PECVD单晶硅扩散用的碳化硅陶瓷扩散管的制作方法

pecvd单晶硅扩散用的碳化硅陶瓷扩散管
技术领域
1.本实用新型涉及扩散管技术领域，具体为pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管。


背景技术：

2.单晶硅，硅的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到 99.9999999％以上。单晶硅具有优良的物理、化学、机械及半导体性能，因此被作为基础材料广泛用于大规模集成电路、半导体器件以及光伏太阳能电池制造过程中。[1]单晶硅是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。
[0003]
在单晶硅扩散工艺过程中往往要用到扩散管，现有的扩散管大多长度固定，不能够对长度进行调节，不方便使用。


技术实现要素：

[0004]
本部分的目的在于概述本实用新型的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本技术的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。
[0005]
鉴于上述和/或现有pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管中存在的问题，提出了本实用新型。
[0006]
因此，本实用新型的目的是提供pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管，能够通过设置第一管体和第二管体，第一管体内部开设有延伸至第一管体两端的第一流通道，第二管体位于第一流通道内部，并且第二管体内部开设有延伸至第二管体两端的第二流通道，第一流通道左端开口处安装有环形限位板，第二管体右端安装有封闭板，通过拉动第二管体可以使第二管体在第一流通道内部滑动，封闭板对第一管体内部进行阻隔，第二流通道与第一流通道连通，通过环形限位板对封闭板进行限位，实现管体总长度的调节。
[0007]
为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：
[0008]
pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管，其包括：
[0009]
第一管体，所述第一管体内部开设有第一流通道，所述第一流通道延伸至所述第一管体两端，所述第一流通道左端开口处安装有环形限位板；
[0010]
第二管体，所述第二管体位于所述第一流通道内部，所述第二管体内部开设有第二限位板，所述第二限位板延伸至所述第二管体两端，所述第二管体右端安装有封闭板，所述封闭板直径大于所述环形限位板内圈直径并小于所述第一流通道直径。
[0011]
作为本实用新型所述的pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管的一种优选方案，其中，所述第二管体左端安装有第二限位板，所述第二限位板直径大于所述第一流通道
开口直径。
[0012]
作为本实用新型所述的pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管的一种优选方案，其中，所述封闭板外圈安装有密封圈。
[0013]
作为本实用新型所述的pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管的一种优选方案，其中，所述第二限位板侧壁安装有延伸板，所述延伸板顶部开设有限位孔。
[0014]
作为本实用新型所述的pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管的一种优选方案，其中，所述第一管体左端开设有滑槽，所述滑槽与所述第一流通道连通，所述延伸板位于所述滑槽内部。
[0015]
作为本实用新型所述的pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管的一种优选方案，其中，还包括限位装置，所述限位装置包括安装在所述第一管体外壁的限位壳、开设在所述限位壳侧壁的限位滑槽、位于所述限位滑槽内部的滑板、安装在所述滑板顶部的限位弹簧和安装在所述滑板底部的限位杆，所述限位杆贯穿所述限位壳并贯穿所述限位孔。
[0016]
与现有技术相比：能够通过设置第一管体和第二管体，第一管体内部开设有延伸至第一管体两端的第一流通道，第二管体位于第一流通道内部，并且第二管体内部开设有延伸至第二管体两端的第二流通道，第一流通道左端开口处安装有环形限位板，第二管体右端安装有封闭板，通过拉动第二管体可以使第二管体在第一流通道内部滑动，封闭板对第一管体内部进行阻隔，第二流通道与第一流通道连通，通过环形限位板对封闭板进行限位，实现管体总长度的调节。
附图说明
[0017]
为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将将结合附图和详细实施方式对本实用新型进行详细说明，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
[0018]
图1为本实用新型pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管整体结构图；
[0019]
图2为本实用新型pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管第一管体内部结构图；
[0020]
图3为本实用新型pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管第二管体结构图；
[0021]
图4为本实用新型pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管限位装置结构图。
具体实施方式
[0022]
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
[0023]
其次，本实用新型结合示意图进行详细描述，在详述本实用新型实施方式时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
[0024]
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的实施方式作进一步地详细描述。
[0025]
本实用新型提供pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管，能够通过设置第一管体和第二管体，第一管体内部开设有延伸至第一管体两端的第一流通道，第二管体位于第一流通道内部，并且第二管体内部开设有延伸至第二管体两端的第二流通道，第一流通道左端开口处安装有环形限位板，第二管体右端安装有封闭板，通过拉动第二管体可以使第二管体在第一流通道内部滑动，封闭板对第一管体内部进行阻隔，第二流通道与第一流通道连通，通过环形限位板对封闭板进行限位，实现管体总长度的调节。
[0026]
图1-4示出的是本实用新型pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管实施方式的一种结构示意图，请参阅图1-图4，本实施方式的pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管包括第一管体100、第二管体200和限位装置 300。
[0027]
第一管体100内部开设有第一流通道110，第一流通道110延伸至第一管体100两端，第一流通道110左端开口处安装有环形限位板120，环形限位板 120用于对封闭板230进行限位，因为封闭板230直径大于环形限位板120直径，当第二管体200滑动至封闭板230侧壁与环形限位板120侧壁贴合时，环形限位板120将封闭板230限位在第一流通道110内部，防止第二管体200 完全从第一流通道110内部抽离，第一管体100左端开设有滑槽，滑槽与第一流通道110连通，延伸板250位于滑槽内部。
[0028]
第二管体200位于第一流通道110内部，第二管体200内部开设有第二限位板220，第二限位板220延伸至第二管体200两端，第二管体200右端安装有封闭板230，封闭板230直径大于环形限位板120内圈直径并小于第一流通道110直径，第二管体200左端安装有第二限位板220，第二限位板220直径大于第一流通道110开口直径，当第二管体200向第一流通道110内部方向滑动时，第二限位板220对第二管体200左端进行限位，第二管体200折叠进第一流通道110内部并且不会从第一流通道110另一端滑出，封闭板230 外圈安装有密封圈240，封闭板230用于对第一流通道110内部进行遮挡，当第二管体200位于第一流通道110内部时，第二流通道210与第一流通道110 连通，密封圈240能够增加封闭板230外圈与第一流通道110内壁之间的密封性，第二限位板220侧壁安装有延伸板250，延伸板250顶部开设有限位孔 260，用于方便对第二管体200进行限位。
[0029]
限位装置300包括安装在第一管体100外壁的限位壳310、开设在限位壳 310侧壁的限位滑槽320、位于限位滑槽320内部的滑板330、安装在滑板330 顶部的限位弹簧340和安装在滑板330底部的限位杆350，限位杆350贯穿限位壳310并贯穿限位孔260，通过拉动滑板330使滑板330在限位滑槽320内部向上滑动并挤压限位弹簧340,限位杆350随滑板330向上滑动收入限位滑槽320内部，此时滑动第二管体200将延伸板250滑动至限位壳310下方，松开滑板330，限位弹簧340回弹推动滑板330向下滑动，滑板330推动限位杆350向下贯穿限位孔260，对第二管体200进行限位固定。
[0030]
结合图1-图4，本实施方式的pecvd单晶硅扩散用的的碳化硅陶瓷扩散管，需要使用时拉动第二限位板220将第二管体200向第一流通道110左端方向抽离，封闭板230在第一流通道110内部滑动，对第一流通道110内部进行分隔，并将第一流通道110与第二流通道210连通，环形限位板120对封闭板230进行限位，防止第二管体200从第一流通道110内部完全抽出，达到延长总体长度的功能，需要收纳时向第一流通道110右端方向推动第二管体200，第二限位板220对第二管体200左端进行限位，防止第二管体200 从第一流通道110右端滑出，通过限位装置300对第二管体200进行限位，将第二管体200折叠收纳在第一流通道
110内部。
[0031]
虽然在上文中已经参考实施方式对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施方式中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施方式，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。