一种单片式外延设备及方法与流程

文档序号:37729226发布日期:2024-04-23 12:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单片式外延设备,包括炉体(1),炉体(1)上方设置有顶盖(5),其特征在于:所述炉体(1)上设置有连接台(17),炉体(1)上固定安装有支撑板(7),顶盖(5)设置在支撑板(7)上,连接台(17)上设置有托板(16),托板(16)上侧开设有若干个凹槽(24),每个凹槽(24)内均活动连接有基座(23),每个基座(23)外侧壁均开设有环形壁槽(22),托板(16)上侧设置有固定板(2),固定板(2)上开设有若干个通槽(30),每个通槽(30)分别套在每个环形壁槽(22)上,托板(16)中心处开设有连接槽(25),固定板(2)上固定贯穿有连接管(29),连接管(29)内螺纹连接有固定柱(28),固定柱(28)下端固定安装有圆板(27),连接管(29)与连接槽(25)活动连接,圆板(27)上侧与托板(16)下侧贴合。

2.根据权利要求1所述的一种单片式外延设备,其特征在于:所述连接台(17)上侧开设有滑槽(18),滑槽(18)内活动连接有两个滑板(4),两个滑板(4)均与托板(16)下侧固定连接,顶盖(5)内侧壁固定安装有升降环(3),升降环(3)下侧向上凹陷,升降环(3)内固定安装有按压环(41),两个滑板(4)上侧均固定安装有握把(19)。

3.根据权利要求2所述的一种单片式外延设备,其特征在于:所述按压环(41)下侧开设有若干个活动槽(43),每个活动槽(43)内均活动连接有活动球(42),托板(16)上侧开设有若干个导向槽(21),每个导向槽(21)内均活动连接有导向杆(26),每个导向杆(26)均与固定板(2)下侧固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种单片式外延设备,其特征在于:所述炉体(1)前侧固定安装有工作台(15),工作台(15)下侧固定安装有支撑块(11),工作台(15)左右两侧均固定安装有两个支撑条(13),两个支撑条(13)上均设置有活动柱(14),两个活动柱(14)相互靠近的一端均固定安装有方块(9)。

5.根据权利要求4所述的一种单片式外延设备,其特征在于:两个所述方块(9)相互靠近的一侧均开设有两个横槽(36),四个横槽(36)内均活动连接有活动杆(35),每个活动杆(35)上均固定安装有压力弹簧a(37),每个压力弹簧a(37)分别与四个横槽(36)内侧壁固定连接,托板(16)侧壁开设有四个槽口(20)。

6.根据权利要求4所述的一种单片式外延设备,其特征在于:两个所述方块(9)相互靠近的一侧均固定安装有一组夹板(34),每个夹板(34)上均开设有小槽(32),两组夹板(34)上均设置有升降杆(33),两个升降杆(33)分别与四个小槽(32)活动连接,两个组夹板(34)之间设置有收料板(8),收料板(8)上开设有若干个观察槽(10),两个升降杆(33)均活动贯穿收料板(8)。

7.根据权利要求6所述的一种单片式外延设备,其特征在于:两个所述升降杆(33)上均活动套接有圆盒(31),两个圆盒(31)分别与两组夹板(34)中处于下方的两个夹板(34)固定连接,两个圆盒(31)内均活动连接有压力弹簧b(39),两个压力弹簧b(39)下端分别与两个圆盒(31)下内壁固定连接,两个压力弹簧b(39)上端均固定安装有压力环(40),两个压力环(40)分别与两个圆盒(31)上内壁贴合,两个压力环(40)分别固定套接在两个升降杆(33)上,两个升降杆(33)之间设置有横条(12),横条(12)两端分别与两个升降杆(33)固定连接。

8.根据权利要求4所述的一种单片式外延设备,其特征在于:两个所述方块(9)上均贴合有限位板(47),两个限位板(47)上均活动套接有固定半盒(45),两个固定半盒(45)分别与两个支撑条(13)上侧固定连接,两个限位板(47)上均固定套接有两个限位半框(6)。

9.一种单片式外延设备的使用方法包括一下步骤:


技术总结
本发明涉及外延炉的技术领域,且公开了一种单片式外延设备及方法,包括炉体,炉体上方设置有顶盖,炉体上设置有连接台,炉体上固定安装有支撑板,顶盖设置在支撑板上,连接台上设置有托板,托板上侧开设有若干个凹槽,每个凹槽内均活动连接有基座,每个基座外侧壁均开设有环形壁槽,通过若干个基座可以同时加工若干个外延硅片,向下旋转移动固定柱,当固定柱与连接管分离后,就可以向上移动固定板,从而就可以将若干个基座逐一取出,逐一就可以方便用户更换,同时可以方便用户逐一清洗每个基座,从而避免其中一个基座损坏导致需要更换整个托板的情况产生,同时可以更换不同大小的基座,这样就可以同时加工不同大小的硅片。

技术研发人员:徐新华
受保护的技术使用者:浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/4/22
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