控制半导体材料稳定生长的方法、装置、电子设备及介质与流程

文档序号:40502208发布日期:2024-12-31 13:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种控制半导体材料稳定生长的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤中的任意一步或至少两步的组合:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述半导体材料包括ingaas材料、algaas材料或ingasb材料中的任意一种。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,步骤(1)所述前炉材料包括上一炉材料;

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,步骤(1)所述源炉温度的调整按照以下公式进行:

5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,步骤(2)所述反射高能电子衍射图像中特定结构包括2×4重构;

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,步骤(2.1)所述脱氧温度的调整按照以下公式进行:

7.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,步骤(3)所述阀位差的调整按照以下公式进行:

8.一种控制半导体材料稳定生长的装置,其特征在于,所述装置包括以下模块中的任意一种或至少两种的组合:

9.一种电子设备,其特征在于,所述电子设备包括:

10.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质存储有计算机指令,所述计算机指令用于使处理器执行时实现权利要求1-7任一项所述控制半导体材料稳定生长的方法。


技术总结
本发明提供一种控制半导体材料稳定生长的方法、装置、电子设备及介质,所述方法包括:(1)结合前炉材料的X射线衍射结果、光致发光测试结果和源炉束流变化值,对材料生长过程中使用的源炉温度进行调整;(2)结合反射高能电子衍射图像中特定结构出现和消失的温度点,分别对衬底的脱氧温度和外延层的生长温度进行调整;(3)结合束流测试中的V族束流差和生长过程中的生长室真空差异,对V族束流的阀位差进行调整;其中,步骤(1)‑(3)不分先后顺序。本发明提供的方法通过控制生长过程中各个关键参数并结合相关参数进行调整,实现大规模半导体材料的稳定生长并维持材料的一致性,简化了工艺流程,降低了操作难度,有利于大规模推广应用。

技术研发人员:王红真,陈海昌
受保护的技术使用者:苏州信越半导体有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/12/30
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