一种具有防止反射功能的光学薄膜技术的制作方法

文档序号:24333624发布日期:2021-03-19 12:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有防止反射功能的光学薄膜技术,包括:s1配置共混聚合物溶液、s2基板清洗、s3旋转涂膜、s4烘干、s5去除ps;其特征在于:所述s1配置共混聚合物溶液:共混溶液的浓度和其中pmma与ps的比例是影响制得纳米多孔膜微孔结构的很重要的参数,浓度太高,会影响旋涂过程中匀胶的均匀性,增加旋涂后薄膜的表面粗糙度和膜厚,使得薄膜对入射光散射加剧,呈现不透明状态;浓度太低,不利于形成理想的微孔结构,因此选用聚合物溶质与溶剂质量比为1/40的溶液浓度,溶剂thf、溶质pmma与ps、浓度1/40~1/20,溶剂chcl3、溶质pmma与ps、浓度1/40,溶剂甲苯、溶质pmma与ps、浓度1/40,溶剂thf、溶质pmma、浓度1%~5%,溶剂chcl3、溶质pmma、浓度1%~3%;所述s2基板清洗:圆形k9玻璃基板,厚度1mm、直径20mm,(1)将玻璃基板在强氧化剂洗液(浓硫酸:双氧水=1:2)中清洗5分钟;(2)用去离子水反复冲洗,至覆盖在基板上呈现均匀、连续的水膜,而不是聚集成滴,或者成股流下;(3)水洗后的基板使用乙醇乙醚溶液清洗,无纺布擦干;所述s3旋转涂膜:处理好的基板应马上进行旋转涂膜,使用的是台式匀胶机,基板绕垂直于基板面的中轴旋转,轴与抽气泵连接,旋涂过程中开动气泵抽气,将基板吸附在旋转台上,第一阶段是滴加溶液,用吸管吸取共混聚合物溶液滴加到玻璃基板中心,吸取的量要足够铺满基板,由于之后的步骤中随着基板的旋转会把部分溶液甩出去,留下形成薄膜的溶液必然多于滴加的溶液,要让基板被溶液充分润湿,否则会影响薄膜与基板的附着,无法形成均匀的薄膜;第二阶段为预转,基板从静止开始加速旋转,由于旋转速度较低,部分溶液在离心力的作用下开始向基板边缘移动,基板表面形成一层不均匀的液膜,实验中选择预转速度为1000转/分(pm),预转时间为3s;第三阶段为高速旋转涂覆薄膜,转速加快到每分钟几千转并稳定下来,离心力的变大使得溶液被快速甩离基板,液膜厚度逐渐变薄,同基板之间的粘附力与表面张力、离心力共同作用下逐渐达到平衡,此过程中,可以看到液膜变薄导致的干涉条纹变化,最终形成颜色一致的干涉条纹,薄膜厚度均匀,选择高速匀胶速度为3000rpm,时间为30s;第四阶段是指基板匀速转动的过程中,溶剂蒸发,留下溶质组成的聚合物薄膜,转速恒定的时候,溶剂蒸发是影响薄膜厚度和微结构的主要因素,溶剂大量挥发,会使液膜粘度大幅度上升,共混溶液逐渐分离为pmma和ps各自富集的两种相,共混聚合物溶液的相分离主要发生在旋涂薄膜过程的高速旋转、溶剂蒸发阶段;所述s4烘干:将旋涂好的共混聚合物薄膜放进烘箱中烘干,促使薄膜内残留的溶剂充分挥发,使薄膜于燥,以增加聚合物薄膜与基底的粘附性和机械强度;根据聚合物材料自身的玻璃化温度及其他性能,选择合适的退火温度;

加热结束,不要打开烘箱,试样随炉冷却,避免pmma吸水;所述s5去除ps:将热固化的共混聚合物薄膜浸入环己烷,浸泡时间为几十分钟,取出,吹干表面溶剂,再进行烘烤。


技术总结
本发明涉及一种具有防止反射功能的光学薄膜技术,包括:S1配置共混聚合物溶液、S2基板清洗、S3旋转涂膜、S4烘干、S5去除PS;所述S1配置共混聚合物溶液:共混溶液的浓度和其中PMMA与PS的比例是影响制得纳米多孔膜微孔结构的很重要的参数,浓度太高,会影响旋涂过程中匀胶的均匀性,增加旋涂后薄膜的表面粗糙度和膜厚,使得薄膜对入射光散射加剧,呈现不透明状态;本发明通过对具有防止反射功能的光学薄膜技术的改进,具有设计合理,入射角度范围大、宽带甚至是超宽带的减反射效果,均一的光谱响应特性,以保证反射、透射光色平衡不被破坏,制备工艺简单、容易存放、切割、运输,优点,从而有效的解决了本发明提出的问题和不足。

技术研发人员:钱佳琪;陈小刚
受保护的技术使用者:苏州苏克新型材料有限公司
技术研发日:2020.12.14
技术公布日:2021.03.19
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