一种蒸镀载板及蒸镀装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及有机发光器件制备技术领域，特别涉及一种蒸镀载板及蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]在有机发光器件的制备过程中，对玻璃基板的蒸镀是有机发光器件制备过程中一个重要的工艺流程。
[0003]对有机发光器件的玻璃基板进行蒸镀的蒸镀装置包括蒸镀腔体、位于蒸镀腔体内的蒸镀源和用于承载玻璃基板的蒸镀载板。目前，在对有机发光器件的玻璃基板进行蒸镀作业时一般采用玻璃基板的蒸镀面向下、且蒸镀源向上的蒸镀方式进行蒸镀，进而能够避免蒸镀腔室内落下的粒子对器件本身造成影响；即，采用蒸镀装置对玻璃基板进行蒸镀时，蒸镀载板的玻璃承载面朝向蒸镀源，且蒸镀载板上设有用于针脚穿过的针脚孔，当玻璃基板蒸镀完成后翻转蒸镀载板，使蒸镀载板的玻璃承载面向上，然后控制针脚装置的针脚自蒸镀载板的针脚孔穿过以将玻璃基板顶起，以使玻璃基板与蒸镀载板的玻璃承载面分离。
[0004]但是，由于蒸镀载板上设置有针脚孔，在蒸镀装置的蒸镀腔体中对玻璃基板进行蒸镀时，蒸镀源发射的辐射信号经过蒸镀腔体的上壁反射后会透过蒸镀载板的针脚孔照射在玻璃基板上，进而使得玻璃基板上的温度不均匀，最终导致有机发光器件显示时与针脚孔对应的位置产生黑色斑块不良，降低了有机发光器件的质量。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提供了一种蒸镀载板及蒸镀装置，该蒸镀载板能够提高蒸镀后的玻璃基板的质量，进而提高有机发光器件的产品质量。
[0006]为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案:
[0007]一种蒸镀载板，包括载板本体，所述载板本体上形成玻璃承载面、且设有多个用于针脚穿过的针脚孔，所述载板本体背离所述玻璃承载面的一侧表面上设有当玻璃承载面朝向蒸镀源时覆盖各所述针脚孔的盖板机构。
[0008]上述蒸镀载板中，当将承载有玻璃基板的载板蒸镀载板放入蒸镀装置的蒸镀腔体中时，载板本体的玻璃承载面朝向位于蒸镀腔体中的蒸镀源，此时，蒸镀载板具有的盖板机构能够将载板本体设有的针脚孔覆盖，进而能够防止辐射信号穿过针脚孔照射至贴附在载板本体的玻璃承载面上的玻璃基板朝向载板本体的一面上，进而使得玻璃基板受热均匀，提尚玻璃基板蒸锻作业时的良率，进而提尚有机发光器件的广品质量。
[0009]优选地，所述盖板机构包括多个子盖板，每一个所述子盖板的一个侧边通过枢转轴安装于所述载板本体。
[0010]优选地，每一个所述子盖板可绕所述枢转轴轴心线旋转的角度小于90度。
[0011 ] 优选地，所述盖板机构还包括:
[0012]驱动各所述子盖板翻转的驱动装置。
[0013]优选地，所述驱动装置为伺服马达、气缸、或者驱动电机。
[0014]优选地，所述多个子盖板中，每一个所述子盖板用于当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源时覆盖一个针脚孔。
[0015]优选地，所述多个子盖板中，至少一个所述子盖板用于当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源时覆盖至少两个针脚孔。
[0016]优选地，所述载板上设置的针脚孔阵列分布，当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源时，每一个所述子盖板覆盖一行所述针脚孔、或者每一个所述子盖板覆盖一列所述针脚孔。
[0017]优选地，当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源、每一个所述子盖板覆盖一行所述针脚孔时，每一个所述子盖板的所述枢转轴的延伸方向与所述针脚孔的行方向平行。
[0018]优选地，当所述载板本体的玻璃承载面朝向蒸镀源、每一个所述子盖板覆盖一列所述针脚孔时，每一个所述子盖板的所述枢转轴的延伸方向与所述针脚孔的列方向平行。
[0019]优选地，所述盖板机构包括与所述针脚孔一一对应的弹性垫，每一个所述弹性垫与所述针脚孔正对的部位包括多个拼接瓣；当所述针脚穿过所述针脚孔时所述弹性垫的各所述拼接瓣在针脚的作用下发生弹性变形以使针脚穿过所述针脚孔，当所述针脚不穿过所述针脚孔时所述弹性垫的各拼接瓣相互拼接以覆盖所述针脚孔。
[0020]另外，本实用新型还提供了一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室、安装于所述蒸镀腔室内的蒸镀源，所述蒸镀腔室内设有用于支撑蒸镀载板的支撑机构，上述蒸镀装置还包括上述技术方案中提供的任意一种蒸镀载板。
【附图说明】
[0021]图1为本实用新型一种实施例提供的蒸镀载板的一种结构示意图；
[0022]图2为图1所示结构的蒸镀载板中玻璃基板蒸镀完成且针脚将玻璃基板顶离载板的玻璃承载面时的结构示意图；
[0023]图3为本实用新型提供的一种蒸镀载板中一种盖板机构盖合载板的针脚孔时的结构示意图；
[0024]图4为图3所示结构的蒸镀载板中盖板机构打开载板的针脚孔时的结构示意图；
[0025]图5为本实用新型提供的一种蒸镀载板中另一种盖板机构盖合载板的针脚孔时的结构不意图；
[0026]图6为图5所示结构的蒸镀载板中盖板机构打开载板的针脚孔时的结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0028]请参考图1和图2，本实用新型实施例提供的蒸镀载板包括载板本体3，载板本体3上形成玻璃承载面31、且设有多个用于针脚5穿过的针脚孔33，载板本体3背离玻璃承载面31的一侧表面32上设有当玻璃承载面31朝向蒸镀源2时覆盖各针脚孔33的盖板机构34。
[0029]如图1所示，在对贴附于玻璃承载面31上的玻璃基板进行蒸镀时，载板本体3需要放入蒸镀装置的蒸镀腔室I内，并且载板本体3形成的玻璃承载面31朝向蒸镀源2，此时，盖板机构34能够将载板本体3设有的针脚孔33覆盖，进而能够防止辐射信号穿过针脚孔33照射至贴附在载板本体3的玻璃承载面31上的玻璃基板4朝向载板本体3的一面上，进而使得玻璃基板4受热均匀，提高玻璃基板4蒸镀作业时的良率；当玻璃基板4蒸镀完成后，如图2所示，将玻璃承载面31贴附有玻璃基板4的载板本体3取出蒸镀装置的蒸镀腔室1，并且将载板本体3进行反转以使载板本体3的玻璃承载面31朝向，盖板机构34打开各针脚孔33，针脚5可以穿过针脚孔33将玻璃基板4顶离载板本体3。
[0030]因此，使用上述蒸镀载板承载玻璃基板4时，对玻璃基板4进行蒸镀时玻璃基板4受热均匀，能够提高蒸镀之后的玻璃基板4的质量，进而提高了使用该玻璃基板4制备的有机发光器件的产品质量。
[0031]优选地，上述蒸镀载板中，盖板机构34可以包括多个子盖板，每一个子盖板的一个侧边通过枢转轴安装于载板本体3。
[0032]一种优选实施方式中，上述盖板机构34中，每一个