一种副室结构的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，尤其是一种副室结构。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
3.单晶炉主要有以下部件组成：
4.提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成；
5.副室：主要是副室筒以及上下法兰组成；
6.炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗抽真空管道组成；
7.炉筒：包括取光孔；
8.下炉筒：包括抽真空管道；
9.底座机架：全铸铁机架和底座；
10.坩埚下传动装置：主要由磁流体，电机，坩埚支撑轴，减速机，软波纹管，立柱，上下传动支撑架，导轨，等部件组成；
11.分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管，水管卡套等；
12.氩气管道布置：质量流量计，3根以上的柔性管，不锈钢管，3个压力探测器，高密封性卡套等部件；
13.真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵，水环真空泵，过滤器，真空管道，硬波纹管等；
14.电源以及电控柜：电源柜，滤波柜，控制柜，以及连接线。
15.其中副室上的隔水条需要起到留滞冷却水的作用，然而现有技术因为要预留上观察窗和下观察窗并且隔水条设置不合理（上观察窗和下观察窗所在高度未设置隔水条），无法在上观察窗和下观察窗处实现整圈走水（无法在副炉室外壁的所有高度都实现360
°
走水），冷却水留滞效果不理想。


技术实现要素：

16.本实用新型的目的是：克服现有技术中的不足，提供一种副室结构。
17.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：
18.一种副室结构，其特征在于：包括内筒体、隔水条组合和法兰组，所述内筒体包括上口和下口，所述上口和下口分别位于所述内筒体的上段和下段，所述上口与下口分别为单侧贯穿内筒体的圆孔，所述上口的孔径为所述内筒体直径的0.5~0.55，所述下口的孔径为所述内筒体直径的0.75~0.8，所述上口的轴线与下口的轴线之间的角度为90
°
，所述隔水条组包括若干隔水条，若干所述隔水条设置在所述内筒体的外壁上，所述隔水条之间的距离为l1或者l2，其中，与所述上口轴线所在横截面共面的隔水条为隔水条三，与所述下口轴
线所在横截面共面的隔水条为隔水条二，其余隔水条为隔水条一，所述隔水条为带缺口的环形，所述隔水条的内表面直径与所述内筒体的直径相等，所述隔水条一的缺口小于所述隔水条三的缺口小于所述隔水条二的缺口。
19.进一步的，所述隔水条一的缺口角度为55
°
~70
°
。
20.进一步的，所述隔水条三的缺口角度为150
°
~160
°
。
21.进一步的，所述隔水条二包括完全相同的两个隔水条二单元，两个所述隔水条二单元对称的设置在所述下口旁，所述隔水条二单元的缺口角度为260
°
~265
°
。
22.进一步的，所述隔水条三的一侧的端面与所述上口的孔壁齐平。
23.进一步的，所述隔水条二的一侧的端面与所述下口的孔壁齐平。
24.进一步的，若干所述隔水条一包括两组分别为组一与组二，所述组一与组二的隔水条交错设置，所述组一的隔水条一的缺口朝向相同，所述组二中的隔水条一的缺口朝向相同，所述组一中的隔水条一的缺口与所述组二中的隔水条一的缺口朝向夹角为180
°
。
25.进一步的，所述组一中的隔水条一的缺口朝向与所述下口的朝向相同。
26.进一步的，所述法兰组包括上法兰和下法兰，所述上法兰与所述内筒体的上端面连接，所述下法兰与所述内筒体的下端面连接，所述内筒体的下段开有通孔，所述通孔贯穿内筒体，所述通孔位于所述下法兰与所述下口之间，所述通孔的轴线与所述上口的轴线平行。
27.进一步的，所述内筒体的长度为5449mm，所述内筒体的外径为426mm，所述上口的轴线距离内筒体上端面的距离为401mm，所述下口的轴线距离内筒体下端面的距离为400mm，所述上口的孔径为219mm，所述下口的孔径为325mm，所述通孔距离内筒体下端面的激励为85mm，所述通孔的直径为32mm，所述隔水条二与相邻靠近下法兰处的隔水条一的同侧面的距离为l1=190mm，其余相邻隔水条的同侧面距离都为l2=195mm。
28.采用本实用新型的技术方案的有益效果是：
29.1、本实用新型通过合理的设置隔水条能够有效将冷却水留滞在副炉室周围，并且通过在上口和下口处设置隔水条二和隔水条三，在观察窗位置也实现了360
°
留水，提升了内筒的冷却效率。
30.2、即便设置了隔水条二和隔水条三要实现在上观察窗和下观察窗处360
°
留水还需要保证冷却水的流量，交错设置的上口和下口使得上观察窗和下观察窗也交错设置，即便在冷却水流量不足时，留水不佳的情况也不会聚集发生在副室的同一个角度内，有效降低了由于冷却水流量不够产生的不良影响。
附图说明
31.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中
32.图1为本实用新型的主视图；
33.图2为本实用新型的仰视图；
34.图3为本实用新型的俯视图；
35.图4为本实用新型中隔水条一的结构示意图；
36.图5为本实用新型中隔水条二的结构示意图；
37.图6为本实用新型中隔水条三的结构示意图。
38.1、内筒体；11、上口；12、下口；2、上法兰；3、下法兰；41、隔水条一；42、隔水条二；43、隔水条三。
具体实施方式
39.现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。本实用新型利用结构示意图等进行详细描述，示意图只是实例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间。
40.请参阅图1-图6，一种副室结构，其特征在于：包括内筒体1、隔水条组合和法兰组，所述内筒体1包括上口11和下口12，上口11和下口12分别为上观察窗及下观察窗的安装口，所述上口11和下口12分别位于所述内筒体1的上段和下段，所述上口11与下口12分别为单侧贯穿内筒体1的圆孔，所述上口11的孔径为所述内筒体1直径的0.5~0.55，所述下口12的孔径为所述内筒体1直径的0.75~0.8，所述上口11的轴线与下口12的轴线之间的角度为90
°
，所述隔水条组包括若干隔水条，若干所述隔水条设置在所述内筒体1的外壁上，所述隔水条之间的距离为l1或者l2，其中，与所述上口11轴线所在横截面共面的隔水条为隔水条三43，与所述下口12轴线所在横截面共面的隔水条为隔水条二42，其余隔水条为隔水条一41，所述隔水条为带缺口的环形，所述隔水条的内表面直径与所述内筒体1的直径相等，所述隔水条一41的缺口小于所述隔水条三43的缺口小于所述隔水条二42的缺口。
41.其中，隔水条一41、隔水条二42和隔水条三43的断面形状可以为三角形、矩形、等腰梯形、半圆形等中的任一或多个，优选为矩形，当断面形状为等腰梯形时，等腰梯形的下底与副室外壁连接。
42.本实用新型通过合理的设置隔水条能够有效将冷却水留滞在副炉室周围，并且通过在上口11和下口12处设置隔水条二42和隔水条三43，在观察窗位置也实现了360
°
留水，提升了内筒的冷却效率。
43.即便设置了隔水条二42和隔水条三43要实现在上观察窗和下观察窗处360
°
留水还需要保证冷却水的流量，交错设置的上口11和下口12使得上观察窗和下观察窗也交错设置，即便在冷却水流量不足时，留水不佳的情况也不会聚集发生在副室的同一个角度内，有效降低了由于冷却水流量不够产生的不良影响。
44.请参阅图4，隔水条一41的缺口角度为55
°
~70
°
。隔水条一41的缺口角度用于将已经环绕副室外壁一周的冷却水放行至下一高度的隔水条，隔水条一41用于实现副室非观察窗高度处的留水功能。
45.请参阅图6，隔水条三43的缺口角度为150
°
~160
°
。隔水条三43的缺口用于避让下观察窗及放行冷却水。
46.请参阅图5，隔水条二42包括完全相同的两个隔水条二42单元，两个所述隔水条二42单元对称的设置在所述下口12旁，所述隔水条二42单元的缺口角度为260
°
~265
°
。隔水条二42的缺口用于避让上观察窗及放行冷却水。
47.请参阅图1，隔水条三43的一侧的端面与所述上口11的孔壁齐平。另一侧与孔壁之间的缺口用于放行冷却水。
48.请参阅图3，隔水条二42的一侧的端面与所述下口12的孔壁齐平。另一侧与孔壁之间的缺口用于放行冷却水。
49.请参阅图1-图3，若干所述隔水条一41包括两组分别为组一与组二，所述组一与组二的隔水条交错设置，所述组一的隔水条一41的缺口朝向相同，所述组二中的隔水条一41的缺口朝向相同，所述组一中的隔水条一41的缺口与所述组二中的隔水条一41的缺口朝向夹角为180
°
。
50.缺口想背的两组隔水条一41使得冷却水需从左右两个方向（顺时针方向和逆时针方向）流过180
°
的角度才能落入下一高度的隔水条一41，使得冷却水的路径延长且冷却水能够完整的流过副室外壁，设计更合理，冷却效率更高。
51.请参阅图3，组一中的隔水条一41的缺口朝向与所述下口12的朝向相同。
52.请参阅图1-图3法兰组包括上法兰2和下法兰3，所述上法兰2与所述内筒体1的上端面连接，所述下法兰3与所述内筒体1的下端面连接，所述内筒体1的下段开有通孔，所述通孔贯穿内筒体1，所述通孔位于所述下法兰3与所述下口12之间，所述通孔的轴线与所述上口11的轴线平行。
53.上法兰2用于连接提拉头，下法兰3用于连接旋片阀。
54.内筒体1的长度为5449mm，所述内筒体1的外径为426mm，所述上口11的轴线距离内筒体1上端面的距离为401mm，所述下口12的轴线距离内筒体1下端面的距离为400mm，所述上口11的孔径为219mm，所述下口12的孔径为325mm，所述通孔距离内筒体1下端面的激励为85mm，所述通孔的直径为32mm，所述隔水条二42与相邻靠近下法兰3处的隔水条一41的同侧面的距离为l1=190mm，其余相邻隔水条的同侧面距离都为l2=195mm。
55.以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。