一种MOCVD工艺使用的加热装置的制作方法

一种mocvd工艺使用的加热装置
技术领域
1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种mocvd工艺使用的加热装置。


背景技术：

2.金属有机化合物化学气相沉积(metal-organic chemical vapor deposition，简称mocvd)是制备化合物半导体薄膜的一项关键技术。mocvd是在气相外延生长(vpe)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。mocvd是以ⅲ族、ⅱ族元素的有机化合物和v、ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种
ⅲ‑
v主族、
ⅱ‑ⅵ
副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。mocvd工艺过程中，需要使用加热装置。
3.现有的技术中，加热装置一般包括加热丝，通过加热丝将电能转化为热能，对衬底托盘进行加热，但是，电热丝与衬底托盘之间的距离一般为固定设置，导致无法根据使用需求，改变加热装置与衬底托盘之间的距离，导致加热时间变长，影响工艺效率，使用不便。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种mocvd工艺使用的加热装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种mocvd工艺使用的加热装置，包括工作箱，所述工作箱的下表面固定连接有支撑块，所述工作箱的下表面设置有保护壳，所述保护壳的内部设置有传动机构，所述保护壳的下表面设置有电机，所述工作箱的内侧面固定连接有安装板，所述安装板上设置有滑杆、丝杆；
6.所述丝杆的外表面螺纹连接有移动板，所述移动板的中部设置有加热装置，所述移动板的上表面且位于加热装置的外侧设置有反射板。
7.作为上述技术方案的进一步描述：
8.所述传动机构包括主动带轮、从动带轮，所述主动带轮与从动带轮之间设置有连接带，所述电机的输出端与主动带轮固定连接。
9.作为上述技术方案的进一步描述：
10.所述丝杆的数量有两个，左侧所述丝杆与主动带轮固定连接，右侧所述丝杆与从动带轮固定连接。
11.作为上述技术方案的进一步描述：
12.所述滑杆位于丝杆的外侧，所述滑杆与移动板滑动连接。
13.作为上述技术方案的进一步描述：
14.所述反射板的内侧面为倾斜设置，且倾斜面与水平面之间的夹角为四十五度，所述反射板的数量有两个。
15.作为上述技术方案的进一步描述：
16.所述安装板的数量有两个，两个所述安装板位于反射板的外侧。
17.作为上述技术方案的进一步描述：
18.所述支撑块的数量有两个。
19.作为上述技术方案的进一步描述：
20.所述保护壳位于支撑块的内侧。
21.本实用新型具有如下有益效果：
22.1、本实用新型中，设置了电机、丝杆、滑杆、移动板、传动机构，通过电机可以带动丝杆转动，从而改变移动板的高度，方便根据实际需求，调节加热装置的电热丝与衬底托盘之间的距离，从而达到最佳加热距离，缩短加热时间，提高工艺效率，使用方便。
23.2、本实用新型中，设置了反射板，反射板可以减少热辐射的丢失，使热辐射朝向上方的中部，提高加热的效率，节省能源。
附图说明
24.图1为本实用新型提出的一种mocvd工艺使用的加热装置的整体结构示意图；
25.图2为本实用新型提出的一种mocvd工艺使用的加热装置的俯视图；
26.图3为本实用新型提出的一种mocvd工艺使用的加热装置的保护壳的内部结构示意图；
27.图4为本实用新型提出的一种mocvd工艺使用的加热装置的侧视图。
28.图例说明：
29.1、保护壳；101、主动带轮；102、连接带；103、从动带轮；2、电机；201、滑杆；202、丝杆；3、工作箱；301、支撑块；302、安装板；4、移动板；401、加热装置；402、反射板。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种mocvd工艺使用的加热装置，包括工作箱3，工作箱3的下表面固定连接有支撑块301，支撑块301的数量有两个，为电机2和保护壳1提供安装和工作的空间，工作箱3的下表面设置有保护壳1，为传动机构提供保护的功能，保护壳1位于支撑块301的内侧，保护壳1的内部设置有传动机构，传动机构包括主动带轮101、从动带轮103，主动带轮101与从动带轮103之间设置有连接带102，电机2的输出端与主动带轮101固定连接，丝杆202的数量有两个，左侧丝杆202与主动带轮101固定连接，右侧丝杆202与从动带轮103固定连接，保护壳1的下表面设置有电机2，工作箱3的内侧面固定连接有安装板302，安装板302的数量有两个，两个安装板302位于反射板402的外侧，安装板302上设置有滑杆201、丝杆202，滑杆201位于丝杆202的外侧，滑杆201与移动板4滑动连接，滑杆201保证移动板4向上或者向下移动的稳定，调节距离时，电机2带动主动带轮101转动，主动带轮101带动左侧丝杆202转动，主动带轮101通过连接带102带动从动带轮103转动，从动带轮103带动右侧丝杆202转动，在螺纹的作用下，丝杆202带动移动板4向上或者向下移动，从而改变加热装置401与衬底托盘之间的距离，方便根据实际需求，调节加热装置401的
电热丝与衬底托盘之间的距离，从而达到最佳加热距离，缩短加热时间，提高工艺效率，使用方便；
32.丝杆202的外表面螺纹连接有移动板4，移动板4的中部设置有加热装置401，移动板4的上表面且位于加热装置401的外侧设置有反射板402，反射板402的内侧面为倾斜设置，且倾斜面与水平面之间的夹角为四十五度，反射板402的数量有两个，反射板402可以减少热辐射的丢失，使热辐射朝向上方的中部，提高加热的效率，节省能源。
33.工作原理：使用时，衬底托盘一般设置在加热装置401的正上方，当需要调节加热装置401与衬底托盘之间的距离时，电机2与外部电源连接和外界的主控器电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备，电机2带动主动带轮101转动，主动带轮101带动左侧丝杆202转动，主动带轮101通过连接带102带动从动带轮103转动，从动带轮103带动右侧丝杆202转动，在螺纹的作用下，丝杆202带动移动板4向上或者向下移动，从而改变加热装置401与衬底托盘之间的距离，方便根据实际需求，调节加热装置401的电热丝与衬底托盘之间的距离，从而达到最佳加热距离，缩短加热时间，提高工艺效率，使用方便，同时，反射板402可以减少热辐射的丢失，使热辐射朝向上方的中部，提高加热的效率，节省能源。
34.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。