一种键合晶体及其加工方法与流程

文档序号:36103886发布日期:2023-11-21 23:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种键合晶体的加工方法,其特征在于,包括如下步骤:粗加工步骤s110:对于需要键合的两种晶体基片,从胚料通过定向、切割、磨砂、抛光的方式,加工成所需尺寸;超声波清洗步骤s120:利用清洗剂对待键合晶体基片,放置在超声波清洗槽内进行超声波清洗,清洗完成后进行甩干;预键合步骤s130:将清洗后的待键合晶体基片放置在光胶靠体上,并一同放在控温加热板上加热烘烤5min至10min,而后给晶体施加推力,使两个键合面接触并吸附,完成光胶;热处理步骤s140:将预键合后的晶体放置在马弗炉中进行热处理,保温后随炉冷却至室温,取出;精加工步骤s150:采用粗磨或滚圆,将晶体整形至所需要的尺寸,再采用抛光的方式对通光面进行修整。

2.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:在粗加工步骤s110中,所需尺寸包括一定的预留量,待键合晶体基片的键合面为正方形,其键合面光洁度达到10/5,平整度<λ/10,粗糙度达到0.3nm至0.6nm。

3.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:在超声波清洗步骤s120中,所述的超声波清洗用的清洗剂由乙醇和乙醚按照1:1的体积份进行混合,或者是使用ph值为6-7的有机酸溶液,清洗槽的温度为30℃至40℃;所述的超声波清洗使用的超声波频率为40khz,清洗剂区的清洗时长为2至4min,去离子水区的清洗时长为15min至25min。

4.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:所述控温加热板的温度为95℃至120℃。

5.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:在热处理步骤s140中,所述热处理的升温速率为0.2℃/min至0.5℃/min,温度为590℃至1600℃,保温时长为100h至160h。

6.根据权利要求5所述的加工方法,其特征在于:对于yvo4晶体的键合,温度为590℃至610℃,保温时间为150h至160h。

7.根据权利要求5所述的加工方法,其特征在于:

8.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:

9.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:在精加工步骤s150中,所述滚圆,将晶体截面尺寸整形到直径为d的圆,其中,d∈[2,5],尺寸单位为mm。

10.一种使用权利要求1-9中任一项所述加工方法加工的键合晶体,其特征在于:


技术总结
一种键合晶体的加工方法,包括:对于需要键合的两种晶体基片,从进行粗加工;利用清洗剂对待键合晶体基片,进行超声波清洗,清洗完成后进行甩干;将清洗后的待键合晶体基片放置在光胶靠体上,加热并施加推力,使两个键合面接触并吸附,完成光胶;将预键合后的晶体放置在马弗炉中进行热处理,保温后随炉冷却至室温,取出;利用精加工对键合晶体进行加工处理。本发明能够降低键合生产门槛,能够通过简单、可控、高效、成本低的键合加工方法,生产出性能达到客户使用要求的加工产品。

技术研发人员:翁鹏翔,袁英杰,范泉钦,曹志伟,李雄,陈伟,张星,陈秋华
受保护的技术使用者:福建福晶科技股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/16
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