一种晶硅制造单晶炉投料设备的制作方法

文档序号:37292753发布日期:2024-03-13 20:41阅读:24来源:国知局
一种晶硅制造单晶炉投料设备的制作方法

本发明属于投料装置,具体的说是一种晶硅制造单晶炉投料设备。


背景技术:

1、单晶炉直拉法生长过程中,多晶硅原料放入石英坩埚中进行熔料、拉晶,拉晶是指把多晶硅原料加热熔化,用籽晶向上拉引而成,在拉晶时,工人先把多晶硅原料投料到单晶炉的石英锅里,通过石墨热场加热,原料熔化后石英锅慢慢转动,籽晶从上面下降,点到锅的中心液面点,也慢慢反方向转动,锅下面同时加热,液面上冷却,籽晶点到液面上就会出现一个光点,慢慢旋转,向上拉引,放肩、转肩,正常拉棒,收尾,生产得到单晶硅棒。

2、公开号为cn219752485u的一项专利申请公开了一种单晶炉投料装置,包括底板,底板的顶部固定连接有立板,立板的一侧开设有调节槽,调节槽的内部固定连接有限位杆,限位杆的外侧滑动连接有调节块,调节块的一侧固定连接有储料箱,储料箱的内部开设有储料槽,储料箱的内部且位于储料槽的下方转动连接有螺旋输送杆,储料箱的一侧且位于螺旋输送杆的下方固定连接有出料框,出料框的外侧滑动连接有滑动板。

3、但是,上述技术方案在实际应用过程中还存在以下不足:

4、当储料箱使用一段时间后,其内腔壁会沾附一定量的多晶硅原料,多晶硅原料凝结后,会影响储料箱内部的洁净度,长此以往会影响储料箱后续的使用情况,而上述技术方案中,不可对储料箱内部附着的多晶硅原料起到一个自动冲洗清理效果,所以当多晶硅原料凝结在储料箱内壁后,较为影响后续的使用情况,而现有的设置于储料箱内部的清洗机构,在不使用时,不便从储料箱中移出,导致较为占用储料空间,并且,不可根据储料箱内部宽窄的变化,来进行变径清扫,并且,利用喷头对储料箱内部进行冲洗时,喷头的方位以及角度不可调节,而由于多个喷头之间存在间隙,所以可能出现冲洗死角,而当喷头的角度不可调节时,冲洗方位也较为单一,冲洗的针对性较差。

5、为此,本发明提供一种晶硅制造单晶炉投料设备。


技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足,解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:本发明所述的一种晶硅制造单晶炉投料设备,包括底座,所述底座上端设置有挤出机构,所述挤出机构包括固定连接于底座上端的挤出筒,所述挤出筒内部转动设置有螺旋叶片,所述挤出筒右侧上端连通有储料箱,所述底座上端设置有用于对储料箱内部进行清理的可调节清理机构;

3、所述可调节清理机构包括固定连接于底座的导向板,所述导向板右侧插入有导向柱并与其滑动相连,所述导向柱前端固定连接有安装板,所述安装板右端通过连接杆固定连接有箱盖,所述箱盖上端设置有进料斗,所述安装板下端转动设置有第二转轴,所述第二转轴下端固定连接有l型杆,所述l型杆下端固定连接有第一固定盘,所述第一固定盘下端固定连接有环型管,所述环型管下端设置有多个软管,所述软管连通有喷头,所述喷头转动设置于环型管,所述第一固定盘下端固定连接有连接板,所述连接板下端固定连接有第二固定盘,所述第二固定盘上端转动设置有多个第二连杆,所述第二连杆远离第二固定盘的一端转动设置有第一连杆,所述第一连杆远离第二连杆的一端转动设置有连接块,所述连接块上端转动设置有凹槽筒,所述凹槽筒固定连接有毛刷盘。

4、优选的,所述挤出筒右端中部固定连接有第一电机,所述第一电机输出端固定连接有第一转轴,所述第一转轴套设并与螺旋叶片固定相连,所述挤出筒左端设置有出料管。

5、优选的,所述导向板前端面中部固定连接第二电机,所述第二电机输出端固定连接有第二滑槽杆,所述导向柱插入至第二滑槽杆的凹槽处并滑动相连,所述导向柱后端固定连接有滑套,所述滑套滑动连接有横移杆,所述横移杆下端滑动连接于导向板。

6、优选的,所述第一固定盘上端固定连接有水箱,所述水箱利用内部的泵体连通有出水管,所述出水管下端与环型管连通。

7、优选的,所述安装板上端面右侧固定连接有第三电机,所述第三电机输出端固定连接有曲柄,所述曲柄左端转动设置有矩形块,所述矩形块嵌入有第一滑槽杆并与其滑动相连,所述第一滑槽杆左端固定连接有第二齿条,所述第二齿条滑动连接有滑杆,所述滑杆两端均固定连接于安装板,所述第二转轴中部套设固定连接有第一齿轮,所述第一齿轮与第二齿条相互啮合。

8、优选的,任意一侧所述第二连杆与第二固定盘的连接处固定连接有第四齿轮,所述第二固定盘下端固定连接有第五电机,所述第五电机输出端固定连接有第三齿轮,所述第三齿轮与第四齿轮相互啮合。

9、优选的,所述连接板上端固定连接有第四电机,所述第四电机输出端固定连接有第一锥齿轮,所述连接板下端转动设置有多个凸块杆,所述凸块杆与凹槽筒插接并滑动相连,所述凸块杆与凹槽筒相对滑动的同时,也可同步转动,所述凸块杆套设固定连接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮与第一锥齿轮相互啮合。

10、优选的,所述喷头与环型管的连接处固定连接有第二齿轮,所述第一固定盘滑动连接有多个第一齿条,所述第一齿条与第二齿轮相互啮合,所述第一齿条上端固定连接有升降杆,所述l型杆上端固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆活塞端固定连接有升降杆,所述升降杆下端与第一齿条相互啮合。

11、优选的,所述箱盖底部设置有密封垫。

12、优选的,所述毛刷盘毛刷所采用的材质为聚丙烯刷丝。

13、本发明的有益效果如下:

14、1.本发明所述的一种晶硅制造单晶炉投料设备,通过利用第一电机带动第一转轴转动,即可使螺旋叶片转动,使多晶硅原料经右向左输送,并使多晶硅原料从出料管挤出至石英锅中,即可完成投料工作,从而可对多晶硅原料起到一个快速挤出效果,进而提高了投料效率。

15、2.本发明所述的一种晶硅制造单晶炉投料设备,通过向环型管输送水流,并经过软管和喷头后,喷向储料箱的内壁,来对储料箱的内壁进行冲洗,由于储料箱为透明材质,可观察到储料箱内部的冲洗状态,使环型管发生往复转动,使喷头的朝向得以实现改变,可一定程度上的减少冲洗死角,同时,使喷头的倾斜角发生改变,使喷头可朝向储料箱的底部,使冲洗的针对性更好,驱使多个第二连杆同时转动,即可使第一连杆转动,使第一连杆和第二连杆之间的夹角发生改变,即可使多个连接块同时靠近或远离储料箱的轴心,使毛刷盘的位置得以调节,使毛刷盘毛刷处始终与储料箱内腔壁紧贴,使毛刷盘旋转,对储料箱内腔壁进行摩擦清理,来进一步提高清洗效果,使毛刷盘与储料箱内腔壁均匀接触,使毛刷盘对储料箱不同深度处的多晶硅原料进行清理,即可实现对储料箱内部残余的多晶硅原料的清理工作,从而可对储料箱内部附着的多晶硅原料起到一个自动冲洗清理效果,避免了多晶硅原料沾附在储料箱内腔壁而影响后续再次使用的情况,并且,相较于现有的设置于储料箱内部的清洗机构,可在不使用时,从储料箱中移出,不占用储料箱的空间,可对冲洗所用的喷头的水平角度和倾斜角度进行调节,可一定程度上减少冲洗死角,冲洗针对性较好,并且,可根据储料箱内部宽窄的变化,来调节毛刷盘的方位,使毛刷盘可与储料箱内腔壁始终贴合,来保证毛刷盘与储料箱内腔壁的贴合效果。

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