一种硅晶圆棒生产用单晶炉真空清扫装置的制作方法

1.本实用新型属于硅晶圆棒生产设备技术领域，尤其涉及一种硅晶圆棒生产用单晶炉真空清扫装置。


背景技术：

2.硅晶圆棒生产时，采用单晶炉烧结，单晶炉使用一段时间后，清理时，先采用刷子清理，再采用吸尘器清理内部灰尘。
3.由于清理时需要先取用刷子，用完后再将刷子放下，然后再操作吸尘器进行吸尘，切换工具比较麻烦，从而造成常规的清理装置切换比较麻烦的问题。
4.为此，我们提出来一种硅晶圆棒生产用单晶炉真空清扫装置解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是为了解决现有技术中，常规的清理装置切换比较麻烦的问题，而提出的一种硅晶圆棒生产用单晶炉真空清扫装置。
6.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种硅晶圆棒生产用单晶炉真空清扫装置，包括吸尘管，所述吸尘管的下端插有对接座，所述对接座的下部活动连接有吸尘罩，所述吸尘罩的下部外端固定连接有弹力刷。
7.通过操作吸尘管和对接座带动吸尘罩使弹力刷沿目标炉体内刷动，增加力道，使得弹力刷向上收缩，从而使得吸尘罩接近炉壁，利用外接吸尘器通过吸尘管抽取对接座内部气体，通过对接座抽取吸尘罩内部气体，再通过吸尘罩吸尘，方便了使用者切换清理状态。
8.优选的，所述对接座包括对接罩、连接座、导套、挤压块、螺栓和螺纹杆，所述连接座的上部插在对接罩的下部内端，所述导套固定连接在连接座的外端，所述挤压块滑动贯穿导套，且挤压块贯穿至连接座的内侧，所述螺栓固定连接在导套背向连接座的一端，所述螺纹杆螺纹安装在螺栓的内端，且螺纹杆与挤压块活动接触。
9.通过将螺纹杆拧紧，利用螺纹杆压动挤压块，使得挤压块压紧吸尘罩，增加吸尘罩的摩擦力，同理反向操作减小吸尘罩的摩擦力，方便了使用者根据需要调节吸尘罩的灵活度。
10.优选的，所述对接座还包括旋钮，所述旋钮固定连接在螺纹杆的外端。
11.通过旋钮增加螺纹杆的操作杠杆，方便了手动旋拧螺纹杆转动。
12.优选的，所述吸尘罩包括球形壳和扁壳，所述球形壳的下端固定连接在扁壳的上端。
13.通过手动操作扁壳带动球形壳克服摩擦力沿连接座内部转动，方便了手动操作扁壳的方向。
14.优选的，所述弹力刷包括导座、滑杆、弹簧和刷体，所述滑杆活动贯穿导座，所述滑杆的下端固定连接在刷体的上端中心，所述弹簧活动套在滑杆的外壁，所述弹簧的上端固
定连接在导座的下端，所述弹簧的下端固定连接在刷体的上端。
15.通过刷体下端受到压力后，克服弹簧的弹力使刷体向上移动，从而使得扁壳相对向下移动，从而方便了扁壳靠近炉壁。
16.优选的，所述弹力刷还包括限位块，所述限位块的下端固定连接在滑杆的上端，限位块与导座活动接触。
17.通过限位块挡在导座上端，限制滑杆向下活动范围，提高了滑杆滑动工作的稳定性。
18.优选的，所述弹力刷还包括限转杆，所述限转杆设置有一对，所述限转杆的下端固定连接在刷体的上端侧部，所述限转杆滑动贯穿导座。
19.通过限转杆限制刷体与导座之间相对转动，提高了刷体的稳定性。
20.综上所述，本实用新型的技术效果和优点：1、通过操作吸尘管和对接座带动吸尘罩使弹力刷沿目标炉体内刷动，增加力道，使得弹力刷向上收缩，从而使得吸尘罩接近炉壁，利用外接吸尘器通过吸尘管抽取对接座内部气体，通过对接座抽取吸尘罩内部气体，再通过吸尘罩吸尘，方便了使用者切换清理状态，从而方便了清理炉壁。
21.2、通过将螺纹杆拧紧，利用螺纹杆压动挤压块，使得挤压块压紧吸尘罩，增加吸尘罩的摩擦力，同理反向操作减小吸尘罩的摩擦力，方便了使用者根据需要调节吸尘罩的灵活度。
附图说明
22.图1为本实用新型的整体结构示意图；
23.图2为本实用新型的对接座拆分结构示意图；
24.图3为本实用新型的吸尘罩结构示意图；
25.图4为本实用新型的弹力刷结构示意图。
26.图中：1、吸尘管；2、对接座；3、吸尘罩；4、弹力刷；21、对接罩；22、连接座；23、导套；24、挤压块；25、螺栓；26、螺纹杆；27、旋钮；31、球形壳；32、扁壳；41、导座；42、限位块；43、限转杆；44、滑杆；45、弹簧；46、刷体。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
28.请参阅图1，一种硅晶圆棒生产用单晶炉真空清扫装置，包括吸尘管1，吸尘管1与外接吸尘器连接，吸尘管1的下端插有对接座2，对接座2的下部活动连接有吸尘罩3，吸尘罩3的下部外端固定连接有弹力刷4。先操作吸尘管1和对接座2带动吸尘罩3使弹力刷4沿目标炉体内刷动，增加力道，使得弹力刷4向上收缩，从而使得吸尘罩3接近炉壁，利用外接吸尘器通过吸尘管1抽取对接座2内部气体，通过对接座2抽取吸尘罩3内部气体，再通过吸尘罩3吸尘。
29.请参阅图1和2，对接座2包括对接罩21、连接座22、导套23、挤压块24、螺栓25和螺纹杆26，对接罩21的上端插在吸尘管1的下端，利用摩擦力固定，连接座22的上部插在对接
罩21的下部内端，连接座22利用摩擦力固定在对接罩21的内部，导套23固定连接在连接座22的外端，挤压块24滑动贯穿导套23，且挤压块24贯穿至连接座22的内侧，螺栓25固定连接在导套23背向连接座22的一端，螺纹杆26螺纹安装在螺栓25的内端，且螺纹杆26与挤压块24活动接触。将螺纹杆26拧紧，利用螺纹杆26压动挤压块24，使得挤压块24压紧吸尘罩3，增加吸尘罩3的摩擦力，同理反向操作减小吸尘罩3的摩擦力。
30.请参阅图2，对接座2还包括旋钮27，旋钮27固定连接在螺纹杆26的外端。利用旋钮27增加螺纹杆26的操作杠杆。
31.请参阅图2和3，吸尘罩3包括球形壳31和扁壳32，球形壳31活动连接在连接座22的内壁，球形壳31与挤压块24接触，球形壳31利用挤压块24的摩擦力固定，球形壳31的下端固定连接在扁壳32的上端。手动操作扁壳32带动球形壳31克服摩擦力沿连接座22内部转动调节方向。
32.请参阅图3和4，弹力刷4包括导座41、滑杆44、弹簧45和刷体46，导座41与扁壳32固定连接，刷体46与扁壳32活动接触，滑杆44活动贯穿导座41，滑杆44的下端固定连接在刷体46的上端中心，弹簧45活动套在滑杆44的外壁，弹簧45的上端固定连接在导座41的下端，弹簧45的下端固定连接在刷体46的上端，刷体46的刷毛为硬毛。当刷体46下端受到压力后，克服弹簧45的弹力使刷体46向上移动，从而使得扁壳32相对向下移动。
33.请参阅图4，弹力刷4还包括限位块42，限位块42的下端固定连接在滑杆44的上端，限位块42与导座41活动接触。利用限位块42挡在导座41上端，限制滑杆44向下活动范围。
34.请参阅图4，弹力刷4还包括限转杆43，限转杆43设置有一对，限转杆43的下端固定连接在刷体46的上端侧部，限转杆43滑动贯穿导座41。利用限转杆43限制刷体46与导座41之间相对转动。
35.工作原理：需要调节吸尘罩3的灵活度时，将螺纹杆26拧紧，利用螺纹杆26压动挤压块24，使得挤压块24压紧吸尘罩3，增加吸尘罩3的摩擦力，同理反向操作减小吸尘罩3的摩擦力，手动操作扁壳32带动球形壳31克服摩擦力沿连接座22内部转动调节方向；手动操作吸尘管1和对接座2，使刷体46对准炉壁，当刷体46下端受到压力后，克服弹簧45的弹力使刷体46向上移动，从而使得扁壳32相对向下移动。
36.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。