1.一种用于晶体拉制时的晶体冷却装置,包括上法兰(3)、下法兰(5)、晶体冷却管(7)、冷却介质通道和保温板(30),其特征是:在所述上法兰(3)与下法兰(5)之间设有复数个晶体冷却管(7),在晶体冷却管(7)的外围设有冷却介质通道,所述冷却介质通道的进口通过管道连接冷却源,冷却介质通道的出口通过管道连接冷却介质回收机构,在下法兰(5)的下面设有保温板(30);或在下法兰(5)的下方设有冷却盘(25),在冷却盘(25)的下面设有保温板(30)形成所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置。
2.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述冷却盘(25)的中部设有空腔(24),在所述空腔(24)内设有复数个固定柱(26),在每个固定柱(26)上分别设有晶体提拉孔(27),空腔(24)分别连通出水管(23)和进水管(28),所述出水管(23)和进水管(28)连通冷却介质通道。
3.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述下法兰(5)或冷却盘(25)的下面由外向内设有至少一级向上凹陷的台阶形成阶梯面,在每级阶梯面上分别设置一圈晶体下穿孔(9)或晶体提拉孔(27)。
4.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述保温板(30)为平板型结构,在保温板(30)上设有复数个穿孔(3001),每个穿孔(3001)分别对应下法兰(5)上的晶体下穿孔(9)或冷却盘(25)上的晶体提拉孔(27),保温板(30)的外形尺寸大于或等于下法兰(5)或冷却盘(25)的外形尺寸。
5.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述保温板(30)为平板型结构时,在保温板(30)的上面由外向内设有至少一级向上凸起的阶梯台阶(3003),所述阶梯台阶(3003)与下法兰(5)或冷却盘(25)下面的阶梯面对应配合。
6.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述保温板(30)的替换结构形式为在保温板(30)的中部设置向下凹陷的凹槽形成桶型结构,在保温板(30)上设有复数个穿孔(3001),每个穿孔(3001)分别对应下法兰(5)上的晶体下穿孔(9)或冷却盘(25)上的晶体提拉孔(27),所述凹槽的内缘面与下法兰(5)或冷却盘(25)的外缘面为间隙配合或过盈配合。
7.根据权利要求6所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述下法兰(5)或冷却盘(25)的外缘面与凹槽的内缘面间隙配合时,在间隙处设有保温填充物(32)。
8.根据权利要求6所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述保温板(30)设置为桶型结构时,在保温板(30)的上面由外向内设有至少一级向上凸起的阶梯台阶(3003),所述阶梯台阶(3003)与下法兰(5)或冷却盘(25)下面的阶梯面对应配合。
9.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述冷却介质通道设置的第一结构为在上法兰(3)与下法兰(5)之间设置连接筒(4),在所述连接筒(4)内设有复数个晶体冷却管(7),每个晶体冷却管(7)的上端分别连接设置在上法兰(3)上的晶体上穿孔(1),每个晶体冷却管(7)的下端分别连接设置在下法兰(5)上的晶体下穿孔(9),由连接筒(4)的内缘面与上法兰(3)下端面、下法兰(5)上端面之间的空腔形成冷却介质通道,在上法兰(3)上分别设有出水口(2)和进水口(6),所述出水口(2)和进水口(6)分别形成冷却介质通道的进口和出口。
10.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述冷却介质通道设置的第二结构为在每个晶体冷却管(7)的外围分别套接套管(13),每个套管(13)的上端头分别连通设置在上法兰(3)中部的进水腔(11),每个套管(13)的下端头分别连通设置在下法兰(5)中部的集水腔(16),由套管(13)的内缘面与晶体冷却管(7)的外缘面之间的冷却腔(12)、进水腔(11)和集水腔(16)形成冷却介质通道,所述进水腔(11)连通进水口(6),所述集水腔(16)通过回水管(14)连接出水口(2),所述出水口(2)和进水口(6)分别形成冷却介质通道的进口和出口。
11.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述冷却介质通道设置的第三结构为在每个晶体冷却管(7)的外围分别套接套管(13),在每个套管(13)的上端头分别设有向下凹陷的半圆台阶(22),每个套管(13)的上端头分别连通设置在上法兰(3)上部的进水腔(11),每个半圆台阶(22)的上端头分别连通设置在上法兰(3)下部的回水腔(20),每个套管(13)的下端头分别连通设置在下法兰(5)上部的集水腔(16),由套管(13)的内缘面与晶体冷却管(7)的外缘面之间的冷却腔(12)、进水腔(11)、回水腔(20)和集水腔(16)形成冷却介质通道,所述进水腔(11)连通进水口(6),所述回水腔(20)通过连接管(19)连接出水口(2),所述出水口(2)和进水口(6)分别形成冷却介质通道的进口和出口。
12.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述冷却介质通道设置的第四结构为在每个晶体冷却管(7)的外围分别套接套管(13),在每个套管(13)的上端头分别设有向下凹陷的半圆台阶(22),每个套管(13)的上端头分别连通设置在上法兰(3)上部的进水腔(11),每个半圆台阶(22)的上端头分别连通设置在上法兰(3)下部的回水腔(20),每个套管(13)的下端头分别连接下法兰(5),由套管(13)的内缘面与晶体冷却管(7)的外缘面之间的冷却腔(12)、进水腔(11)和回水腔(20)形成冷却介质通道,所述进水腔(11)连通进水口(6),所述回水腔(20)通过连接管(19)连接出水口(2),所述出水口(2)和进水口(6)分别形成冷却介质通道的进口和出口。
13.根据权利要求11或12任一权利要求所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述晶体冷却管(7)与套管(13)之间的冷却腔(12)内设有隔板(29)。
14.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述上法兰(3)的第一结构为上法兰(3)为实心结构,在上法兰(3)的上面分别设有复数个贯通至上法兰(3)下面的晶体上穿孔(1)、出水口(2)和进水口(6);或在上法兰上面的中部设置气体穿孔(31),在气体穿孔(31)外围的上法兰的上面设有复数个贯通至上法兰下面的晶体上穿孔、出水口和进水口。
15.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述上法兰(3)的第二结构为在上法兰(3)的下面设有向上凹陷的凹槽,在所述凹槽的开口端设有下盖板(17),下盖板(17)与凹槽形成的空腔为进水腔(11),在凹槽的槽底分别设有复数个贯通至上法兰(3)上面的晶体冷却管穿孔、出水口(2)和进水口(6),在下盖板(17)上设有复数个套管穿孔及回水管穿孔。
16.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述上法兰(3)的第三结构为在上法兰(3)的上下两面分别设有上凹槽和下凹槽,在上凹槽和下凹槽的开口端分别设有进水腔盖板(18)和回水腔盖板(21),进水腔盖板(18)与上凹槽形成的空腔为进水腔(11),回水腔盖板(21)与下凹槽形成的空腔为回水腔(20),在进水腔盖板(18)上分别设有复数个贯通至下凹槽槽底的晶体冷却管穿孔、出水口(2)和进水口(6),在回水腔盖板(21)上设有复数个套管穿孔及回水管穿孔,在上凹槽的槽底设有贯通至下凹槽槽底的半圆形进水孔,所述回水腔(20)通过连接管(19)连通出水口(2)。
17.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述下法兰(5)的第一结构为下法兰(5)为实心结构,在下法兰(5)的上面设有复数个贯通至下法兰(5)下面的晶体下穿孔(9)。
18.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述下法兰(5)的第二结构为在下法兰(5)的上面设有向下凹陷的凹槽,在所述凹槽的开口端设有上盖板(15),在凹槽的槽底设有复数个贯通至下法兰(5)下面的晶体冷却管穿孔,在上盖板(15)上设有复数个套管穿孔。
19.根据权利要求1所述的用于晶体拉制时的晶体冷却装置,其特征是:所述复数个晶体冷却管(7)的设置形式为中间设置一个晶体冷却管(7),在中间晶体冷却管(7)的外围呈放射状设有复数组晶体冷却管(7),每组晶体冷却管(7)包括至少两个晶体冷却管(7);或复数个晶体冷却管的第二设置形式为在上法兰(3)上气体穿孔(31)的外围呈放射状设置复数组晶体冷却管,每组晶体冷却管包括至少两个晶体冷却管。