
27.在实际操作过程中，当此装置使用时，通过向加料斗46内加入单晶薄片，使单晶薄片进入进料盒45中，同时气泵43将空气通过进气管44吹入进料盒45中，使进料盒45中的单晶薄片进入冷却管47中，单晶薄片在冷却管47中进行冷却后通过出料管48排出，单晶薄片在下落过程中，通过温度检测器49检测单晶薄片的温度，温度合格的单晶薄片自动落入在成品箱31中，当温度不合格时，通过喷嘴410喷出气体，将单晶薄片吹入到废品箱32中，使水泵53将水箱51内的冷却液通过进水管54泵入冷却箱1中，使冷却箱1内温度较高的冷却液通过排水管55重新流入到水箱51中。
28.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。