腐蚀装置的制作方法

1.本公开涉及表面处理领域，更具体地涉及一种腐蚀装置。


背景技术：

2.在晶体制备中，通常需要对原料锭或制备好的晶片锭进行表面腐蚀，尤其是在一批次的大规模制备过程。为了适应在同一腐蚀液槽中腐蚀大规模制备的原料锭或制备好的晶体锭，需要开发一种腐蚀装置。


技术实现要素：

3.鉴于背景技术中存在的问题，本公开的目的在于提供一种腐蚀装置，其能对大规模制备过程中的原料锭或制备好的晶体锭同时进行腐蚀从而提高腐蚀效率。
4.由此，在一些实施例中，一种腐蚀装置包括上框体和下框体，上框体包括上前杆、上后杆、上左杆、上右杆、多个左竖杆、多个右竖杆、多个左线支撑件以及多个右线支撑件，上前杆、上后杆、上左杆以及上右杆围成中空的矩形，多个左竖杆从上左杆竖直向下延伸，多个左竖杆与上左杆的前后方向的两端间隔开且多个左竖杆沿前后方向彼此间隔开，以形成在左右方向上贯通的左开口，多个右竖杆从上右杆竖直向下延伸，各右竖杆与对应一个左竖杆在左右方向上对齐，多个右竖杆与上右杆的前后方向的两端间隔开且多个右竖杆沿前后方向彼此间隔开，以形成在左右方向上贯通的右开口，各右开口与对应的一个左开口在左右方向上对齐，各左线支撑件设置在对应一个左竖杆上，各左线支撑件用于在被腐蚀对象的左端处从左侧为被腐蚀对象提供线支撑，各右线支撑件设置在对应一个右竖杆上，各右线支撑件用于在被腐蚀对象的右端处从右侧为被腐蚀对象提供线支撑，下框体包括下前杆、下后杆、下左杆、下右杆、多个前后支撑件以及多个下线支撑件；下前杆、下后杆、下左杆以及下右杆围成中空的矩形，下前杆相对上前杆位于后方以使上前杆无干涉地被操作者抓握，下后杆相对上后杆位于前方以使上后杆无干涉地被操作者抓握；下左杆的左侧面与多个左竖杆的右侧面固定连接；下右杆的右侧面与多个右竖杆的左侧面固定连接；多个前后支撑件和多个下线支撑件以前后支撑件和下线支撑件沿前后方向交替且间隔开的方式分布在下左杆的上表面和下右杆的上表面上，下左杆上的前后支撑件对应一个左开口且能使该对应一个左开口的左右两侧连通，下左杆上的下线支撑件对应一个下左杆，下左杆上的相邻的两个前后支撑件用于在被腐蚀对象的左端处从前后方向的两侧为被腐蚀对象提供点支撑或线支撑，下左杆上的相邻两个前后支撑件之间的下线支撑件用于在被腐蚀对象的左端处从下侧为被腐蚀对象提供线支撑；下右杆上的前后支撑件对应一个右开口且能使该对应一个右开口的左右两侧连通，下右杆上的下线支撑件对应一个下右杆，下右杆上的相邻的两个前后支撑件用于在被腐蚀对象的右端处从前后方向的两侧为被腐蚀对象的右端提供点支撑或线支撑，下左杆上的相邻两个前后支撑件之间的下线支撑件用于在被腐蚀对象的右端处从下侧为被腐蚀对象提供线支撑。
5.在一些实施例中，各左线支撑件为三棱锥；各右线支撑件为三棱锥。
6.在一些实施例中，各前后支撑件为圆锥体，圆锥体的同一直径的相反的两母线用于沿前后方向的前侧和后侧分别为相邻的两被腐蚀对象提供点支撑。
7.在一些实施例中，各前后支撑件为多棱锥，多棱锥的径向相反的两个棱用于为被腐蚀对象提供线支撑。
8.在一些实施例中，多棱锥为三棱锥。
9.在一些实施例中，三棱锥的两个棱分别用于沿前后方向的前侧和后侧分别为相邻的两被腐蚀对象提供线支撑，而三棱锥的另一个棱位于三棱锥的所述两个棱的左右方向的内侧。
10.在一些实施例中，多棱锥为四棱锥，四棱锥的对角线上的两个棱用于沿前后方向的前侧和后侧分别为相邻的两被腐蚀对象提供线支撑。
11.在一些实施例中，各前后支撑件为圆柱体，圆柱体的同一直径的相反的两母线用于沿前后方向的前侧和后侧分别为相邻的两被腐蚀对象提供线支撑。
12.在一些实施例中，下线支撑件为三棱锥，三棱锥的顶棱用于沿上下方向从下侧为被腐蚀对象提供线支撑。
13.在一些实施例中，腐蚀装置还包括多个脚垫，多个脚垫分布在下前杆、下后杆、下左杆以及下右杆的下方且彼此间隔开。
14.本公开的有益效果如下：在腐蚀装置中，能够对多个被腐蚀对象同时进行腐蚀，这提高了腐蚀效率，很好地使用了背景技术部分的大规模制备过程中的原料锭或制备好的晶体锭(同一批次或不同批次)的腐蚀。
附图说明
15.图1是根据本公开的腐蚀装置的一实施例的分解图。
16.图2是图1的组装立体图，其中被腐蚀对象未示出。
17.图3是的组装立体图，其中一个被腐蚀对象示出。
18.图4是根据本公开的腐蚀装置的另一实施例的组装立体图，其中一个被腐蚀对象示出。
19.图5是根据本公开的腐蚀装置的再一实施例的组装立体图，其中一个被腐蚀对象示出。
20.图6是根据本公开的腐蚀装置的又一实施例的组装立体图，其中一个被腐蚀对象示出。
21.其中，附图标记说明如下：
22.100腐蚀装置18右线支撑件
23.d1前后方向19a左开口
24.d2左右方向19b右开口
25.d3上下方向2下框体
26.1上框体21下前杆
27.11上前杆22下后杆
28.12上后杆23下左杆
29.13上左杆24下右杆
30.14上右杆25前后支撑件
31.15左竖杆26下线支撑件
32.16右竖杆3脚垫
33.17左线支撑件200被腐蚀对象
具体实施方式
34.附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。
35.注意的是，在本文中，用于说明腐蚀装置100的各部分的动作和构成的诸如上、下、左、右、前和后的指示方向的表述不是绝对的而是相对的方向，且当腐蚀装置100的各部分处于图中所示的姿势时这些表述是适合的，但是，当这些姿势改变时，这些方向应对应所述姿势的变化来不同地解释。
36.参照图1至图6，腐蚀装置100包括上框体1和下框体2。
37.上框体1包括上前杆11、上后杆12、上左杆13、上右杆14、多个左竖杆15、多个右竖杆16、多个左线支撑件17以及多个右线支撑件18，上前杆11、上后杆12、上左杆13以及上右杆14围成中空的矩形。多个左竖杆15从上左杆13竖直向下延伸，多个左竖杆15与上左杆13的前后方向d1的两端间隔开且多个左竖杆15沿前后方向d1彼此间隔开，以形成在左右方向d2上贯通的左开口19a。多个右竖杆16从上右杆14竖直向下延伸，各右竖杆16与对应一个左竖杆15在左右方向d2上对齐，多个右竖杆16与上右杆14的前后方向d1的两端间隔开且多个右竖杆16沿前后方向d1彼此间隔开，以形成在左右方向d2上贯通的右开口19b，各右开口19b与对应的一个左开口19a在左右方向d2上对齐。各左线支撑件17设置在对应一个左竖杆15上，各左线支撑件17用于在被腐蚀对象200的左端处从左侧为被腐蚀对象200提供线支撑。各右线支撑件18设置在对应一个右竖杆16上，各右线支撑件18用于在被腐蚀对象200的右端处从右侧为被腐蚀对象200提供线支撑。
38.下框体2包括下前杆21、下后杆22、下左杆23、下右杆24、多个前后支撑件25以及多个下线支撑件26。
39.下前杆21、下后杆22、下左杆23以及下右杆24围成中空的矩形。下前杆21相对上前杆11位于后方以使上前杆11无干涉地被操作者抓握，下后杆22相对上后杆12位于前方以使上后杆12无干涉地被操作者抓握。下左杆23的左侧面与多个左竖杆15的右侧面固定连接。下右杆24的右侧面与多个右竖杆16的左侧面固定连接。多个前后支撑件25和多个下线支撑件26以前后支撑件25和下线支撑件26沿前后方向d1交替且间隔开的方式分布在下左杆23的上表面和下右杆24的上表面上。下左杆23上的前后支撑件25对应一个左开口19a且能使该对应一个左开口19a的左右两侧连通，下左杆23上的下线支撑件26对应一个下左杆23，下左杆23上的相邻的两个前后支撑件25用于在被腐蚀对象200的左端处从前后方向d1的两侧为被腐蚀对象200提供点支撑或线支撑，下左杆23上的相邻两个前后支撑件25之间的下线支撑件26用于在被腐蚀对象200的左端处从下侧为被腐蚀对象200提供线支撑。下右杆24上的前后支撑件25对应一个右开口19b且能使该对应一个右开口19b的左右两侧连通，下右杆24上的下线支撑件26对应一个下右杆24，下右杆24上的相邻的两个前后支撑件25用于在被
腐蚀对象200的右端处从前后方向d1的两侧为被腐蚀对象200的右端提供点支撑或线支撑，下左杆23上的相邻两个前后支撑件25之间的下线支撑件26用于在被腐蚀对象200的右端处从下侧为被腐蚀对象200提供线支撑。
40.注意的是，腐蚀装置100在实际应用时会放置到腐蚀液槽(未示出)中进行腐蚀操作，例如，图3至图6所示的带有被腐蚀对象200的腐蚀装置100置于腐蚀液槽进行腐蚀，由此实现被腐蚀对象200的整个表面腐蚀。
41.在腐蚀装置100中，能够对多个被腐蚀对象同时进行腐蚀，这提高了腐蚀效率，很好地使用了背景技术部分的大规模制备过程中的原料锭或制备好的晶体锭(同一批次或不同批次)的腐蚀。
42.如3至图6所示，被腐蚀对象200在左端处的下侧、左侧、前侧和后侧被对应的线支撑和/或点支撑，被腐蚀对象200在右端处的下侧、右侧、前侧和后侧被对应的线支撑或点支撑，从而被腐蚀对象200稳定地支撑在上框体1和下框体2中，由于线支撑和/或点支撑的采用，使得被腐蚀对象200被支撑的面积小，被腐蚀对象200被腐蚀的充分性提高。
43.在腐蚀装置100中，被腐蚀对象200的左端处的相邻两个左开口19a均能使腐蚀液槽中的腐蚀液穿过来接触被腐蚀对象200的左端，被腐蚀对象200的右端处的相邻两个右开口19b均能使腐蚀液槽中的腐蚀液穿过来接触被腐蚀对象200的右端，也就是说，被腐蚀对象200的左端横跨相邻两个左开口19a，被腐蚀对象200的右端横跨相邻两个右开口19b,相邻两个左开口19a、相邻两个右开口19b以及下前杆21、下后杆22、下左杆23以及下右杆24围成的中空部分连通，这种连通的供腐蚀液流动的通路提高了腐蚀液的流动性，进而提高了腐蚀的充分性，此外，腐蚀过程中产生的热会随着整个连通的腐蚀液和腐蚀液槽的槽壁进行有效地散热。
44.在腐蚀装置100中，左线支撑件17和右线支撑件18所占据的位置和长度可以依据支撑稳定性和合适地调整，即左线支撑件17和右线支撑件18各自配合对应的前后支撑件25来稳定地使被腐蚀对象200处于竖立/接近竖立的姿态。
45.在一示例中，如图1至图6所示，各左线支撑件17为三棱锥；各右线支撑件18为三棱锥。
46.在腐蚀装置100中，前后支撑件25的高度以稳定地支撑被腐蚀对象200以使被腐蚀对象200处于竖立/接近竖立的姿态为准。
47.在一示例中，如图1至图3所示，各前后支撑件25为圆锥体，圆锥体的同一直径的相反的两母线用于沿前后方向d1的前侧和后侧分别为相邻的两被腐蚀对象200提供点支撑。
48.在另一示例中，如图4和图5所示，各前后支撑件25为多棱锥，多棱锥的径向相反的两个棱用于为被腐蚀对象200提供线支撑。具体地，在图4中，多棱锥为四棱锥，四棱锥的对角线上的两个棱用于沿前后方向d1的前侧和后侧分别为相邻的两被腐蚀对象200提供线支撑。在图5中，多棱锥为三棱锥。三棱锥的两个棱分别用于沿前后方向d1的前侧和后侧分别为相邻的两被腐蚀对象200提供线支撑，而三棱锥的另一个棱位于三棱锥的所述两个棱的左右方向d2的内侧。
49.在又一示例中，如图6所示，各前后支撑件25为圆柱体，圆柱体的同一直径的相反的两母线用于沿前后方向d1的前侧和后侧分别为相邻的两被腐蚀对象200提供线支撑。
50.在腐蚀装置100中，相邻的前后支撑件25的间隔可设置成允许被腐蚀对象200能够
在前后方向d1上稍微活动，左右相对的左线支撑件17和右线支撑件18的间隔可设置成允许被腐蚀对象200能够在左右方向d2上稍微活动，通过这样设置的前后方向d1的间隔和左右方向d2的间隔，腐蚀过程中通过操作员抓住上前杆11和上后杆12来晃动腐蚀装置100，从而使得被腐蚀对象在前后方向d1和左右方向d2稍微移动，使得前后方向d1和左右方向d2的支撑的部位发生变化，从而使得被腐蚀对象200的对应的表面的腐蚀更充分。
51.在腐蚀装置100中，下线支撑件26的高度低于前后支撑件25的高度，下左杆23上的下线支撑件26的高度低于左线支撑件17的下端，下右杆24上的下线支撑件26的高度低于右线支撑件18的下端，从而避免在结构上形成干涉进而各自充分发挥相应地线支撑。
52.在一示例中，如图1至图6所示，下线支撑件26为三棱锥，三棱锥的顶棱用于沿上下方向d3从下侧为被腐蚀对象200提供线支撑。
53.参照图1至图6，腐蚀装置100还包括多个脚垫3，多个脚垫3分布在下前杆21、下后杆22、下左杆23以及下右杆24的下方且彼此间隔开。多个脚垫3增加了腐蚀液槽的槽底与下框体2之间的间隔，多个脚垫3彼此间隔开增加了多个脚垫3的径向内侧的腐蚀液和多个脚垫3的径向外侧的腐蚀液的连通性，从而使得在腐蚀液槽中腐蚀过程中产生的热随着这种连通的腐蚀液以及腐蚀液槽的槽壁进行有效地散热。
54.注意的是，上框体1、下框体2以及脚垫3的材质均为耐腐蚀液的材质，例如但不限于聚丙烯。
55.注意的是，如图所示，被腐蚀对象200为长方体块，当不限于此，也可以是正方体的块。被腐蚀对象200可以为任何合适的被腐蚀对象，例如但不限于原料块或晶体块。
56.上面详细的说明描述多个示范性实施例，但本文不意欲限制到明确公开的组合。因此，除非另有说明，本文所公开的各种特征可以组合在一起而形成出于简明目的而未示出的多个另外组合。