本发明涉及含氟醚化合物的制造方法及物品的制造方法。
背景技术：
含氟化合物由于显示高的润滑性、拒水拒油性等，因此适合用于表面处理剂。若利用表面处理剂对基材的表面赋予拒水拒油性，则变得容易擦拭基材的表面的污迹，污迹的去除性提高。上述含氟化合物中，具有在全氟亚烷基链中存在有醚键(-o-)的聚(氧全氟亚烷基)链的含氟醚化合物为柔软性优异的化合物，特别是油脂等污迹的去除性优异。
含有上述含氟醚化合物的表面处理剂被要求用于长时间维持如下性能的用途、例如用作构成触摸面板的手指触摸面的构件的表面处理剂，所述性能为：即使用手指反复摩擦，拒水拒油性也不易降低的性能(耐摩擦性)、及通过擦拭能够容易地将附着于表面的指纹去除的性能(指纹污迹去除性)。
作为上述含氟醚化合物，正在广泛使用将具有聚(氧全氟亚烷基)链的化合物与烷氧基硅烷反应而得到的、具有聚(氧全氟亚烷基)链且在末端具有键合于硅原子的水解性基团的化合物(专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2014/163004号
技术实现要素：
发明要解决的问题
近年来，对于使用含有含氟醚化合物的表面处理剂而形成的表面层所要求的物性进一步提高。
本发明人等发现，使用专利文献1中记载的含有含氟醚化合物的表面处理剂在基材的表面形成表面层后，存在表面层的耐摩擦性不充分的情况、或者存在产生有起因于聚集物的粒状物从而表面层的外观特性差的情况。
本发明鉴于上述问题，其目的在于，提供能够形成耐摩擦性优异、并且粒状物的产生得以抑制的表面层的含氟醚化合物的制造方法及物品的制造方法。
用于解决问题的方案
本发明提供具有下述[1]～[10]的构成的含氟醚化合物的制造方法及物品的制造方法。
[1]一种含氟醚化合物的制造方法，其特征在于，在氢化硅烷化催化剂的存在下，使具有聚(氧全氟亚烷基)链及ω-烯基的化合物与具有键合于硅原子的氢原子、且具有键合于硅原子的水解性基团及键合于硅原子的羟基中的至少一者的化合物反应，制造具有聚(氧全氟亚烷基)链、且具有键合于硅原子的水解性基团及键合于硅原子的羟基中的至少一者的含氟醚化合物，
所述方法中，得到前述含氟醚化合物后，使前述含氟醚化合物与含水率为1.0质量％以下的吸附材料接触、或者、
在前述在氢化硅烷化催化剂及含水率为1.0质量％以下的吸附材料的存在下进行前述反应。
[2]根据[1]所述的制造方法，其中，前述吸附材料的含水率为0.1质量％以下。
[3]根据[1]或[2]所述的制造方法，其中，前述吸附材料为活性炭、分子筛、硅胶或硅藻土。
[4]根据[1]～[3]中任一项所述的制造方法，其中，前述氢化硅烷化催化剂为第8族～第10族过渡金属催化剂。
[5]根据[1]～[4]中任一项所述的制造方法，其中，前述具有聚(氧全氟亚烷基)链及ω-烯基的化合物为下述式(1)所示的化合物。
[a1-o-z1-(rfo)m-]jz2[-ch＝ch2]q(1)
其中，a1为全氟烷基或-q[-ch＝ch2]k，a1为-q[-ch＝ch2]k时为j为1，
q为(k+1)价的连接基团，k为1～10的整数，
z1为单键、1个以上的氢原子被氟原子取代的碳数1～20的氧氟亚烷基(其中，不包括氧全氟亚烷基。上述氧氟亚烷基中的氧原子与(rfo)m键合。)、或1个以上的氢原子被氟原子取代的碳数1～20的聚(氧氟亚烷基)(与(rfo)m键合的氧氟亚烷基中的氧原子与(rfo)m键合。与(rfo)m键合的氧氟亚烷基含有1个以上的氢原子。聚(氧氟亚烷基)中任选包含：全部的氢原子被氟原子取代的氧全氟亚烷基、以及含有1个以上的氢原子的氧氟亚烷基这两者。)，
rf为全氟亚烷基，m为2～200的整数，(rfo)m中存在碳数不同的2种以上的rfo时，各rfo的键合顺序没有限定，
z2为(j+q)价的连接基团，j、q各自为1以上的整数。
[6]根据[1]～[5]中任一项所述的制造方法，其中，前述具有键合于硅原子的氢原子、且具有键合于硅原子的水解性基团及键合于硅原子的羟基中的至少一者的化合物为下述式(3)所示的化合物。
h-sirnl3-n(3)
其中，r为1价的烃基，l为水解性基团或羟基，n为0～2的整数，n为0或1时，1分子中存在的多个l彼此任选相同或不同，n为2时，1分子中存在的2个r彼此任选相同或不同。
[7]根据[6]所述的制造方法，其中，前述n为0或1，多个l均为水解性基团。
[8]根据[1]～[7]中任一项所述的制造方法，其中，前述吸附材料的用量相对于前述具有聚(氧全氟亚烷基)链及ω-烯基的化合物的总质量为1～30质量％。
[9]根据[1]～[8]中任一项所述的制造方法，其中，得到前述含氟醚化合物后，使前述含氟醚化合物与含水率为1.0质量％以下的吸附材料在液态介质中接触。
[10]一种物品的制造方法，其特征在于，使用通过前述[1]～[9]中任一项所述的制造方法得到的含氟醚化合物，在基材的表面形成表面层。
发明的效果
根据本发明，可以提供能够形成耐摩擦性优异、并且粒状物的产生得以抑制的表面层的含氟醚化合物的制造方法及物品的制造方法。
具体实施方式
本说明书中，将式(1)所示的化合物记为化合物1。其他式所示的化合物也同样地记载。将式(1)所示的基团记为基团1。其他式所示的基团也同样地记载。
本说明书中，“亚烷基任选具有a基”、“任选具有a基的亚烷基”是指，在亚烷基中的碳原子-碳原子间任选具有a基、如亚烷基-a基-那样在末端任选具有a基。
本发明中的用语的含义如下。
“醚性氧原子”是指在碳原子-碳原子间形成醚键(-o-)的氧原子。
“2价的有机聚硅氧烷残基”为下式所示的基团。下式中的ra为烷基(优选碳数1～10)、或苯基。另外，g1为1以上的整数，优选1～9的整数，特别优选1～4的整数。
“硅亚苯基骨架基”为-si(rb)2phsi(rb)2-(其中，ph为亚苯基，rb为1价的有机基团。)所示的基团。作为rb，优选烷基(优选碳数1～10)。
“二烷基亚甲硅烷基”为-si(rc)2-(其中，rc为烷基(优选碳数1～10)。)所示的基团。
“水解性甲硅烷基”为由键合有水解性基团的硅原子形成的基团。
“硅烷醇基”为键合于硅原子的羟基。
“表面层”是指在基材的表面形成的层。
对于含氟醚化合物的“数均分子量”，使用nmr分析法，通过下述的方法来算出。
利用1h-nmr及19f-nmr，以末端基团为基准，求出氧全氟亚烷基的数量(平均值)，由此来算出。
本发明的制造方法(以下，也称为“本制造方法”。)的特征在于，使用显示规定的含水率的吸附材料。
对于使用通过现有技术的制造方法得到的含氟醚化合物时得不到期望的效果的理由，本发明人等发现与水有关。更具体而言，专利文献1中记载的方法中，在制造含氟醚化合物后与活性炭等吸附材料接触。该吸附材料中的含水率高的情况下，含氟醚化合物中的键合于硅原子的水解性基团进行水解反应，其后经过缩合反应形成聚集物。结果，在形成的表面层上观察到粒状物从而外观特性恶化，并且耐摩擦性也恶化。本发明人等基于上述见解，通过控制吸附材料的含水率，从而解决了上述问题。
本制造方法的特征在于，其为如下的化合物c的制造方法：在氢化硅烷化催化剂的存在下、使具有聚(氧全氟亚烷基)链及ω-烯基的化合物(以下，也称为“化合物a”。)与具有键合于硅原子的氢原子、且具有键合于硅原子的水解性基团及键合于硅原子的羟基中的至少一者的化合物(以下，也称为“化合物b”。)反应，制造具有聚(氧全氟亚烷基)链且具有水解性甲硅烷基及硅烷醇基中的至少一者的含氟醚化合物(以下，也称为“化合物c”。)，得到上述化合物c后，使化合物c与含水率为1.0质量％以下的吸附材料(以下，也称为“特定吸附材料”。)接触、或者在氢化硅烷化催化剂及特定吸附材料的存在下进行上述反应。
即，作为本制造方法的第1方式，可列举出如下方式：在氢化硅烷化催化剂的存在下、使化合物a与化合物b反应，制造化合物c，使得到的化合物c与特定吸附材料接触。
另外，作为本制造方法的第2方式，可列举出如下方式：在氢化硅烷化催化剂及特定吸附材料的存在下、使化合物a与化合物b反应，制造化合物c。
以下，首先，对本制造方法中使用的材料进行详细叙述，其后，对各方式的步骤进行详细叙述。
[化合物a]
作为化合物a所具有的聚(氧全氟亚烷基)链，从表面层的拒水拒油性更优异的方面出发，优选(rfo)m(其中，rf为全氟亚烷基，m为2～200的整数，可以由碳数不同的2种以上的rfo构成。)。
(rfo)m的定义在后面的段落中进行详细叙述。
化合物a可以具有多个ω-烯基。化合物a中的ω-烯基的数量优选1～10、更优选1～6、特别优选1～3。
作为ω-烯基，可列举出烯丙基、乙烯基、3-丁烯基。
作为化合物a，在表面层的拒水拒油性更优异的方面，优选化合物1。
[a1-o-z1-(rfo)m-]jz2[-ch＝ch2]q(1)
a1为全氟烷基或-q[-ch＝ch2]k。
对于全氟烷基中的碳数，从表面层的耐摩擦性更优异的方面出发，优选1～20、更优选1～10、进一步优选1～6、特别优选1～3。
全氟烷基可以为直链状，也可以为支链状。
其中，a1为-q[-ch＝ch2]k时，j为1。
作为全氟烷基，可列举出cf3-、cf3cf2-、cf3cf2cf2-、cf3cf2cf2cf2-、cf3cf2cf2cf2cf2-、cf3cf2cf2cf2cf2cf2-、cf3cf(cf3)-等。
作为全氟烷基，从表面层的拒水拒油性更优异的方面出发，优选cf3-、cf3cf2-、cf3cf2cf2-。
q为(k+1)价的连接基团。k为1～10的整数。因此，作为q，可列举出2～11价的连接基团。
作为q，例如，可列举出任选具有醚性氧原子或2价的有机聚硅氧烷残基的亚烷基、碳原子、氮原子、硅原子、2～8价的有机聚硅氧烷残基、及从后述的式(2-1)、式(2-2)、式(2-1-1)～(2-1-6)中除去了-ch＝ch2的基团。
z1为单键、1个以上的氢原子被氟原子取代的碳数1～20的氧氟亚烷基(其中，不包括氧全氟亚烷基。上述氧氟亚烷基中的氧原子与(rfo)m键合。)、或1个以上的氢原子被氟原子取代的碳数1～20的聚(氧氟亚烷基)(与(rfo)m键合的氧氟亚烷基中的氧原子与(rfo)m键合。与(rfo)m键合的氧氟亚烷基含有1个以上的氢原子。聚(氧氟亚烷基)中任选包含：全部的氢原子被氟原子取代的氧全氟亚烷基、以及含有1个以上的氢原子的氧氟亚烷基这两者。)。氧氟亚烷基或聚(氧氟亚烷基)的碳数优选1～10。
作为z1，从容易制造化合物的方面出发，优选单键、-chfcf2och2cf2o-、-cf2chfcf2och2cf2cf2o-、-cf2cf2chfcf2och2cf2o-、-cf2cf2ochfcf2och2cf2o-、-cf2cf2ocf2cf2ochfcf2och2cf2o-、-cf2ch2och2cf2o-、-cf2cf2ocf2ch2och2cf2o-(需要说明的是，上述式中，左侧与a1-o键合。)。作为z1，特别优选单键、-chfcf2och2cf2o-。
rf为全氟亚烷基。
对于全氟亚烷基的碳数，从表面层的拒水拒油性更优异的方面出发，优选1～6。
全氟亚烷基可以为直链状，也可以为支链状，从表面层的拒水拒油性更优异的方面出发，优选直链状。
需要说明的是，多个rf可以相同，也可以不同。即，(rfo)m可以由碳数不同的2种以上的rfo构成。
m为2～200的整数，优选5～150的整数、特别优选10～100的整数。m为上述范围的下限值以上时，表面层的拒水拒油性更优异。m为上述范围的上限值以下时，表面层的耐摩擦性更优异。
(rfo)m中，存在碳数不同的2种以上的rfo时，各rfo的键合顺序没有限定。例如，存在2种rfo的情况下，2种rfo可以进行无规、交替、嵌段地配置。
作为(rfo)m，从表面层的拒水拒油性更优异的方面出发，优选{(cf2o)m11(cf2cf2o)m12(cf2cf2cf2o)m13(cf2cf2cf2cf2o)m14}、(cf2cf2o)m16、(cf2cf2cf2o)m17、(cf2cf2o-cf2cf2cf2cf2o)m15(cf2cf2o)、(cf2o-cf2cf2cf2cf2cf2o)m18(cf2o)或(cf2cf2o-cf2cf2cf2cf2cf2cf2o)m19(cf2cf2o)，特别优选{(cf2o)m11(cf2cf2o)m12(cf2cf2cf2o)m13(cf2cf2cf2cf2o)m14}、(cf2cf2o-cf2cf2cf2cf2o)m15(cf2cf2o)、(cf2o-cf2cf2cf2cf2cf2o)m18(cf2o)、(cf2cf2o-cf2cf2cf2cf2cf2cf2o)m19(cf2cf2o)。
其中，m11及m12各自为1以上的整数，m13及m14各自为0或1以上的整数，m11+m12+m13+m14为2～200的整数，m11个cf2o、m12个cf2cf2o、m13个cf2cf2cf2o、m14个cf2cf2cf2cf2o的键合顺序没有限定。m16及m17各自为2～200的整数，m15、m18及m19为1～99的整数。
z2为(j+q)价的连接基团。
z2例如可列举出任选具有醚性氧原子或2价的有机聚硅氧烷残基的亚烷基、碳原子、氮原子、硅原子、2～8价的有机聚硅氧烷残基、及从后述的式(2-1)、式(2-2)、式(2-1-1)～(2-1-6)中除去了-ch＝ch2的基团。
j为1以上的整数，从表面层的拒水拒油性更优异的方面出发，优选1～5的整数，从容易制造化合物的方面出发，特别优选1。
q为1以上的整数，从表面层的拒水拒油性更优异的方面出发，优选2～4的整数，更优选2或3，特别优选3。
作为化合物1，从表面层的拒水拒油性更优异的方面出发，优选化合物1-1。a1-o-z1-(rfo)m-z3(1-1)
式(1-1)中，a1、z1、rf及m的定义与式(1)中的各基团的定义同义。
z3为基团2-1或基团2-2。
-rf7-qa-x(-qb-ch＝ch2)h(-r7)i(2-1)
-rf7-q71-[ch2c(r71)(-q72-ch＝ch2)]y-r72(2-2)
rf7为全氟亚烷基。
全氟亚烷基的碳数优选1～30、特别优选1～6。
全氟亚烷基可以为直链状，也可以为支链状。
作为rf7，从容易制造化合物的方面出发，优选-cf2cf2cf2cf2-或-cf2cf2cf2cf2cf2-。
qa为单键或2价的连接基团。
作为2价的连接基团，例如，可列举出2价的烃基(可以为2价的饱和烃基、2价的芳香族烃基、亚烯基、亚炔基。2价的饱和烃基可以为直链状、支链状或环状，例如，可列举出亚烷基。碳数优选1～20。另外，2价的芳香族烃基优选碳数5～20，例如，可列举出亚苯基。除此以外，还可以为碳数2～20的亚烯基、碳数2～20的亚炔基。)、2价的杂环基、-o-、-s-、-so2-、-n(rd)-、-c(o)-、-si(ra)2-及、将它们中的2种以上组合而得到的基团。此处，ra为烷基(优选碳数1～10)、或苯基。rd为氢原子或烷基(优选碳数1～10)。
需要说明的是，作为将上述基团中的2种以上组合而得到的基团，例如可列举出-oc(o)-、-c(o)n(rd)-、亚烷基-o-亚烷基、亚烷基-oc(o)-亚烷基、亚烷基-si(ra)2-亚苯基-si(ra)2。
x为单键、亚烷基、碳原子、氮原子、硅原子或2～8价的有机聚硅氧烷残基。
需要说明的是，上述亚烷基可以具有-o-、硅亚苯基骨架基团、2价的有机聚硅氧烷残基或二烷基亚甲硅烷基。亚烷基可以具有多个选自由-o-、硅亚苯基骨架基团、2价的有机聚硅氧烷残基及二烷基亚甲硅烷基组成的组中的基团。
x所示的亚烷基的碳数优选1～20、特别优选1～10。作为2～8价的有机聚硅氧烷残基，可列举出2价的有机聚硅氧烷残基、及后述的(w+1)价的有机聚硅氧烷残基。
qb为单键或2价的连接基团。
2价的连接基团的定义与上述qa中说明的定义同义。
r7为羟基或烷基。
烷基的碳数优选1～5、更优选1～3、特别优选1。
x为单键或亚烷基的情况下，h为1，i为0，
x为氮原子的情况下，满足h为1～2的整数，i为0～1的整数，h+i＝2，
x为碳原子或硅原子的情况下，满足h为1～3的整数，i为0～2的整数，h+i＝3，
x为2～8价的有机聚硅氧烷残基的情况下，满足h为1～7的整数，i为0～6的整数，h+i＝1～7。
(-qb-ch＝ch2)为2个以上的情况下，2个以上的(-qb-ch＝ch2)可以相同，也可以不同。r7为2个以上的情况下，2个以上的(-r7)可以相同，也可以不同。
q71为单键、亚烷基、或在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团，从容易制造化合物的方面出发，优选单键。
亚烷基的碳数优选1～10、特别优选2～6。
在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
r71为氢原子或碳数1～10的烷基，从容易制造化合物的方面出发，优选氢原子。
作为烷基，优选甲基。
q72为单键或亚烷基。亚烷基的碳数优选1～10、特别优选1～6。从容易制造化合物的方面出发，q72优选单键或-ch2-。
r72为氢原子或卤素原子，从容易制造化合物的方面出发，优选氢原子。
y为1～10的整数，优选1～6的整数。
2个以上的[ch2c(r71)(-q72-ch＝ch2)]可以相同，也可以不同。
作为基团2-1，优选基团2-1-1～2-1-6。
-rf7-(x1)p-q1-ch＝ch2(2-1-1)
-rf7-(x2)r1-q21-n[-(q22)r2-ch＝ch2]2(2-1-2)
-rf7-q31-g(r3)[-(q32)c-ch＝ch2]2(2-1-3)
-rf7-[c(o)n(rd)]s-q41-(o)t-c[-(o)u1-(q42)u2-ch＝ch2]3(2-1-4)
-rf7-q51-si[-(q52)e-ch＝ch2]3(2-1-5)
-rf7-[c(o)n(rd)]v1-q61-z3[-(q62)v2-ch＝ch2]w(2-1-6)
需要说明的是，式(2-1-1)～(2-1-6)中的rf7的定义如上述。
x1为-o-、或、-c(o)n(rd)-(其中，式中的n与q1键合)。
rd的定义如上述。
p为0或1。
q1为单键或亚烷基。需要说明的是，亚烷基可以具有-o-、硅亚苯基骨架基、2价的有机聚硅氧烷残基或二烷基亚甲硅烷基。亚烷基可以具有多个选自由-o-、硅亚苯基骨架基、2价的有机聚硅氧烷残基及二烷基亚甲硅烷基组成的组中的基团。
需要说明的是，亚烷基具有-o-的情况下，优选在碳原子-碳原子间具有-o-。另外，亚烷基具有硅亚苯基骨架基、2价的有机聚硅氧烷残基或二烷基亚甲硅烷基的情况下，优选在碳原子-碳原子间或在与键合于(x1)p的一侧处于相反侧的末端具有这些基团。
q1所示的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选1～6。
作为q1，p为0的情况下，优选单键、-ch2och2-、-ch2och2ch2och2-、-ch2ch2-、-ch2-、-ch2och2ch2ch2si(ch3)2osi(ch3)2-。(x1)p1为-o-的情况下，优选-ch2-、-ch2ch2och2-。(x1)p1为-c(o)n(rd)-的情况下，优选碳数1～6的亚烷基(其中，式中的n与q1键合)。q1为所述基团时，容易制造化合物。
作为基团2-1-1的具体例，可列举出以下的基团。
x2为-o-、-nh-、或、-c(o)n(rd)-。
rd的定义如上述。
q21为单键、亚烷基、或者在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子、-c(o)-、-c(o)o-、-oc(o)-或-nh-的基团。
q21所示的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选1～6。
q21所示的在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子、-c(o)-、-c(o)o-、-oc(o)-或-nh-的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
作为q21，从容易制造化合物的方面出发，优选-ch2-、-ch2ch2-、-ch2ch2ch2-、-ch2och2ch2-、-ch2nhch2ch2-、-ch2ch2oc(o)ch2ch2-(其中，右侧与n键合。)。
r1为0或1(其中，q21为单键时为0。)。从容易制造化合物的方面出发，优选0。
r2为0或1。
q22为任选具有2价的有机聚硅氧烷残基的亚烷基、或者在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子或-nh-的基团。
需要说明的是，亚烷基具有2价的有机聚硅氧烷残基的情况下，优选在碳原子-碳原子间或在与键合于n的一侧处于相反的一侧的末端具有该基团。
q22所示的任选具有2价的有机聚硅氧烷残基的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选1～6。
q22所示的在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子或-nh-的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
作为q22，从容易制造化合物的方面出发，优选-ch2-、-ch2ch2och2-(其中，右侧与-ch＝ch2键合。)。
2个[-(q22)r2-ch＝ch2]可以相同，也可以不同。
作为基团2-1-2的具体例，可列举出以下的基团。
q31为单键、亚烷基、或在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团，从容易制造化合物的方面出发，优选单键。
q31所示的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选2～6。
q31所示的在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
g为碳原子或硅原子。
r3为羟基或烷基。r3所示的烷基的碳数优选1～4。
c为0或1。
作为g(r3)，从容易制造化合物的方面出发，优选c(oh)或si(r3a)(其中，r3a为烷基。烷基的碳数优选1～10，特别优选甲基。)。
q32为任选具有2价的有机聚硅氧烷残基的亚烷基、或在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团。
需要说明的是，亚烷基具有2价的有机聚硅氧烷残基的情况下，优选在碳原子-碳原子间或在与键合于g的一侧处于相反的一侧的末端具有该基团。
q32所示的任选具有2价的有机聚硅氧烷残基的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选1～6。
q32所示的在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
作为q32，从容易制造化合物的方面出发，优选-ch2-、-ch2ch2ch2ch2ch2ch2-。
2个[-(q32)c-ch＝ch2]可以相同，也可以不同。
作为基团2-1-3的具体例，可列举出以下的基团。
式(2-1-4)中的rd的定义如上述。
s为0或1。
q41为单键、亚烷基、或在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团。
q41所示的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选2～6。
q41所示的在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
t为0或1(其中，q41为单键时为0。)。
作为-q41-(o)t-，从容易制造化合物的方面出发，s为0的情况下，优选单键、-ch2o-、-ch2och2-、-ch2och2ch2o-、-ch2och2ch2och2-、-ch2och2ch2ch2ch2och2-(其中，左侧与rf7键合。)，s为1的情况下，优选单键、-ch2-、-ch2ch2-。
q42为亚烷基、2价的有机聚硅氧烷残基或二烷基亚甲硅烷基，上述亚烷基可以具有-o-、-c(o)n(rd)-〔rd的定义如上述。〕、硅亚苯基骨架基、2价的有机聚硅氧烷残基或二烷基亚甲硅烷基。
需要说明的是，亚烷基具有-o-的情况下，优选在碳原子-碳原子间具有-o-。另外，亚烷基具有-c(o)n(rd)-、二烷基亚甲硅烷基或2价的有机聚硅氧烷残基的情况下，优选在碳原子-碳原子间或在键合于(o)u1的一侧的末端具有这些基团。另外，亚烷基具有硅亚苯基骨架基的情况下，优选在碳原子-碳原子间或在与键合于(o)u1的一侧处于相反的一侧的末端具有这些基团。
q42所示的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选1～6。
u1为0或1。
u2为0或1。
作为-(o)u1-(q42)u2-，从容易制造化合物的方面出发，优选单键、-ch2-、-ch2och2-、-ch2och2ch2ch2-、-och2-、-osi(ch3)2ch2-、-osi(ch3)2osi(ch3)2ch2-、-ch2ch2ch2si(ch3)2phsi(ch3)2-(其中，右侧与-ch＝ch2键合。)
3个[-(o)u1-(q42)u2-ch＝ch2]可以相同，也可以不同。
作为基团2-1-4的具体例，可列举出以下的基团。
q51为亚烷基、或在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团。
q51所示的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选1～6。
q51所示的在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
作为q51，从容易制造化合物的方面出发，优选-ch2och2ch2ch2-、-ch2och2ch2och2ch2ch2-、-ch2ch2-、-ch2ch2ch2-(其中，右侧与si键合。)。
e为0或1。
q52为任选具有2价的有机聚硅氧烷残基的亚烷基、或在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团。
需要说明的是，亚烷基具有2价的有机聚硅氧烷残基的情况下，优选在碳原子-碳原子间或在与键合于si的一侧处于相反的一侧的末端具有该基团。
q52所示的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选1～6。
q52所示的在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
作为q52，从容易制造化合物的方面出发，优选-ch2-、-ch2ch2och2-(其中，右侧与-ch＝ch2键合。)。
3个[-(q52)e-ch＝ch2]可以相同，也可以不同。
作为基团2-1-5的具体例，可列举出以下的基团。
式(2-1-6)中的rd的定义如上述。
v1为0或1。
q61为亚烷基、或在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团。
q61所示的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选2～6。
q61所示的在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
作为q61，从容易制造化合物的方面出发，优选-ch2och2ch2ch2-、-ch2och2ch2och2ch2ch2-、-ch2ch2-、-ch2ch2ch2-(其中，右侧与z3键合。)。
z3为(w+1)价的有机聚硅氧烷残基。
w为2～7的整数。
作为(w+1)价的有机聚硅氧烷残基，可列举出下述的基团。其中，下式中的ra如上述。
v2为0或1。
q62为任选具有2价的有机聚硅氧烷残基的亚烷基、或在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团。
需要说明的是，亚烷基具有2价的有机聚硅氧烷残基的情况下，优选在碳原子-碳原子间或在与键合于z3的一侧处于相反的一侧的末端具有该基团。
q62所示的亚烷基的碳数优选1～10、特别优选1～6。
q62所示的在碳数2以上的亚烷基的碳原子-碳原子间具有醚性氧原子的基团的碳数优选2～10、特别优选2～6。
作为q62，从容易制造化合物的方面出发，优选-ch2-。
w个[-(q62)v2-ch＝ch2]可以相同，也可以不同。
[化合物b]
化合物b中的键合于硅原子的氢原子的数量优选1～3、特别优选1。
作为化合物b，优选化合物3。
h-sirnl3-n(3)
r为1价的烃基，优选1价的饱和烃基。碳数优选1～6、更优选1～3、特别优选1～2。
l为水解性基团或羟基。
l的水解性基团为通过水解反应成为羟基的基团。即，由水解性甲硅烷基通过水解反应形成硅烷醇基。硅烷醇基进而在硅烷醇基间发生反应从而形成si-o-si键。另外，硅烷醇基与基材的表面的羟基(基材-oh)进行脱水缩合反应，从而可以形成化学键(基材-o-si)。
作为l，优选水解性基团，作为水解性基团，可列举出烷氧基、卤素原子、酰基、异氰酸酯基(-nco)等。作为烷氧基，优选碳数1～4的烷氧基。作为卤素原子，优选氯原子。
作为l，从工业上的制造容易的方面出发，优选碳数1～4的烷氧基或卤素原子。作为l，从涂布时的排气少、化合物3的保存稳定性更优异的方面出发，优选碳数1～4的烷氧基，需要化合物3的长期的保存稳定性的情况下，特别优选乙氧基，将涂布后的反应时间设为短时间的情况下，特别优选甲氧基。
n为0～2的整数。
n优选0或1，特别优选0。通过存在多个l，从而表面层对基材的密合性变得更牢固。
n为0或1的情况下，1分子中存在的多个l彼此任选相同或不同。从原料的获得容易性、制造容易性的方面出发，优选彼此相同。n为2的情况下，1分子中存在的2个r彼此任选相同或不同。
作为化合物3，优选h-si(och3)3、h-sich3(och3)2、h-si(och2ch3)3、h-sicl3、h-si(oc(o)ch3)3、h-si(nco)3。
[化合物c]
对于化合物c，从化合物的保存稳定性更优异的方面出发，优选具有水解性甲硅烷基。
化合物c的数均分子量优选500～20,000、更优选800～10,000、特别优选1,000～8,000。数均分子量为该范围内时，表面层的耐摩擦性优异。
作为化合物c，优选化合物4。
[a2-o-z1-(rfo)m-]jz2[-c2h4-sirnl3-n]q(4)
式(4)中，a2为全氟烷基或-q[-c2h4-sirnl3-n]k。
其中，a2为-q[-c2h4-sirnl3-n]k的情况下，j为1。
其他各基的定义如上述。
作为化合物4，优选化合物4-1。
a2-o-z1-(rfo)m-z4(4-1)
式(4-1)中，a2、z1、rf、及、m的定义如上述。
z4为基团5-1或基团5-2。
-rf7-qa-x(-qb-c2h4-sirnl3-n)h(-r7)i(5-1)
-rf7-q71-[ch2c(r71)(-q72-c2h4-sirnl3-n)]y-r72(5-2)
需要说明的是，式(5-1)及(5-2)中的各基团的定义如上述。
进而，作为基团5-1，优选基团5-1-1～5-1-6。
-rf7-(x1)p-q1-c2h4-sirnl3-n(5-1-1)
-rf7-(x2)r1-q21-n[-(q22)r2-c2h4-sirnl3-n]2(5-1-2)
-rf7-q31-g(r3)[-(q32)c-c2h4-sirnl3-n]2(5-1-3)
-rf7-[c(o)n(rd)]s-q41-(o)t-c[-(o)u1-(q42)u2-c2h4-sirnl3-n]3(5-1-4)
-rf7-q51-si[-(q52)e-c2h4-sirnl3-n]3(5-1-5)
-rf7-[c(o)n(rd)]v1-q61-z3[-(q62)v2-c2h4-sirnl3-n]w(5-1-6)
需要说明的是，式(5-1-1)及(5-1-6)中的各基团的定义如上述。
[氢化硅烷化催化剂]
氢化硅烷化催化剂优选过渡金属催化剂，更优选第8族～第10族过渡金属催化剂，进一步优选铂(pt)催化剂、钌(ru)催化剂、铑(rh)催化剂、铁(fe)催化剂，从氢化硅烷化反应进一步进行的观点出发，特别优选铂催化剂及铁催化剂。需要说明的是，第8族～第10族为基于iupac无机化学命名法修订版(1989年)的族编号。
作为铂催化剂的具体例，可列举出1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷的pt络合物、二乙烯基四甲基二硅氧烷的pt络合物、四甲基四乙烯基环四硅氧烷的pt络合物、氯铂酸、铂氧化物。
作为铁催化剂的具体例，可列举出国际公开第2016/027819号公报中记载的氢化硅烷化铁催化剂。
[吸附材料]
吸附材料的含水率为1.0质量％以下，从可得到进一步抑制表面层的粒状物的产生这一点及耐摩擦性更优异这一点中的至少一者的方面(以下，也称为“本发明的效果更优异的方面”。)出发，优选0.5质量％以下、特别优选0.1质量％以下。另外，吸附材料的含水率大多为0.001质量％以上。
吸附材料的含水率为吸附材料总量中的水的质量比例，可以通过干燥减量法等进行测定。
需要说明的是，上述吸附材料只要在本制造方法的使用时满足上述含水率的范围即可，在保管时等使用前，吸附材料的含水率可以在上述范围外(例如，2～3质量％)。
使用吸附材料时，例如，可以对含水率超过上述范围(超过1.0质量％)的吸附材料实施脱水处理、制成规定的含水率的吸附材料后，应用于本制造方法。
作为上述脱水处理的方法，例如，可列举出对吸附材料吹送水含量少的气体(例如，露点为0℃以下的氮气)的方法、对吸附材料进行加热的方法等。
作为吸附材料的具体例，可列举出活性炭、分子筛、硅胶、硅藻土，其中，从本发明的效果更优异的方面出发，优选活性炭。
活性炭为主要由碳原子构成的材料，例如，可以为对木质材料、椰子壳体、煤等天然材料进行焙烧而得到的活性炭，也可以为对合成有机高分子化合物等人工材料进行焙烧而得到的活性炭。
活性炭的粒度优选5～50目、特别优选10～30目。活性炭的粒度依据jisk1474：2014中记载的方法来求出。
活性炭可以为市售品，例如可列举出japanenvirochemicals,ltd.制的白鹭g2c、白鹭gm2x、白鹭gh2x、白鹭wh2c、kurarayco.,ltd制的kuraraycoal。
[其他成分]
本制造方法中，可以使用上述成分以外的成分。
例如，本制造方法中，可以使用溶剂等液态介质。即，可以在液态介质的存在下，实施化合物a与化合物b的反应。作为液态介质，优选能将化合物a、化合物b及化合物c溶解的溶剂。
作为溶剂，可列举出有机溶剂。作为有机溶剂的具体例，可列举出氟系有机溶剂及非氟系有机溶剂。
有机溶剂可以单独使用1种，也可以组合使用2种以上。
有机溶剂的含水率优选100ppm以下、更优选20ppm以下。
作为氟系有机溶剂的具体例，可列举出氟化烷烃、氟化芳香族化合物、氟代烷基醚、氟化烷基胺、氟代醇。
氟化烷烃优选碳数4～8的化合物，例如，可列举出c6f13h(ac-2000：制品名、旭硝子株式会社制)、c6f13c2h5(ac-6000：制品名、旭硝子株式会社制)、c2f5chfchfcf3(vertrel：制品名、dupont公司制)。
作为氟化芳香族化合物的具体例，可列举出六氟苯、三氟甲基苯、全氟甲苯、1,3-双(三氟甲基)苯、1,4-双(三氟甲基)苯。
氟代烷基醚优选碳数4～12的化合物，例如，可列举出cf3ch2ocf2cf2h(ae-3000：制品名、旭硝子株式会社制)、c4f9och3(novec-7100：制品名、3m公司制)、c4f9oc2h5(novec-7200：制品名、3m公司制)、c2f5cf(och3)c3f7(novec-7300：制品名、3m公司制)。
作为氟化烷基胺的具体例，可列举出全氟三丙基胺、全氟三丁基胺。
作为氟代醇的具体例，可列举出2,2,3,3-四氟丙醇、2,2,2-三氟乙醇、六氟异丙醇。
作为非氟系有机溶剂，优选仅由氢原子及碳原子形成的化合物、及仅由氢原子、碳原子及氧原子形成的化合物，具体而言，可列举出烃系有机溶剂、酮系有机溶剂、醚系有机溶剂、酯系有机溶剂。
作为烃系有机溶剂的具体例，可列举出己烷、庚烷、环己烷。
作为酮系有机溶剂的具体例，可列举出丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮。
作为醚系有机溶剂的具体例，可列举出乙醚、四氢呋喃、四乙二醇二甲醚。
作为酯系有机溶剂的具体例，可列举出乙酸乙酯、乙酸丁酯。
另外，本制造方法中，可以使用重排抑制剂。即，可以在重排抑制剂的存在下实施化合物a与化合物b的反应。作为重排抑制剂，可列举出wo2014/069592号的段落0115中记载的化合物。
[第1方式]
本制造方法的第1方式为如下方式：在氢化硅烷化催化剂的存在下，使化合物a与化合物b反应而制造化合物c，使得到的化合物c与特定吸附材料接触。
首先，使化合物a与化合物b反应时，将氢化硅烷化催化剂、化合物a和化合物b混合，根据需要，实施加热处理，进行反应。
对于氢化硅烷化催化剂、化合物a和化合物b的混合方法，可以一并将各成分混合，也可以分批将各成分混合。
需要说明的是，成分的混合顺序也没有特别限定。
作为氢化硅烷化催化剂的用量，相对于化合物a及化合物b的合计量，优选0.00001～0.1质量％、特别优选0.001～0.02质量％。
作为化合物a与化合物b的混合比，根据化合物的结构选择最佳的比，化合物b中的键合于硅原子的氢原子的摩尔数相对于化合物a中的ω-烯基的摩尔数的比(氢原子/ω-烯基)优选为1.0～3.0。
作为使化合物a与化合物b反应时的反应温度，优选0～100℃、特别优选50～80℃。作为反应时间，优选30～600分钟、特别优选60～300分钟。
需要说明的是，使化合物a与化合物b反应后，根据需要可以实施如下反应：变更得到的化合物c中的水解性基团的种类。例如，使化合物a与化合物b反应而得到具有卤素原子作为水解性基团的化合物c后，也可以实施将卤素原子变更为烷氧基的反应。
接着，使得到的化合物c与特定吸附材料接触。
作为接触的方法，可列举出将化合物c和特定吸附材料混合的方法、使化合物c在填充有特定吸附材料的过滤器中流通的方法。
使化合物c与特定吸附材料接触时，可以使化合物c与特定吸附材料直接接触，也可以制备将化合物c溶解于溶剂而成的溶液或分散于分散介质而成的分散液，使得到的溶液、分散液与特定吸附材料接触。优选使将化合物c溶解于溶剂而成的溶液与特定吸附材料接触。
使用的溶剂、分散介质只要为能够将化合物c溶解或分散的液态介质即可，优选有机溶剂，特别优选氟系有机溶剂。氟系有机溶剂的具体例如上述。
使化合物c与特定吸附材料接触时，特定吸附材料的用量相对于化合物c的总量优选1～30质量％、特别优选5～25质量％。
作为接触时间，从本发明的效果更优异的方面出发，优选0.1～180分钟、特别优选1～60分钟。
作为接触时的温度，从本发明的效果更优异的方面出发，优选0～40℃、特别优选10～30℃。
[第2方式]
本制造方法的第2方式可列举出如下方式：在氢化硅烷化催化剂及特定吸附材料的存在下、使化合物a与化合物b反应，制造化合物c。
作为本方式的步骤，将氢化硅烷化催化剂、特定吸附材料、化合物a及化合物b混合，根据需要实施加热处理，进行反应。
作为氢化硅烷化催化剂、特定吸附材料、化合物a和化合物b的混合方法，可以一并将各成分混合，也可以分批将各成分混合。
需要说明的是，成分的混合顺序也没有特别限定。
另外，化合物a与化合物b的反应条件(用量、反应温度、反应时间等)与第1方式同样。
特定吸附材料的用量相对于化合物a和化合物b的合计质量，优选1～30质量％、特别优选5～25质量％。
作为接触时间，从本发明的效果更优异的方面出发，优选0.1～180分钟、特别优选1～60分钟。
作为接触时的温度，从本发明的效果更优异的方面出发，优选0～40℃、特别优选10～30℃。
可以将通过上述第1方式或第2方式的方法得到的化合物c(特定吸附材料和接触后的化合物c)和液态介质混合，制造组合物。
作为液态介质的具体例，可列举出有机溶剂。作为有机溶剂的具体例，可列举出前述氟系有机溶剂及前述非氟系有机溶剂。有机溶剂可以单独使用1种，也可以组合使用2种以上。
氟系有机溶剂及非氟系有机溶剂的具体例如上述。
另外，也可以将上述第1方式或第2方式的方法中使用液态介质而得到的包含化合物c和液态介质的组合物作为上述组合物。进而，可以调整化合物c的浓度而由得到的包含化合物c和液态介质的组合物制成新的组合物，也可以将上述第1方式或第2方式的方法中使用的液态介质变换为另一液态介质而制成新的组合物。
组合物中的化合物c的含量相对于组合物的总量优选0.01～50.00质量％、特别优选1.00～30.00质量。
组合物中的液态介质的含量相对于组合物的总量优选50.00～99.99质量％、特别优选70.00～99.00质量％。
使用通过本制造方法得到的化合物c，从而可以在基材的表面形成表面层。
更具体而言，通过使用上述化合物c或组合物，从而能够在基材的表面形成耐摩擦性优异、并且粒状物的产生得以抑制的表面层。即，可以制造如下如下物品，所述物品具有：基材、和配置于基材的表面的由上述化合物c或组合物形成的表面层。
对于基材，只要为要求赋予拒水拒油性的基材，就没有特别限定。作为基材的材料的具体例，可列举出金属、树脂、玻璃、蓝宝石、陶瓷、石材、及它们的复合材料。玻璃可以进行了化学强化。基材可以由sio2等进行了表面处理。
作为基材，优选触摸面板用基材及显示器基材，特别优选触摸面板用基材。触摸面板用基材优选具有透光性。“具有透光性”是指基于jisr3106：1998(iso9050：1990)的垂直入射型可见光透过率为25％以上。作为触摸面板用基材的材料，优选玻璃或透明树脂。
上述物品例如可以通过下述的方法进行制造。
·通过使用了化合物c或组合物的干涂法对基材的表面进行处理，得到上述物品的方法。
·通过湿涂法将组合物涂布于基材的表面并使其干燥，得到上述物品的方法。
作为干涂法的具体例，可列举出真空蒸镀法、cvd法、溅射法。这些中，从抑制化合物c的分解的方面及装置的简便性的方面出发，真空蒸镀法是适宜的。真空蒸镀时可以使用使化合物c或组合物浸渗至铁、钢等金属多孔体而成的粒料状物质。
作为湿涂法的具体例，可列举出旋涂法、揩涂法(wipecoating)、喷涂法、挤出涂布法(squeezecoating)、浸渍涂布法、模涂法、喷墨法、流涂法、辊涂法、浇铸法、langmuir-blodgett法、凹版涂布法。
通过上述步骤形成的表面层包含借由化合物c的水解反应及缩合反应而得到的化合物。
表面层的膜厚优选1～100nm、特别优选1～50nm。对于表面层的膜厚，可以使用薄膜解析用x射线衍射仪(rigaku公司制、atx-g)，通过x射线反射率法得到反射x射线的干涉图案，根据该干涉图案的振动周期来算出。
实施例
以下，举出实施例详细地对本发明进行说明。但是，本发明不限定于这些实施例。需要说明的是，各成分的用量表示质量基准。例1～7中，例1～4、6～7为实施例，例5为比较例。
[评价方法]
(吸附材料的含水率)
利用烘箱对试样进行加热(180℃、2小时)，测定加热前后的质量来算出。
(外观特性)
通过目视确认评价样品的表面层，基于表面层中的粒状物的有无实施外观特性的评价。评价基准如下。
a：表面层没有100μm左右的粒状物。
b：表面层有100μm左右的粒状物。
(耐摩擦性)
对耐摩擦性的试验前后的评价样品测定水接触角。摩擦后的水接触角的降低越小，摩擦导致的性能的降低越小，耐摩擦性越优异。
<水接触角的测定方法>
使用接触角测定装置(协和界面科学株式会社制、dm-500)，对置于表面层的表面的约2μl的蒸馏水的接触角(水接触角)进行测定。在表面层的表面上不同的5个部位进行测定并算出其平均值。接触角的算出使用2θ法。
<耐摩擦性的试验方法>
对表面层，依据jisl0849：2013(iso105-x12：2001)，使用往返式横动试验机(ケイエヌテー社制)，以压力：98.07kpa、速度：320cm/分钟使钢丝棉bonstar(#0000)往返1万次。
[合成例1]
按照wo2014/069592号的合成例15中记载的方法，合成化合物c-1。具体而言，使具有聚(氧全氟亚烷基)链及ω-烯基的化合物(下述式(5)所示的含全氟聚醚基的烯丙基化合物)与、作为具有键合于硅原子的水解性基团的化合物的三氯硅烷在作为氢化硅烷化催化剂的1，3-二乙烯基-1，1，3，3-四甲基二硅氧烷的pt络合物存在下反应，接着使得到的化合物的氯原子被甲氧基取代，得到下述式(6)所示的化合物c-1。使得到的化合物c-1以浓度成为20质量％的方式溶解于novec-7200(3m公司制)(含水率：10ppm)，制备100g组合物1。
cf3o(cf2cf2o)15(cf2o)16cf2ch2och2ch2ch2si(ch2ch＝ch2)3(5)
cf3o(cf2cf2o)15(cf2o)16cf2ch2och2ch2ch2si[ch2ch2ch2si(och3)3]3(6)
需要说明的是，上述化合物c-1中，作为平均组成，包含了0.17个(cf2cf2cf2cf2o)的重复单元以及0.18个(cf2cf2cf2o)的重复单元，由于是微量的，因此省略。
[合成例2]
按照wo2017/022437号的合成例3中记载的方法，合成化合物c-2。具体而言，使具有聚(氧全氟亚烷基)链及ω-烯基的化合物(下述式(7)所示的含全氟聚醚基的烯丙基氧基化合物)与、作为具有键合于硅原子的水解性基团的化合物的三氯硅烷在作为氢化硅烷化催化剂的1，3-二乙烯基-1，1，3，3-四甲基二硅氧烷的pt络合物存在下反应，接着使得到的化合物的氯原子被甲氧基取代，得到下述式(8)所示的化合物c-2。使得到的化合物c-2以浓度成为20质量％的方式溶解于novec-7200(3m公司制)(含水率：10ppm)，制备100g组合物2。
cf3o(cf2cf2o)20(cf2o)16cf2ch2och2ch2ch2ch2och2c(ch2och2ch＝ch2)3(7)
cf3o(cf2cf2o)20(cf2o)16cf2ch2och2ch2ch2ch2och2c[ch2och2ch2ch2si(och3)3]3(8)
[例1]
将活性炭(kurarayco.,ltd制、kuraraycoalglc、标准粒度：10～30目)5g填充至过滤器，使露点-20℃的氮气流通1分钟。氮气流通后的活性炭的含水率为0.9质量％。
接着，将得到的活性炭添加至100g组合物1中，在25℃下进行5分钟搅拌后，将活性炭过滤，得到组合物11。
使用得到的组合物11，通过以下的干涂法在基材(化学强化玻璃)的表面形成表面层。首先，将0.5g组合物11填充至真空蒸镀装置(ulvac公司制、vtr-350m)内的钼板，将真空蒸镀装置内排气至1×10-3pa以下。对配置有组合物11的板以升温速度10℃/分钟以下的速度进行加热，在基于石英振荡式膜厚计的蒸镀速度超过1nm/秒的时刻，打开遮板(shutter)，开始在基材的表面上的成膜。在膜厚成为50nm的时刻关闭遮板，结束在基材的表面上的成膜。对得到的基材在200℃下进行30分钟加热处理，用asahiklinak-225(商品名、旭硝子株式会社)进行清洗，由此得到在基材的表面配置有表面层的物品。进行物品的外观特性及耐摩擦性的评价，将结果示于表1。
[例2～5]
变更氮气的流通时间、组合物的种类，除此以外，按照与例1同样的步骤，形成表面层。进行物品的外观特性及耐摩擦性的评价，将结果示于表1。
[例6]
代替活性炭，使用分子筛4a(纯正化学株式会社制)，除此以外，按照与例1同样的步骤，形成表面层。进行物品的外观特性及耐摩擦性的评价，将结果示于表1。
[例7]
代替活性炭，使用硅胶(agcsitech公司制m.s.gel(型号：d-75-60a(n)平均粒径75微米、平均细孔径60埃)，除此以外，按照与例1同样的步骤，形成表面层。进行物品的外观特性及耐摩擦性的评价，将结果示于表1。
[表1]
如上述表1所示，使用了含水率为1.0质量％以下的吸附材料的例1～4、6～7的情况下，得到了未产生粒状物、外观优异、并且初始的拒水性及耐摩擦性优异的表面层。
另外，根据例1～3的比较确认了，吸附材料的含水率为0.1质量％以下时效果更优异。
另一方面，使用了含水率超过1.0质量％的吸附材料的例5的情况下，得到了产生有粒状物从而外观不充分、另外耐摩擦性不充分的表面层。
按照wo2017/022437号的合成例3中记载的方法合成化合物c-2时，进而使用例4中使用的含水率0.9质量％的活性炭，在上述活性炭及氢化硅烷化催化剂的存在下、使wo2017/022437号的合成例3中使用的前述式(7)所示的含全氟聚醚基的烯丙基氧基化合物与三氯硅烷反应，得到化合物c-2。使用得到的化合物c-2，按照与例4同样的步骤形成表面层，结果得到与例4同样的结果(外观特性及耐摩擦性)。
产业上的可利用性
通过本制造方法得到的含氟醚化合物可以用于要求赋予润滑性、拒水拒油性的各种用途。例如，可以用于触摸面板等显示输入装置的涂层、透明的玻璃制或透明的塑料制构件的表面保护涂层、厨房用防污涂层、电子设备、热交换器、电池等的拒水防湿涂层、防污涂层、洗护用品用防污涂层、导通并且需要拒液的构件上的涂层、热交换机的拒水·防水·滑水涂层、振动筛、气缸内部等的表面低摩擦涂层等。作为更具体的使用例，可列举出显示器的前面保护板、防反射板、偏光板、防眩板、或对它们的表面实施防反射膜处理而成者、手机、便携式信息终端等设备的具有触摸面板片、触摸面板显示器等用人的手指或手掌进行画面上的操作的显示输入装置的各种设备的涂层、洗手间、浴室、盥洗室、厨房等用水场所的装饰建材的涂层、布线板用防水涂布、热交换机的拒水·防水·滑水涂层、太阳能电池的拒水涂层、印刷电路板的防水·拒水涂层、电子设备壳体、电子部件用的防水·拒水涂层、送电线的绝缘性提高涂层、各种过滤器的防水·拒水涂层、电波吸收料、吸音材料的防水性涂层、浴室、厨房设备、洗护用品用防污涂层、振动筛、气缸内部等的表面低摩擦涂层、机械部件、真空设备部件、轴承部件、汽车部件、工具等的表面保护涂层等。
需要说明的是，将2017年08月18日申请的日本专利申请2017-157902号的说明书、权利要求书及摘要的全部内容引用至此处，作为本发明的说明书的公开并入。