一种生产单晶棒的加料机构的制作方法

1.本实用新型涉及单晶棒生产技术领域，具体为一种生产单晶棒的加料机构。


背景技术：

2.单晶棒，也就是半导体硅单晶体，而大部分用切克劳斯基(czochralski)法制造，在这种方法中，多晶硅被装进石英锅中，加热熔化，然后，将熔硅略做降温，给予一定的过冷度，把一支特定晶向的硅单晶体(称作籽晶)与熔体硅接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上提升速度，使籽晶长大至目标直径时，提高提升速度，使单晶体近恒直径生长；
3.现有技术中单晶炉用的加料机构，通常采用一次性加料方式，并不能在中途持续的在炉内进行二次加料，这就导致了单晶棒的生产效率低下，每次的加料之后都需要大量的冷却时间冷却在进行下一次的加料，十分影响生产。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种生产单晶棒的加料机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种生产单晶棒的加料机构，包括装置本体，还包括：
7.侧门，所述侧门设置于装置本体一侧且与装置本体一侧铰接；
8.加料机构，所述加料机构呈螺纹管设计且设置于装置本体内部；
9.加热机构，所述加热机构设置于加料机构内部且下端与装置本体内底部固定连接；
10.水箱，所述水箱设置于装置本体一侧，所述水箱下端与支撑架上表面一侧固定连接；
11.散热孔，所述散热孔开设于装置本体一侧；
12.控制器，所述控制器设置于侧门一侧且与侧门一侧中部固定连接，所述控制器分别与水泵和电阻加热器电性连接；
13.支撑架，所述支撑架内侧与装置本体外侧固定连接，所述支撑架下端设置有若干个底座，所述底座上端分别与支撑架下端四周固定连接。
14.作为本实用新型优选的方案，
15.所述加料机构包括：
16.进料管，所述进料管设置于装置本体上表面中部，所述进料管下端贯穿装置本体上表面且设置于装置本体内部，
17.导料管，所述导料管呈螺旋管设计，所述导料管缠绕设置在加热机构外侧，所述导料管上端与进料管下端固定连接；
18.输料管，所述输料管设置有若干个且分别与导料管一侧内侧贯穿连接，所述输料管另一端贯穿加热机构一侧；
19.原料通过进料管传输到导料管内，随后在导料管内沉积，在加工中随着输料管不断的渗入到加热舱内部，在加工中可以不间断持续的为加热舱内添加原料，通过设置的加料机构可以有效的为加工提供不间断的原料添加，同时保证在下方原料堆积后自动在上方空置的位置持续通过输料管传输到加热舱内，一方面保证可以在原料的上方持续的加料，另一方面匀速且少量的加料也有利于原料的加工，不会出现反应不均匀的情况出现，提高加工效率。
20.作为本实用新型优选的方案，
21.所述加热机构包括：
22.加热舱，所述加热舱设置于装置本体内中部，所述加热舱外侧缠绕设置有加热槽；
23.热传导管，所述热传导管为螺纹管设计且设置于加热槽内部；
24.底座舱，所述底座舱设置于装置本体内底部，所述底座舱上表面与加热舱下端固定连接，所述底座舱下表面与装置本体内底部固定连接；
25.电阻加热器，所述电阻加热器设置于底座舱内部且与底座舱内底部固定连接，所述电阻加热器输出端与热传导管下端固定连接；
26.水管，所述水管一端贯穿底座舱一侧且与电阻加热器固定连接，所述水管另一端贯穿装置本体另一侧且与水箱内部固定连接；
27.当开始加工时，电阻加热器开始产生热量，随后通过输出端将热量传输到热传导管内，通过加热槽和热传导管均匀的对加热舱整体开始加热，来对加热舱内部的原料开始加热生产，在生产结束后，电子阀打开，通过水泵开始抽水，通过水管传输到加热舱和加热槽内部，开始对加热舱内部和外侧开始降温，通过设置的加热机构，对加热舱内部进行有效的均匀升温，有利于提高原料生产的均匀性，提高生产的效率，同时通过设置的电子阀可以在生产结束后开始对加热舱进行均匀地降温，有效的加快单晶棒的成型，节约生产时间，提高生产效率。
28.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
29.1、本实用新型中，原料通过进料管传输到导料管内，随后在导料管内沉积，在加工中随着输料管不断的渗入到加热舱内部，在加工中可以不间断持续的为加热舱内添加原料，通过设置的加料机构可以有效的为加工提供不间断的原料添加，同时保证在下方原料堆积后自动在上方空置的位置持续通过输料管传输到加热舱内，一方面保证可以在原料的上方持续的加料，另一方面匀速且少量的加料也有利于原料的加工，不会出现反应不均匀的情况出现，提高加工效率。
30.2、本实用新型中，当开始加工时，电阻加热器开始产生热量，随后通过输出端将热量传输到热传导管内，通过加热槽和热传导管均匀的对加热舱整体开始加热，来对加热舱内部的原料开始加热生产，在生产结束后，电子阀打开，通过水泵开始抽水，通过水管传输到加热舱和加热槽内部，开始对加热舱内部和外侧开始降温，通过设置的加热机构，对加热舱内部进行有效的均匀升温，有利于提高原料生产的均匀性，提高生产的效率，同时通过设置的电子阀可以在生产结束后开始对加热舱进行均匀地降温，有效的加快单晶棒的成型，节约生产时间，提高生产效率。
附图说明
31.图1为本实用新型的整体立体结构示意图；
32.图2为本实用新型的整体内部结构示意图；
33.图3为本实用新型的局部内部结构示意图；
34.图4为本实用新型的加料结构立体示意图。
35.图中：1、装置本体；2、侧门；3、水箱；4、支撑架；5、底座；6、控制器；7、散热孔；8、进料管；9、进水管；10、加料机构；11、加热机构；12、水泵；13、底座舱；14、加热舱；15、加热槽；16、热传导管；17、导料管；18、输料管；19、水管；20、电阻加热器；21、电子阀。
具体实施方式
36.为了使本实用新型的技术手段及达到目的与功效易于理解，下面结合具体图示对本实用新型的实施例进行详细说明。
37.需要说明，本实用新型中所有进行方向性和位置性指示的术语，诸如：“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“低”、“横向”、“纵向”、“中心”等，仅用于解释在某一特定状态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、连接情况等，仅为了便于描述本实用新型，而不是要求本实用新型必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
38.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
39.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
40.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
41.一种生产单晶棒的加料机构，包括装置本体1，还包括：
42.侧门2，侧门2设置于装置本体1一侧且与装置本体1一侧铰接；
43.加料机构10，加料机构10呈螺纹管设计且设置于装置本体1内部；
44.加热机构11，加热机构11设置于加料机构10内部且下端与装置本体1内底部固定连接；
45.水箱3，水箱3设置于装置本体1一侧，水箱3下端与支撑架4上表面一侧固定连接；
46.散热孔7，散热孔7开设于装置本体1一侧；
47.控制器6，控制器6设置于侧门2一侧且与侧门2一侧中部固定连接，控制器6分别与水泵12和电阻加热器20电性连接；
48.支撑架4，支撑架4内侧与装置本体1外侧固定连接，支撑架4下端设置有若干个底
座5，底座5上端分别与支撑架4下端四周固定连接。
49.作为本实用新型的示例，
50.加料机构10包括：
51.进料管8，进料管8设置于装置本体1上表面中部，进料管8下端贯穿装置本体1上表面且设置于装置本体1内部，
52.导料管17，导料管17呈螺旋管设计，导料管17缠绕设置在加热机构11外侧，导料管17上端与进料管8下端固定连接；
53.输料管18，输料管18设置有若干个且分别与导料管17一侧内侧贯穿连接，输料管18另一端贯穿加热机构11一侧；
54.原料通过进料管8传输到导料管17内，随后在导料管17内沉积，在加工中随着输料管18不断的渗入到加热舱14内部，在加工中可以不间断持续的为加热舱14内添加原料，通过设置的加料机构10可以有效的为加工提供不间断的原料添加，同时保证在下方原料堆积后自动在上方空置的位置持续通过输料管18传输到加热舱14内，一方面保证可以在原料的上方持续的加料，另一方面匀速且少量的加料也有利于原料的加工，不会出现反应不均匀的情况出现，提高加工效率。
55.作为本实用新型的示例，
56.加热机构11包括：
57.加热舱14，加热舱14设置于装置本体1内中部，加热舱14外侧缠绕设置有加热槽15；
58.热传导管16，热传导管16为螺纹管设计且设置于加热槽15内部；
59.底座舱13，底座舱13设置于装置本体1内底部，底座舱13上表面与加热舱14下端固定连接，底座舱13下表面与装置本体1内底部固定连接；
60.电阻加热器20，电阻加热器20设置于底座舱13内部且与底座舱13内底部固定连接，电阻加热器20输出端与热传导管16下端固定连接；
61.水管19，水管19一端贯穿底座舱13一侧且与电阻加热器20固定连接，水管19另一端贯穿装置本体1另一侧且与水箱3内部固定连接；
62.当开始加工时，电阻加热器20开始产生热量，随后通过输出端将热量传输到热传导管16内，通过加热槽15和热传导管16均匀的对加热舱14整体开始加热，来对加热舱14内部的原料开始加热生产，在生产结束后，电子阀21打开，通过水泵12开始抽水，通过水管19传输到加热舱14和加热槽15内部，开始对加热舱14内部和外侧开始降温，通过设置的加热机构11，对加热舱14内部进行有效的均匀升温，有利于提高原料生产的均匀性，提高生产的效率，同时通过设置的电子阀21可以在生产结束后开始对加热舱14进行均匀地降温，有效的加快单晶棒的成型，节约生产时间，提高生产效率。
63.工作原理：原料通过进料管8传输到导料管17内，随后在导料管17内沉积，在加工中随着输料管18不断的渗入到加热舱14内部，在加工中可以不间断持续的为加热舱14内添加原料，通过设置的加料机构10可以有效的为加工提供不间断的原料添加，同时保证在下方原料堆积后自动在上方空置的位置持续通过输料管18传输到加热舱14内，电阻加热器20开始产生热量，随后通过输出端将热量传输到热传导管16内，通过加热槽15和热传导管16均匀的对加热舱14整体开始加热，来对加热舱14内部的原料开始加热生产，在生产结束后，
电子阀21打开，通过水泵12开始抽水，通过水管19传输到加热舱14和加热槽15内部，开始对加热舱14内部和外侧开始降温，通过设置的加热机构11，对加热舱14内部进行有效的均匀升温，有利于提高原料生产的均匀性，提高生产的效率，同时通过设置的电子阀21可以在生产结束后开始对加热舱14进行均匀地降温。
64.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。