单晶炉副室清洁装置的制作方法

1.本技术涉及单晶炉清洁设备技术领域，尤其涉及一种单晶炉副室清洁装置。


背景技术：

2.在光伏领域中，单晶硅棒采用单晶直拉炉制备，单晶直拉炉包括主炉室和副炉室，副炉室的内壁通常经由人工清理，但是清理难度大、清理效果较差。
3.未清理干净的副炉室中的污染物容易对单晶硅棒的制备过程产生影响，致使硅料发生污染，影响单晶硅棒的成晶品质。
4.因此，亟需一种新的单晶炉副室清洁装置。


技术实现要素：

5.本技术提供一种单晶炉副室清洁装置，包括：
6.环状吹扫器，向单晶炉副室内壁侧吹气体；
7.环状擦拭器，设置于环状吹扫器的下侧，并且包括用于接触及擦拭单晶炉副室内壁的擦拭组件；
8.支撑通气组件，与环状吹扫器连通并向环状吹扫器输送气体。
9.本技术提供的一种单晶炉副室清洁装置，在对单晶炉副室进行清洁过程中，支撑通气组件与环状吹扫器连通并向环状吹扫器输送气体，环状吹扫器向单晶炉副室内壁侧吹气体，吹出的气体到达副炉室内壁，将附着在副炉室内壁上的粉尘进行吹扫，使得粉尘从副炉室内壁脱落，减少了副炉室内壁粉尘的堆积。环状擦拭器设置于环状吹扫器的下侧，环状擦拭器中的擦拭组件用于擦拭单晶炉副室的内壁，使得在单晶炉副室的内壁上附着力较强的粉尘以及有机物污染物得以擦拭干净。本技术的单晶炉副室清洁装置利于实现对单晶炉副室内壁高质量地除尘及去污，达到对单晶炉副室内壁优良地清理、清洁作用，提高清洁效率，从而提高单晶硅棒生产效率。
10.在本技术的一些可能的实施方式中，环状吹扫器的半径小于环状擦拭器的半径。
11.在本技术的一些可能的实施方式中，环状吹扫器的周向外侧壁上开设有多个均匀分布的吹气口。
12.在本技术的一些可能的实施方式中，环状擦拭器包括同轴设置并且上下间隔开的第一夹持环和第二夹持环，第一夹持环位于第二夹持环上方；
13.多个擦拭组件沿环状擦拭器的周向设置于第一夹持环和第二夹持环之间。
14.在本技术的一些可能的实施方式中，擦拭组件包括弹性支撑体以及包覆在弹性支撑体外的除尘套，弹性支撑体纵向设置于第一夹持环和第二夹持环之间，除尘套用于擦拭单晶炉副室内壁。
15.在本技术的一些可能的实施方式中，除尘套为海绵套。
16.在本技术的一些可能的实施方式中，支撑通气组件包括：
17.第一支撑杆，从第二夹持环的下方纵向向上贯穿第二夹持环和第一夹持环直至第
一夹持环朝向环状吹扫器的一侧，并且内部容纳输送气体的输气管；
18.通气杆，与第一支撑杆和环状吹扫器连通，以使输气管输入的气体流动至环状吹扫器并从吹气口吹出。
19.在本技术的一些可能的实施方式中，环状擦拭器还包括加强框架，第一夹持环和第二夹持环中的至少一者内接有加强框架。
20.在本技术的一些可能的实施方式中，支撑通气组件还包括连接环状吹扫器和加强框架的多个第二支撑杆。
21.在本技术的一些可能的实施方式中，通气杆包括相互连通的横通气杆段以及竖通气杆段，横通气杆段与第一支撑杆连通并且从第一夹持环向第一夹持环的中心轴线横向延伸，竖通气杆段与横通气杆段连通并且纵向延伸至环状吹扫器，竖通气杆段与环状吹扫器连通。
附图说明
22.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
23.图1是本技术一实施例中单晶炉副室清洁装置的正视图；
24.图2是本技术一实施例中单晶炉副室清洁装置的一视角下立体结构示意图，其中，隐去除尘套；
25.图3是本技术一实施例中单晶炉副室清洁装置的另一视角下立体结构示意图，其中，隐去除尘套；
26.图4是本技术一实施例中单晶炉副室清洁装置的俯视图；
27.图5是本技术一实施例中单晶炉副室清洁装置的仰视图。
28.附图标记说明：
29.环状吹扫器-1；吹气口-11；
30.环状擦拭器-2；第一夹持环-21；第二夹持环-22；弹性支撑体-23；除尘套-24；加强框架-25；加强杆-251；
31.第一支撑杆-31；输气管-311；通气杆-33；横通气杆段-331；竖通气杆段-332；第二支撑杆-34。
具体实施方式
32.下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
33.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
34.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
35.此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
36.单晶硅棒采用单晶直拉炉制备，单晶直拉炉包括主炉室和副炉室，在单晶硅棒生产过程中有挥发性有机化合物以及硅的氧化物飘落并附着在副炉室内壁上。副炉室结构深长尺寸较大，使得副炉室内壁人工清理难度大，清理效果较差。
37.未清理干净的副炉室中的粉尘及有机污染物会在合炉投料过程中飘落并附着在单晶硅料上，致使硅料发生污染，影响单晶硅棒的成晶品质。
38.鉴于对上述技术问题，提出本技术。
39.下面结合图1至图5对本技术实施例提供的单晶炉副室清洁装置的结构做具体说明。
40.本技术实施例提供一种单晶炉副室清洁装置，包括环状吹扫器1、环状擦拭器2及支撑通气组件。环状吹扫器1用于向单晶炉副室内壁侧吹气体。环状擦拭器2设置于环状吹扫器1的下侧，并且包括用于接触及擦拭单晶炉副室内壁的擦拭组件。支撑通气组件与环状吹扫器1连通并向环状吹扫器1输送气体。
41.本技术提供一种单晶炉副室清洁装置，在对单晶炉副室进行清洁过程中，支撑通气组件与环状吹扫器连通并向环状吹扫器输送气体，环状吹扫器1向单晶炉副室内壁侧吹气体，吹出的气体到达副炉室内壁，将附着在副炉室内壁上的粉尘进行吹扫，使得粉尘从副炉室内壁脱落，减少了副炉室内壁粉尘的堆积。环状擦拭器2设置于环状吹扫器1的下侧，在对单晶炉副室内壁清洁过程中，环状擦拭器2中的擦拭组件与单晶炉副室内壁接触，通过擦拭组件与单晶炉副室内壁相互摩擦擦拭单晶炉副室的内壁，使得在单晶炉副室的内壁上附着力较强的粉尘以及有机物污染物得以擦拭干净。本技术的单晶炉副室清洁装置利于实现对单晶炉副室内壁高质量地除尘及去污，达到对单晶炉副室内壁优良地清理、清洁作用。
42.在一些可选的实施例中，环状吹扫器1的半径小于环状擦拭器2的半径。
43.在这些实施例中，环状吹扫器1的半径小于环状擦拭器2的半径，可以增长环状吹扫器1的向单晶炉副室内壁吹气路径，从而增大了环状吹扫器1对单晶炉副室内壁的吹扫面积，有利于保证单晶炉副室内壁各处上附着的粉尘及有机污染物被吹扫，从单晶炉副室内壁上脱落。且，环状擦拭器2设置于环状吹扫器1的下侧，被环状吹扫器1吹落的粉尘及有机污染物在重力作用下落到环状擦拭器2上，被环状擦拭器2的擦拭组件吸附，使被环状吹扫器1吹落的粉尘及有机污染物经由单晶炉副室清洁装置带出单晶炉副室，避免污染物对副室内壁的反复污染。环状擦拭器2的半径较大，利于环状擦拭器2上的擦拭组件对单晶炉副室内壁进行贴壁接触以及擦拭清洁，进一步保证了清洁效果，提高清洁效率、
44.在一些可选的实施例中，环状吹扫器2的周向外侧壁上开设有多个均匀分布的吹气口11。
45.在这些实施例中，环状吹扫器1向其外周侧吹出气体，以使得其在对单晶炉副室清洁过程中向单晶炉副室内壁侧吹气体。
46.在这些实施例的一些示例中，环状吹扫器1包括与上述多个吹气口11连通的气体腔，气体经由支撑通气组件输送进入到该气体腔中，并最终从多个吹气口11吹出。
47.在这些实施例的一些示例中，环状吹扫器1包括与上述多个吹气口11连通的一一对应的输气管道，从气体经由支撑通气组件输送进入到各输气管道中，并最终从多个吹气口11吹出。
48.在一些可选的实施例中，环状擦拭器2包括同轴设置并且上下间隔开的第一夹持环21和第二夹持环22，第一夹持环21位于第二夹持环22上方；多个擦拭组件沿环状擦拭器的周向设置于第一夹持环21和第二夹持环22之间。
49.在这些实施例中，多个擦拭组件沿环状擦拭器的周向设置于第一夹持环21和第二夹持环22之间，利于对单晶炉副室内壁进行全方位的擦拭清洁，提高对单晶炉副室内壁的清洁质量。
50.在一些可选的实施例中，擦拭组件包括弹性支撑体23以及包覆在弹性支撑体23外的除尘套24，弹性支撑体23纵向设置于第一夹持环21和第二夹持环22之间，除尘套24用于擦拭单晶炉副室内壁。
51.在这些实施例的一些示例中，弹性支撑体23为弹簧，弹簧的一端与第一夹持环21连接，弹簧的另一端与第二夹持环22连接。
52.在一些可选的实施例中，除尘套24为海绵套。除尘套24可用于擦拭内壁以及吸附被环状吹扫器1吹落的粉尘。
53.在这些实施例中，在使用单晶炉副室清洁装置的环状擦拭器2对单晶炉副室内壁进行擦拭的过程中，擦拭组件可以根据受力的情况发生形变，以适应单晶炉副室内壁各个部位，提高擦拭效果，保证清洁质量。
54.在这些实施例的另一些示例中，除尘套24包括海绵套体以及包裹在套体外侧的擦拭布，在对副室进行清洁过程中，可以将浸透酒精等有机清洁剂的擦拭布包裹在海绵套体外用于擦拭内壁。海绵套体可在清洁过程中吸附被环状吹扫器1吹落的粉尘。
55.在本技术的一些实施例中，支撑通气组件包括第一支撑杆31和通气杆33。第一支撑杆31从第二夹持环22的下方纵向向上贯穿第二夹持环22和第一夹持环21直至第一夹持环21朝向环状吹扫器1的一侧，并且内部容纳输送气体的输气管311。通气杆33与第一支撑杆31和环状吹扫器1连通，以使输气管311输入的气体流动至环状吹扫器1并从吹气口11吹出。
56.在这些实施例的一些示例中，第一支撑杆31为中空杆件。第一支撑杆31内设置有输气管311，在进行清洁作业时可将气体输送设备的出气口与第一支撑杆31内接的输气管311连接，以使得气体从气体输送设备经由输气管311、第一支撑杆31以及通气杆33到达环状吹扫器1，并从环状吹扫器1吹出到副室内壁，对副室进行清洁。
57.在这些实施例的一些示例中，第一支撑杆31均贯穿第二夹持环22和第一夹持环21，第一支撑杆31靠近第一夹持环21的一端焊接于第一夹持环21朝向环状吹扫器1一侧表面。第一支撑杆31靠近第一夹持环21的一端和第一夹持环21朝向环状吹扫器1一侧表面封闭设置，以使得从输气管311输入的气体经第一支撑杆31全部流入到通气杆33避免气体外
泄。
58.从第二夹持环22的下方纵向向上贯穿直至第一夹持环21朝向环状吹扫器1的一侧
59.在一些可选的实施例中，通气杆33包括相互连通的横通气杆段331以及竖通气杆段332，横通气杆段331与第一支撑杆31连通并且从第一夹持环21向第一夹持环21的中心轴线横向延伸，竖通气杆段332与横通气杆段331连通并且纵向延伸至环状吹扫器1，竖通气杆段332与环状吹扫器1连通。
60.在一些可选的实施例中，环状擦拭器2还包括加强框架25，加强框架25由多个加强杆251围合构成，第一夹持环21和第二夹持环22中的至少一者内接有加强框架25。
61.在这些实施例中，环状吹扫器1以及环状擦拭器2均设置成环状，以避位于悬吊在单晶炉副室中的设备，同时方便对单晶炉副室内壁进行清理。在对单晶炉副室内壁清洁过程中，存在气流的扰动以及擦拭过程受外力作用，因此为了避免单晶炉副室清洁装置的环状擦拭器2结构变形，保证清洁质量以及单晶炉副室清洁装置的使用寿命，在第一夹持环21和第二夹持环22中的至少一者内接有加强框架25。
62.在这些实施例的一些示例中，加强框架25采用三个及以上的加强杆251围合构成。在一些具体的例子中，加强框架25采用四个加强杆251围合成矩形加强框架25。加强杆251为实心杆。
63.在一些可选的实施例中，支撑通气组件还包括连接环状吹扫器1和加强框架25的多个第二支撑杆34。在这些实施例中，第二支撑杆34为环状吹扫器1提供支撑作用，使得环状吹扫器1在吹出气体时整体清洁装置结构稳固。
64.在一些可选的实施例中，第一夹持环21内接有加强框架25，通气杆33为折形杆件，通气杆33包括相互连通的横通气杆段331以及竖通气杆段332，横通气杆段331与第一支撑杆31连通，竖通气杆段332与环状吹扫器1连通，横通气杆段331和竖通气杆段332的连接处设置于加强框架25。
65.在这些实施例的一些示例中，通气杆33中的竖通气杆段332与上述第二支撑杆34长度相同，且与第二支撑杆34相平行设置。
66.在这些实施例的一些示例中，多个第二支撑杆34与对应加强框架25中的多个加强杆251一一对应，各第二支撑杆34设置于与其对应的加强杆251上，第二支撑杆34为实心杆件。第二支撑杆34起到连接并支撑环状吹扫器1以及环状擦拭器2的作用。
67.以上所述仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。