1.一种键合晶体的加工方法,其特征在于,包括如下步骤:粗加工步骤s110:对于需要键合的两种晶体基片,从胚料通过定向、切割、磨砂、抛光的方式,加工成所需尺寸;超声波清洗步骤s120:利用清洗剂对待键合晶体基片,放置在超声波清洗槽内进行超声波清洗,清洗完成后进行甩干;预键合步骤s130:将清洗后的待键合晶体基片放置在光胶靠体上,并一同放在控温加热板上加热烘烤5min至10min,而后给晶体施加推力,使两个键合面接触并吸附,完成光胶;热处理步骤s140:将预键合后的晶体放置在马弗炉中进行热处理,保温后随炉冷却至室温,取出;精加工步骤s150:采用粗磨或滚圆,将晶体整形至所需要的尺寸,再采用抛光的方式对通光面进行修整。
2.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:在粗加工步骤s110中,所需尺寸包括一定的预留量,待键合晶体基片的键合面为正方形,其键合面光洁度达到10/5,平整度<λ/10,粗糙度达到0.3nm至0.6nm。
3.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:在超声波清洗步骤s120中,所述的超声波清洗用的清洗剂由乙醇和乙醚按照1:1的体积份进行混合,或者是使用ph值为6-7的有机酸溶液,清洗槽的温度为30℃至40℃;所述的超声波清洗使用的超声波频率为40khz,清洗剂区的清洗时长为2至4min,去离子水区的清洗时长为15min至25min。
4.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:所述控温加热板的温度为95℃至120℃。
5.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:在热处理步骤s140中,所述热处理的升温速率为0.2℃/min至0.5℃/min,温度为590℃至1600℃,保温时长为100h至160h。
6.根据权利要求5所述的加工方法,其特征在于:对于yvo4晶体的键合,温度为590℃至610℃,保温时间为150h至160h。
7.根据权利要求5所述的加工方法,其特征在于:
8.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:
9.根据权利要求1所述的加工方法,其特征在于:在精加工步骤s150中,所述滚圆,将晶体截面尺寸整形到直径为d的圆,其中,d∈[2,5],尺寸单位为mm。
10.一种使用权利要求1-9中任一项所述加工方法加工的键合晶体,其特征在于: