c以绕轴心的方式旋转驱动。一对升降用的导轨422c与铅直滚珠丝杠421c平行地配设在铅直板42b的表面，以能够滑动的方式支承升降板42d。一对升降用的导轨422c形成为与硅吸附板32的高度大致相等的长度，设置在铅直板42b的全长的范围。升降单元42c通过升降用电机使铅直滚珠丝杠421c旋转驱动，从而利用一对导轨422c引导被卡合于升降板42d (吸附板支承单元42e)的硅吸附板32且使其升降移动。
[0049]将升降板42d形成为与液槽31的宽度方向平行的带板状，其配设在铅直板42b的自由端侧的表面上。升降板42d固定有未图示的螺母和滑动块，被设置为沿着升降用的导轨422c移动自如。
[0050]吸附板支承单元42e具有一对卡盘气缸42le。一对卡盘气缸42le在液槽31的宽度方向上彼此隔着间隔地配设。卡盘气缸421e具有:安装于升降板42d的气缸主体422e、以从气缸主体422e伸缩自如的方式设置的突没销423e。卡盘气缸421e以从气缸主体422e突出的突没销423e彼此接近的状态安装在升降板42d的下表面。突没销423e形成为与液槽31的宽度方向平行的圆柱状。突没销423e在图1中虚线所示的位置和实线所示的位置的范围从气缸主体422e伸缩。当突没销423e在升降板42d被升降单元42c降下的状态下从气缸主体422e突出时，该突没销423e侵入到硅吸附板32的被卡合孔32b内并与其卡合。
[0051]回收容器43在上表面设置有能够供硅吸附板32通过的狭缝43a。并且，在回收容器43的侧面(图1所示的右下方侧的侧面)设置有为了向回收容器43内吹入氮气(N2)而使用的吹入口 43b。为了使回收容器43内的空间成为脱氧状态而吹入氮气。通过使回收容器43内为脱氧状态，能够抑制在后述的硅溶液SF内的硅粉P的表面形成氧化膜。
[0052]刮取单元44设置在回收容器43内的狭缝43a附近。图4是本实施方式的回收装置1所具有的刮取单元44的示意图。另外，在图4中，示出分离处理单元3所具有的硅吸附板32和使硅吸附板32升降的升降单元42c。图4A示出刮取被硅吸附板32吸附的硅粉P (更具体而言，包含硅粉P和废液的硅溶液SF)之前的状态的刮取单元44，图4B示出刮取了被硅吸附板32吸附的硅溶液SF之后的状态的刮取单元44。
[0053]如图4所示，刮取单元44配设于支承板部43c，该支承板部43c设置在回收容器43内。该支承板部43c从回收容器43的内侧侧面与回收容器43的上表面平行地延伸设置。在支承板部43c上，在与狭缝43a对应的位置上形成有狭缝43d。刮取单元44具有:配置在支承板部43c上的一对开闭气缸44a ;以及从该开闭气缸44a向回收容器43的内侧延伸设置的一对刮取板44b。
[0054]—对开闭气缸44a设置在隔着狭缝43d对置的支承板部43c上。刮取板44b从这些开闭气缸44a的狭缝43侧的侧面朝向对象侧的开闭气缸44a延伸。刮取板44b形成为与液槽31的宽度方向平行延伸的带板状。刮取板44b的长度形成为比硅吸附板32的宽度稍稍长。开闭气缸44a与未图不的驱动电机连接。刮取板44b构成为能够根据开闭气缸44a的驱动状态在狭缝43d上进退。
[0055]刮取单元44具有这种结构，因而能够利用刮取板44b夹住被收纳在回收容器43内的硅吸附板32的表面。在夹住硅吸附板32的表面的状态下，回收单元4的升降单元42c提起硅吸附板32，由此刮取单元44能够刮取被硅吸附板32吸附的硅粉P (更具体而言，包含硅粉P和废液的硅溶液SF)(参照图4B)。
[0056]净水贮存箱5是对利用分离处理单元3从废液L中分离出的不包含硅粉P的净水W进行贮存的容器。如图1所示，净水贮存箱5重叠在废液收纳箱2上，并且配设在分离处理单元3的液槽31的侧方。配置在硅通过限制部33的框体33a内的净水W经由输送配管33e输送到供给口 51，并贮存在净水贮存箱5。
[0057]干燥单元6配置在回收单元4的回收容器43的下方侧。干燥单元6实现从由回收单元4的回收部41回收的硅溶液SF中蒸发并去除水分的功能。干燥单元6具有:干燥盒61、一对输送辊62、63、输送带64、驱动电机65、加热器部66 (参照图3、图5)。以下，关于该干燥单元6的结构，一边参照图3和图5 —边进行说明。图5是本实施方式的回收装置1所具有的干燥单元6的示意图。另外，在图5中，为了便于说明，省略干燥盒61，并且示出硅溶液SF和收集盒7。
[0058]干燥盒61大致具有长方体形状，其上表面和下表面的一部分开放。S卩，在干燥盒61中，在上表面的与刮取单元44对应的位置上形成开口部61a，在下表面的与收集盒7对应的位置上形成开口部61b (参照图3)。在该干燥盒61内的空间中还收纳有干燥单元6的除干燥盒61以外的结构要素。
[0059]—对输送辊62、63在干燥盒61内以稍稍具有高低差的状态且以图3所示的在Y轴方向上分离的状态进行配置。更具体而言，输送辊62配置在液槽31侧的端部附近，输送辊63在低于输送辊62的位置配置在干燥盒61内的相反侧的端部附近。这些输送辊62、63被配置为在与液槽31的宽度方向平行的方向(图3所示的X轴方向)上延伸。这些输送辊62、63具有比硅吸附板32的宽度稍稍长的长度。
[0060]输送带64由卷绕于这些输送辊62、63的环形带构成。输送带64与输送辊62、63相同，具有比硅吸附板32的宽度稍稍长的宽度。输送带64例如由特氟隆（注册商标）等树脂制的带构成。这样通过使用树脂制的输送带64,能够易于从输送带64的表面剥离硅粉P。并且，当考虑到耐久性、热传导性、硅粉P的剥离性时，作为实施方式优选采用如下的输送带64 :其芯材使用铜等金属，且对载置硅溶液SF的表面使用特氟隆薄片。或者，也可以使用对金属制的带的表面实施了特氟隆涂层的输送带64。
[0061 ]驱动电机65与输送辊62连接，供给驱动力。输送辊62接受来自驱动电机65的驱动力而向图5所示的箭头A方向旋转。同样，输送辊63经由输送带64接受来自输送辊62的驱动力而向图5所示的箭头B方向旋转。伴随着这些输送辊62、63的旋转，输送带64向图5所示的箭头C方向旋转。
[0062]加热器部66配置在输送辊62与输送辊63之间，且配置在配置于上方侧的输送带64的背面（下表面）附近。加热器部66实现对在输送带64上输送的硅溶液SF进行加热的功能。对加热器部66例如采用利用电阻产生热的电阻加热方式，但不限于此。以对输送带64上的硅溶液SF进行加热为前提，能够采用任意的加热方式。并且，关于加热器部66相对于输送带64的位置也可以适当变更。
[0063]收集盒7配置在干燥装置6的下方侧。收集盒7具有上方开口的箱状。收集盒7以使上方的开口部与干燥单元6的输送辊63相对的状态进行配置，贮存由输送带64输送的硅粉P。并且，如图1所示，收集盒7能够从回收装置1的框体10中拉出，能够容易地取出所贮存的硅粉P。并且，通过从吹入口 43b吹入的氮气，使回收容器43、干燥盒61、收集盒7为氮气氛围，能够防止自然氧化膜附着于硅粉P的表面。
[0064]控制单元8分别控制回收装置1的结构要素。控制单元8构成为包含执行各种处理的处理器和R〇M、RAM等存储介质。例如，控制单元8对回收单元4的吸附板移动部42和刮取单元4