磷酸盐化合物的制造方法与流程

1.本发明涉及磷酸盐化合物的制造方法。更详细而言，涉及通过磷酸酯与原料盐的反应能够极其简便地生成高纯度的磷酸盐化合物的磷酸盐化合物的制造方法。


背景技术：

2.磷酸盐化合物的利用涉及清洗剂组合物中的表面活性剂、医药品、抗静电剂、阻燃剂和二次电池用添加剂等多方面(专利文献1～4)，根据各用途开发了多种磷酸盐化合物的制造方法。
3.例如，在专利文献5中公开了作为磷酸盐化合物的磷酸二酯盐的制造方法。根据该制造方法，在水的存在下将磷酸三酯水解而生成磷酸二酯后，使该磷酸二酯与氢氧化钠、氢氧化钾等氢氧化物反应，生成磷酸二酯盐。但是，在该制造方法中，需要用于将未反应的磷酸三酯、磷酸三酯水解时副生成的醇、以及磷酸三酯与氢氧化物的反应时使用的反应溶剂分离的繁杂的工序。另外，公开了作为起始原料的磷酸三酯例如是通过使单卤代磷酸二酯等与羟基化合物在三乙胺等有机碱的存在下反应而得到的，但由于会副生成有机碱的盐，所以还需要用于除去该有机碱的盐的工序。因此，在专利文献5所记载的磷酸二酯盐的制造方法中，从纯化
·
分离工序、废弃物处理的观点出发，在工业生产中存在很多问题。
4.在专利文献6中公开了一种单卤代磷酸酯盐或磷酸二酯盐的制造方法。根据该制造方法，使二卤代磷酸盐、醇类等和碱金属碱等反应，生成单卤代磷酸酯盐等。但是，反应控制不容易，而且作为产物，得到与磷酸二酯盐的混合物。因此，需要单卤代磷酸酯盐等的离析
·
纯化，但这些工序变得极其困难。另一方面，在得到磷酸二酯盐的情况下，根据反应底物，有时在产物中包含单卤代磷酸酯盐、碱金属盐。该情况下，需要磷酸二酯盐的离析工序，但制造工艺变得繁杂。另外，由于使用过量的醇作为反应底物和溶剂，所以在从产物中分离磷酸二酯盐时，需要通过真空干燥、加热干燥等馏去大量的醇。现有技术文献专利文献
5.专利文献1：日本特开2007-332355号公报专利文献2：日本特开2008-231026号公报专利文献3：wo2016/158258号公报专利文献4：日本特开平8-138733号公报专利文献5：日本特开2017-36273号公报专利文献6：日本特开2019-135215号公报


技术实现要素：

6.本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够通过极其简便的方法制造高纯度的磷酸盐化合物的新型磷酸盐化合物的制造方法。
7.为了解决上述课题，本发明的磷酸盐化合物的制造方法的特征在于，至少包括使
以下的化学式(a)所示的磷酸酯与以下的化学式(b)所示的原料盐反应，生成以下的化学式(c)所示的磷酸盐化合物的工序(i)。
8.[化学式1][式中，上述z表示碳原子或硅原子。上述x1和x2各自独立地表示选自卤素原子、碳原子数为1～10的烃基、碳原子数为1～10的烷氧基、碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烃基、或者碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烷氧基。上述x3～x5各自独立地表示氢原子、卤素原子、碳原子数为1～10的烃基、碳原子数为1～10的烷氧基、碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烃基、或者碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烷氧基，并且，上述x3～x5中的至少一者为上述碳原子数1～10的烃基或上述碳原子数1～10的烷氧基中的任一者。]
[0009]
[化学式2]mx
6n
ꢀꢀꢀ
(b)[式中，上述m表示碱金属、碱土金属、铝、过渡金属、或鎓。上述x6表示卤素原子、碳原子数1～10的烷氧基、卤代酰氧基、磺酰氧基(-so3y基：上述y表示卤素原子、碳原子数1～10的烃基、或者碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烃基)。上述n表示1～4的自然数。]
[0010]
[化学式3][式中，上述m表示与上述化学式(b)相同的阳离子种。上述x1和x2表示与上述化学式(a)相同的官能团。上述n表示与上述化学式(b)相同的价数。]
[0011]
在上述构成中，在上述化学式(a)中的上述z为硅原子的情况下，优选包括使以下的化学式(d)所示的磷酸化合物与以下的化学式(e)所示的硅化合物反应，生成以下的化学式(f)所示的磷酸甲硅烷基酯的工序(ii)。
[0012]
[化学式4]
[式中，上述m’表示氢原子、碱金属、碱土金属、碳原子数为1～10的伯烃基、碳原子数为1～10的仲烃基、碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的伯烃基、或者碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的仲烃基。上述x1和x2表示与上述化学式(a)相同的官能团。上述n表示与上述化学式(b)相同的价数。]
[0013]
[化学式5][式中，上述x3～x5表示与上述化学式(a)相同的官能团。上述x7为离去基团，且表示卤素原子、碳原子数1～10的烷氧基、卤代酰氧基、或磺酰氧基(-so3y基：上述y表示卤素原子、碳原子数1～10的烃基、或者碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烃基)。]
[0014]
[化学式6][式中，上述x1～x5表示与上述化学式(a)相同的官能团。]
[0015]
此外，在上述构成中，优选上述化学式(e)所示的硅化合物是在上述工序(i)中副生成的副产物。
[0016]
在上述构成中，上述磷酸化合物优选为上述化学式(d)中的上述x1和x2各自独立地为碳原子数1～10的烷氧基、上述m’为氢原子时的磷酸二酯。
[0017]
另外，在上述构成中，上述磷酸化合物优选为上述化学式(d)中的上述x1和x2中的任一者为氟原子、另一者为碳原子数1～10的烷氧基、上述m’为氢原子时的氟磷酸酯。
[0018]
此外，在上述构成中，上述磷酸化合物优选为上述化学式(d)中的上述x1和x2为氟原子、上述m’为氢原子时的二氟磷酸。
[0019]
在上述构成中，上述硅化合物优选为上述化学式(e)中的上述x3～x5各自独立地为碳原子数1～6的烃基、上述x7为卤素原子时的三烷基甲硅烷基卤化物。
[0020]
另外，在上述构成中，上述化学式(b)中的上述m优选为锂原子、钠原子、镁原子、1-甲基-1-丙基吡咯烷鎓、或1-乙基-3-甲基咪唑鎓。
[0021]
在上述构成中，可以在无溶剂下进行上述工序(i)和工序(ii)中的至少任一者。
[0022]
另外，在上述构成中，也可以在非水溶剂中进行上述工序(i)和工序(ii)中的至少任一者。
[0023]
此外，在上述构成中，上述非水溶剂优选为非质子性有机溶剂。
[0024]
根据本发明，通过使上述化学式(a)所示的磷酸酯与上述化学式(b)所示的原料盐反应，从而与以往的制造方法相比，能够极其简便且高效地以高纯度制造上述化学式(c)所示的磷酸盐化合物。
具体实施方式
[0025]
以下对本实施方式的磷酸盐化合物的制造方法进行说明。本实施方式的磷酸盐化合物的制造方法如以下所示的化学反应式所示，至少包括使化学式(a)所示的磷酸酯与化学式(b)所示的原料盐反应，生成化学式(c)所示的磷酸盐化合物的工序(i)。
[0026]
[化学式7](磷酸盐化合物的制造方法)
[0027]
工序(i)的反应是磷酸酯的x3x4x5z-基与原料盐的m交换而生成磷酸盐化合物的反应，也生成与该磷酸盐化合物等摩尔量的副产物(e’)。
[0028]
《磷酸酯》上述磷酸酯由以下的化学式(a)表示。
[0029]
[化学式8]
[0030]
上述化学式(a)中，上述z表示碳原子或硅原子。
[0031]
上述化学式(a)中，上述x1和x2各自独立地表示卤素原子、碳原子数为1～10的烃基、碳原子数为1～10的烷氧基、碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烃基(以下，有时称为“具有卤素原子等的烃基”)、或者碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烷氧基(以下，有时称为“具有卤素原子等的烷氧基”)。
[0032]
需要说明的是，在本说明书中，只要没有特别说明，则官能团中的“碳原子数”是指
官能团的总碳原子数。另外，在本说明书中，例如，“碳原子数为1～10的烃基”是指碳原子数为1、2、3、
···
或10的烃基的总称，只要没有特别说明，则这在规定碳原子数的其他官能团中也具有相同的含义。
[0033]
作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的烃基，例如可举出碳原子数1～10的烷基等。此外，作为碳原子数1～10的烷基，没有特别限定，例如可举出包含甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基和癸基的链状烷基、环戊基和环己基等环状烷基等。作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的烃基，更优选碳原子数1、2和3的烃基。
[0034]
作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的烷氧基，没有特别限定，例如可举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基和己氧基等链状烷氧基、环戊氧基和环己氧基等环状烷氧基、苯氧基、3-甲基苯氧基、4-甲基苯氧基、3,5-二甲基苯氧基等。作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的烷氧基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的烷氧基，更优选碳原子数1、2和3的烷氧基。
[0035]
上述x1和x2中的碳原子数为1～10的具有卤素原子的烃基是指该烃基中的氢的一部分或全部被卤素原子取代的官能团。上述卤素原子表示氟、氯、溴和碘的原子。作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的具有卤素原子的烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有卤素原子的烃基，更优选碳原子数1、2和3的具有卤素原子的烃基。
[0036]
上述x1和x2中的碳原子数为1～10的具有杂原子的烃基是指该烃基中的氢和碳的一部分或全部被杂原子取代的官能团。上述杂原子表示氧、氮和硫等原子。作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的具有杂原子的烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有杂原子的烃基，更优选碳原子数1、2和3的具有杂原子的烃基。
[0037]
作为上述x1和x2中的具有卤素原子或杂原子的烃基的具体例，例如可举出碘甲基、溴甲基、氯甲基、氟甲基、二碘甲基、二溴甲基、二氯甲基、二氟甲基、三碘甲基、三溴甲基、三氯甲基、三氟甲基、2-碘乙基、2-溴乙基、2-氯乙基、2-氟乙基、1,2-二碘乙基、1,2-二溴乙基、1,2-二氯乙基、1,2-二氟乙基、2,2-二碘乙基、2,2-二溴乙基、2,2-二氯乙基、2,2-二氟乙基、2,2,2-三溴乙基、2,2,2-三氯乙基、2,2,2-三氟乙基和六氟-2-丙基等链状含卤代烷基、2-碘环己基、2-溴环己基、2-氯环己基和2-氟环己基等环状含卤代烷基、2-碘苯基、2-溴苯基、2-氯苯基、2-氟苯基、3-碘苯基、3-溴苯基、3-氯苯基、3-氟苯基、4-碘苯基、4-溴苯基、4-氯苯基、4-氟苯基、2,6-二碘苯基、2,6-二溴苯基、2,6-二氯苯基、2,6-二氟苯基、3,5-二碘苯基、3,5-二溴苯基、3,5-二氯苯基、3,5-二氟苯基、五碘苯基、五溴苯基、五氯苯基和五氟苯基等含卤代芳基、2-硝基苯基、4-硝基苯基、2,4-二硝基苯基、2,6-二硝基苯基和3-氨基-2-萘基等含杂芳基等。
[0038]
上述x1和x2中的碳原子数为1～10的范围且具有不饱和键的烃基是指例如碳原子数为1～10的范围且在碳-碳间具有双键、三键的烃基。此外，作为该具有不饱和键的烃基，优选不饱和键数为1、2、3、4和5的烃基，更优选不饱和键数为1、2和3的烃基。
[0039]
作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的范围且具有不饱和键的烃基的具体例，例如可举出乙烯基、1-丙烯基、2-丙烯基、异丙烯基、2-甲基-2-丙烯基、2-丁烯基、3-丁烯基、3-甲基-2-丁烯基、1-戊烯基、2-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、戊-1,4-二烯基、戊-2,4-二烯基、1-己烯基、2-己烯基、3-己烯基、4-己烯基、5-己烯基、己-1,3-二烯基、己-1,5-二烯基、
己-2,4-二烯基、己-2,5-二烯基、己-3,5-二烯基和3-甲基-己-2,4-二烯基等链状烯基、1-环戊烯基、2-环戊烯基、2,4-环戊二烯基、1-环己烯基、2-环己烯基和3-环己烯基等环状烯基、苯基、2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基、2,6-二甲基苯基、3,5-二甲基苯基、2,4,6-三甲基苯基、1-萘基和2-萘基等芳基、乙炔基、2-丙炔基、丁炔基、2-丁炔基、3-丁炔基、戊炔基、2-戊炔基、3-戊炔基和4-戊炔基等链状炔基等。
[0040]
上述x1和x2中的碳原子数为1～10的具有卤素原子的烷氧基是指该烷氧基中的氢的一部分或全部被卤素原子取代的官能团。在此，卤素原子与上述的情况同样地是指氟、氯、溴和碘的原子。作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的具有卤素原子的烷氧基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有卤素原子的烷氧基，更优选碳原子数1、2和3的具有卤素原子的烷氧基。
[0041]
另外，上述x1和x2中的碳原子数为1～10的具有杂原子的烷氧基是指该烷氧基中的氢和碳的一部分或全部被杂原子取代的官能团。在此，杂原子与上述的情况同样地是指氧、氮和硫等原子。作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的具有杂原子的烷氧基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有杂原子的烷氧基，更优选碳原子数1、2和3的具有杂原子的烷氧基。
[0042]
作为上述x1和x2中的具有卤素原子或杂原子的烷氧基的具体例，例如可举出碘甲氧基、溴甲氧基、氯甲氧基、氟甲氧基、二碘甲氧基、二溴甲氧基、二氯甲氧基、二氟甲氧基、三碘甲氧基、三溴甲氧基、三氯甲氧基、三氟甲氧基、2-碘乙氧基、2-溴乙氧基、2-氯乙氧基、2-氟乙氧基、1,2-二碘乙氧基、1,2-二溴乙氧基、1,2-二氯乙氧基、1,2-二氟乙氧基、2,2-二碘乙氧基、2,2-二溴乙氧基、2,2-二氯乙氧基、2,2-二氟乙氧基、2,2,2-三溴乙氧基、2,2,2-三氯乙氧基、2,2,2-三氟乙氧基和六氟-2-丙氧基等链状含卤代烷氧基、2-碘环己氧基、2-溴环己氧基、2-氯环己氧基和2-氟环己氧基等环状含卤代烷氧基、2-碘苯氧基、2-溴苯氧基、2-氯苯氧基、2-氟苯氧基、3-碘苯氧基、3-溴苯氧基、3-氯苯氧基、3-氟苯氧基、4-碘苯氧基、4-溴苯氧基、4-氯苯氧基、4-氟苯氧基、2,6-二碘苯氧基、2,6-二溴苯氧基、2,6-二氯苯氧基、2,6-二氟苯氧基、3,5-二碘苯氧基、3,5-二溴苯氧基、3,5-二氯苯氧基、3,5-二氟苯氧基、五碘苯氧基、五溴苯氧基、五氯苯氧基和五氟苯氧基等含卤代芳基、2-硝基苯氧基、4-硝基苯氧基、2,4-二硝基苯氧基、2,6-二硝基苯氧基和3-氨基-2-萘氧基等含杂芳基等。
[0043]
上述x1和x2中的碳原子数为1～10的范围且具有不饱和键的烷氧基是指例如在碳-碳间具有双键、三键的烷氧基。此外，作为该具有不饱和键的烷氧基，优选不饱和键数为1、2、3、4和5的烷氧基，更优选不饱和键数为1、2和3的烷氧基。
[0044]
作为上述x1和x2中的碳原子数为1～10的具有不饱和键的烷氧基的具体例，例如可举出乙烯基氧基、1-丙烯基氧基、2-丙烯基氧基、异丙烯基氧基、2-甲基-2-丙烯基氧基、2-丁烯基氧基、3-丁烯基氧基、3-甲基-2-丁烯基氧基、1-戊烯基氧基、2-戊烯基氧基、3-戊烯基氧基、4-戊烯基氧基、戊-1,4-二烯基氧基、戊-2,4-二烯基氧基、1-己烯基氧基、2-己烯基氧基、3-己烯基氧基、4-己烯基氧基、5-己烯基氧基、己-1,3-二烯基氧基、己-1,5-二烯基氧基、己-2,4-二烯基氧基、己-2,5-二烯基氧基、己-3,5-二烯基氧基和3-甲基-己-2,4-二烯基氧基等链状烯基氧基、1-环戊烯基氧基、2-环戊烯基氧基、2,4-环戊二烯基氧基、1-环己烯基氧基、2-环己烯基氧基、3-环己烯基氧基等环状烯基氧基、苯氧基、2-甲基苯氧基、3-甲基苯氧基、4-甲基苯氧基、2,6-二甲基苯氧基、3,5-二甲基苯氧基、2,4,6-三甲基苯氧基、1-萘氧基和2-萘氧基等芳氧基、乙炔氧基、2-丙炔氧基、丁炔氧基、2-丁炔氧基、3-丁炔氧基、
戊炔氧基、2-戊炔氧基、3-戊炔氧基和4-戊炔氧基等链状炔氧基等。
[0045]
上述x1和x2可以为相同种类，也可以彼此不同。另外，作为上述x1和x2，上述列举的官能团只不过是单纯的例示，本实施方式并不限定于这些。
[0046]
上述化学式(a)中的x3～x5各自独立地表示氢原子、卤素原子、碳原子数为1～10的烃基、碳原子数为1～10的烷氧基、具有卤素原子等的烃基、或具有卤素原子等的烷氧基。此外，上述x3～x5中的至少一者为上述碳原子数1～10的烃基或上述碳原子数1～10的烷氧基中的任一者。
[0047]
上述碳原子数为1～10的烃基、碳原子数为1～10的烷氧基、具有卤素原子等的烃基、和具有卤素原子等的烷氧基与上述x1和x2中叙述的相同。因此，省略其详细内容。
[0048]
上述x3～x5可以为相同种类，也可以相互不同。另外，作为上述x3～x5，上述列举的官能团只不过是单纯的例示，本实施方式并不限定于这些。
[0049]
作为上述化学式(a)所示的磷酸酯的具体例，例如可举出磷酸三甲酯、磷酸三乙酯、磷酸三丙酯、磷酸三丁酯、磷酸三戊酯、磷酸三己酯、2-乙基己基二苯基磷酸酯、磷酸三烯丙酯、磷酸三炔丙酯、磷酸三(2-丁氧基乙基)酯、磷酸三(2-氯乙基)酯、乙基双(2,2,2-三氟乙基)磷酸酯、2,2,2-三氟乙基磷酸二乙酯、磷酸三(2,2,2-三氟乙基)酯、磷酸三(1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙基)酯、氟磷酸二甲酯、氟磷酸二乙酯、氟磷酸二丙酯、氟磷酸二丁酯、氟磷酸二戊酯、氟磷酸二己酯、氟磷酸2-乙基己基苯酯、氟磷酸二烯丙酯、氟磷酸二炔丙酯、双(2-丁氧基乙基)氟磷酸酯、双(2-氯乙基)氟磷酸酯、双(2,2,2-三氟乙基)氟磷酸酯、双(1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙基)氟磷酸酯、二氟磷酸甲酯、二氟磷酸乙酯、二氟磷酸丙酯、二氟磷酸烯丙酯、二氟磷酸炔丙酯、二氟磷酸2-丁氧基乙酯、二氟磷酸2-氯乙酯、二氟磷酸2,2,2-三氟乙酯、1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙基二氟磷酸酯、磷酸二甲基三甲基甲硅烷基酯、磷酸二乙基三甲基甲硅烷基酯、三甲基甲硅烷基二丙基磷酸酯、二丁基三甲基甲硅烷基磷酸酯、三甲基甲硅烷基二戊基磷酸酯、二己基三甲基甲硅烷基磷酸酯、三甲基甲硅烷基二苯基磷酸酯、二烯丙基三甲基甲硅烷基磷酸酯、三甲基甲硅烷基二炔丙基磷酸酯、双(2-丁氧基乙基)三甲基甲硅烷基磷酸酯、双(2-氯乙基)三甲基甲硅烷基磷酸酯、双(2,2,2-三氟乙基)三甲基甲硅烷基磷酸酯、双(1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙基)三甲基甲硅烷基磷酸酯、甲基三甲基甲硅烷基氟磷酸酯、乙基三甲基甲硅烷基氟磷酸酯、三甲基甲硅烷基(丙基)氟磷酸酯、丁基三甲基甲硅烷基氟磷酸酯、三甲基甲硅烷基(戊基)氟磷酸酯、己基三甲基甲硅烷基氟磷酸酯、三甲基甲硅烷基(苯基)氟磷酸酯、烯丙基三甲基甲硅烷基氟磷酸酯、三甲基甲硅烷基(炔丙基)氟磷酸酯、2-丁氧基乙基三甲基甲硅烷基氟磷酸酯、2-氯乙基三甲基甲硅烷基氟磷酸酯、2,2,2-三氟乙基三甲基甲硅烷基氟磷酸酯、1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙基三甲基甲硅烷基氟磷酸酯、三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯、二甲基乙烯基甲硅烷基二氟磷酸酯、二甲基苯基甲硅烷基二氟磷酸酯、三乙基甲硅烷基二氟磷酸酯、环己基二甲基甲硅烷基二氟磷酸酯、三异丙基甲硅烷基二氟磷酸酯、甲基二苯基甲硅烷基二氟磷酸酯等。但是，由上述化学式(a)表示的磷酸酯不限于这些化合物组。
[0050]
《原料盐》上述原料盐由以下的化学式(b)表示。
[0051]
[化学式9]mx
6n
ꢀꢀꢀ
(b)
[0052]
上述化学式(b)中，上述m表示碱金属、碱土金属、铝、过渡金属、或鎓。
[0053]
作为上述碱金属，没有特别限定，可举出li、na、k、rb、cs。这些碱金属中，从获得容易性的观点出发，优选li、na和k，从磷酸盐化合物的通用性的观点出发，更优选li和na。
[0054]
作为上述碱土金属，没有特别限定，可举出be、mg、ca、sr、ba。这些碱土金属中，从获得容易性和安全性的观点出发，优选mg、ca和ba，从磷酸盐化合物的通用性的观点出发，更优选mg。
[0055]
作为上述过渡金属，没有特别限定，可举出sc、ti、v、cr、mn、fe、co、ni、cu、zn。这些过渡金属中，从获得容易性的观点出发，优选ti、mn、fe、co、ni和cu。
[0056]
作为上述鎓，没有特别限定，可举出伯铵、仲铵、叔铵、季铵、季鏻、锍等。
[0057]
作为上述伯铵，没有特别限定，例如可举出甲基铵、乙基铵、丙基铵、异丙基铵等。这些可以单独使用一种，或者并用两种以上。
[0058]
作为上述仲铵，没有特别限定，例如可举出二甲基铵、二乙基铵、二丙基铵、二丁基铵、乙基甲基铵、甲基丙基铵、丁基甲基铵、丁基丙基铵、二异丙基铵等。
[0059]
作为上述叔铵，没有特别限定，例如可举出三甲基铵、三乙基铵、三丙基铵、三丁基铵、乙基二甲基铵、二乙基甲基铵、三异丙基铵、二甲基异丙基铵、二乙基异丙基铵、二甲基丙基铵、丁基二甲基铵、1-甲基吡咯烷鎓、1-乙基吡咯烷鎓、1-丙基吡咯烷鎓、1-丁基丙基吡咯烷鎓、1-甲基咪唑鎓、1-乙基咪唑鎓、1-丙基咪唑鎓、1-丁基咪唑鎓、吡唑鎓、1-甲基吡唑鎓、1-乙基吡唑鎓、1-丙基吡唑鎓、1-丁基吡唑鎓、吡啶鎓等。
[0060]
作为上述季铵，没有特别限定，例如可举出脂肪族季铵类、咪唑鎓类、吡啶鎓类、吡唑鎓类、哒嗪鎓(日文原文：
ピリダジニウム
)类等。
[0061]
此外，作为上述脂肪族季铵类，没有特别限定，例如可举出四乙基铵、四丙基铵、四异丙基铵、乙基三甲基铵、二乙基二甲基铵、三乙基甲基铵、三甲基丙基铵、三甲基异丙基铵、四丁基铵、丁基三甲基铵、三甲基戊基铵、己基三甲基铵、1-甲基-1-丙基吡咯烷鎓、1-乙基-1-甲基-吡咯烷鎓、1-丁基-1-甲基吡咯烷鎓、1-乙基-1-甲基-哌啶鎓、1-丁基-1-甲基哌啶鎓等。
[0062]
作为上述咪唑鎓类，没有特别限定，例如可举出1,3-二甲基-咪唑鎓、1-乙基-3-甲基咪唑鎓、1-正丙基-3-甲基咪唑鎓、1-正丁基-3-甲基咪唑鎓、1-正己基-3-甲基咪唑鎓等。
[0063]
作为上述吡啶鎓类，没有特别限定，例如可举出1-甲基吡啶鎓、1-乙基吡啶鎓、1-正丙基吡啶鎓等。
[0064]
作为上述吡唑鎓类，没有特别限定，例如可举出1,2-二甲基吡唑鎓、2-乙基-1-甲基吡唑鎓、2-甲基-1-丙基吡唑鎓、2-丁基-1-甲基吡唑鎓、1-甲基吡唑鎓、3-甲基吡唑鎓、4-甲基吡唑鎓、4-碘吡唑鎓、4-溴吡唑鎓、4-碘-3-甲基吡唑鎓、4-溴-3-甲基吡唑鎓、3-三氟甲基吡唑鎓。
[0065]
作为上述哒嗪鎓类，没有特别限定，例如可举出1-甲基哒嗪鎓、1-乙基哒嗪鎓、1-丙基哒嗪鎓、1-丁基哒嗪鎓、3-甲基哒嗪鎓、4-甲基哒嗪鎓、3-甲氧基哒嗪鎓、3,6-二氯哒嗪鎓、3,6-二氯-4-甲基哒嗪鎓、3-氯-6-甲基哒嗪鎓、3-氯-6-甲氧基哒嗪鎓。
[0066]
例示的鎓中，从获得容易性和通用性的观点出发，优选四乙基铵、三乙基甲基铵、1-甲基-1-丙基吡咯烷鎓和1-乙基-3-甲基咪唑鎓等。
[0067]
作为上述x6中的卤素原子，可举出氟、氯、溴和碘的原子。这些卤素原子中，从脱离
能力的高度、副产物的再利用的观点出发，优选氯原子、溴原子和碘原子。
[0068]
作为上述x6中的碳原子数1～10的烷氧基，没有特别限定，例如可举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基和己氧基等链状烷氧基、环戊氧基和环己氧基等环状烷氧基、苯氧基、3-甲基苯氧基、4-甲基苯氧基、3,5-二甲基苯氧基等。作为上述x6中的碳原子数1～10的烷氧基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的烷氧基，更优选碳原子数1、2和3的烷氧基。
[0069]
作为上述x6中的卤代酰氧基，没有特别限定，优选为碳原子数为1～7个中的任一个且1个或1个以上的氢原子被卤素原子取代的官能团。具体而言，例如可举出碘乙酰基、溴乙酰基、氯乙酰基、氟乙酰基、二碘乙酰基、二溴乙酰基、二氯乙酰基、二氟乙酰基、三碘乙酰基、三溴乙酰基、三氯乙酰基、三氟乙酰基、3,3,3-三碘丙酰基、3,3,3-三溴丙酰基、3,3,3-三氯丙酰基、3,3,3-三氟丙酰基、五碘丙酰基、五溴丙酰基、五氯丙酰基、五氟丙酰基、4,4,4-三碘丁酰基、4,4,4-三溴丁酰基、4,4,4-三氯丁酰基、4,4,4-三氟丁酰基、3,3,4,4,4-五碘丁酰基、3,3,4,4,4-五溴丁酰基、3,3,4,4,4-五氯丁酰基、3,3,4,4,4-五氟丁酰基、七碘丁酰基、七溴丁酰基、七氯丁酰基、七氟丁酰基、五碘苯甲酰基、五溴苯甲酰基、五氯苯甲酰基和五氟苯甲酰基等。上述卤素原子表示氟、氯、溴和碘。
[0070]
上述x6中的磺酰氧基由-so3y基表示。在此，上述y表示卤素原子、碳原子数1～10的烃基、或者碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烃基。
[0071]
作为上述y中的卤素原子，可举出氟、氯、溴和碘的原子。
[0072]
作为上述y中的碳原子数1～10的烃基，没有特别限定，例如可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基和辛基等链状烷基、环戊基和环己基等环状烷基等。作为上述y中的碳原子数1～10的烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的烃基，更优选碳原子数1、2和3的烃基。
[0073]
上述y中的碳原子数为1～10的具有卤素原子的烃基是指该烃基中的氢的一部分或全部被卤素原子取代的官能团。上述卤素原子表示氟、氯、溴和碘的原子。作为上述y中的碳原子数为1～10的具有卤素原子的烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有卤素原子的烃基，更优选碳原子数1、2和3的具有卤素原子的烃基。
[0074]
上述y中的碳原子数为1～10的具有杂原子的烃基是指该烃基中的氢和碳的一部分或全部被杂原子取代的官能团。上述杂原子表示氧、氮和硫等原子。作为上述y中的碳原子数为1～10的具有杂原子的烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有杂原子的烃基，更优选碳原子数1、2和3的具有杂原子的烃基。
[0075]
作为上述y中的碳原子数为1～10的范围且具有卤素原子或杂原子的烃基的具体例，例如可举出碘甲基、溴甲基、氯甲基、氟甲基、二碘甲基、二溴甲基、二氯甲基、二氟甲基、三碘甲基、三溴甲基、三氯甲基、三氟甲基、2-碘乙基、2-溴乙基、2-氯乙基、2-氟乙基、1,2-二碘乙基、1,2-二溴乙基、1,2-二氯乙基、1,2-二氟乙基、2,2-二碘乙基、2,2-二溴乙基、2,2-二氯乙基、2,2-二氟乙基、2,2,2-三溴乙基、2,2,2-三氯乙基、2,2,2-三氟乙基和六氟-2-丙基等链状含卤代烷基、2-碘环己基、2-溴环己基、2-氯环己基和2-氟环己基等环状含卤代烷基、2-碘苯基、2-溴苯基、2-氯苯基、2-氟苯基、3-碘苯基、3-溴苯基、3-氯苯基、3-氟苯基、4-碘苯基、4-溴苯基、4-氯苯基、4-氟苯基、2,6-二碘苯基、2,6-二溴苯基、2,6-二氯苯基、2,6-二氟苯基、3,5-二碘苯基、3,5-二溴苯基、3,5-二氯苯基、3,5-二氟苯基、五碘苯基、五溴
苯基、五氯苯基和五氟苯基等含卤代芳基、2-硝基苯基、4-硝基苯基、2,4-二硝基苯基、2,6-二硝基苯基和3-氨基-2-萘基等含杂芳基等。
[0076]
上述y中的碳原子数为1～10的范围且具有不饱和键的烃基是指例如碳原子数为1～10的范围且在碳-碳间具有双键、三键的烃基。此外，作为该具有不饱和键的烃基，优选不饱和键数为1、2、3、4和5的烃基，更优选不饱和键数为1、2和3的烃基。
[0077]
作为上述y中的碳原子数为1～10的范围且具有不饱和键的烃基的具体例，例如可举出乙烯基、1-丙烯基、2-丙烯基、异丙烯基、2-甲基-2-丙烯基、2-丁烯基、3-丁烯基、3-甲基-2-丁烯基、1-戊烯基、2-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、戊-1,4-二烯基、戊-2,4-二烯基、1-己烯基、2-己烯基、3-己烯基、4-己烯基、5-己烯基、己-1,3-二烯基、己-1,5-二烯基、己-2,4-二烯基、己-2,5-二烯基、己-3,5-二烯基和3-甲基-己-2,4-二烯基等链状烯基、1-环戊烯基、2-环戊烯基、2,4-环戊二烯基、1-环己烯基、2-环己烯基和3-环己烯基等环状烯基、苯基、2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基、2,6-二甲基苯基、3,5-二甲基苯基、2,4,6-三甲基苯基、1-萘基和2-萘基等芳基、乙炔基、2-丙炔基、丁炔基、2-丁炔基、3-丁炔基、戊炔基、2-戊炔基、3-戊炔基和4-戊炔基等链状炔基等。
[0078]
作为上述化学式(b)所示的原料盐的具体例，例如可举出氟化锂、氯化锂、溴化锂、碘化锂、氟化钠、氯化钠、溴化钠、碘化钠、氟化钾、氯化钾、溴化钾、碘化钾、氟化铯、氯化铯、溴化铯、碘化铯、氟化镁、氯化镁、溴化镁、碘化镁、氟化钙、氯化钙、溴化钙、碘化钙、氟化铝、氯化铝、溴化铝、碘化铝、氯化锰(ii)、溴化锰(ii)、碘化锰(ii)、氯化镍(ii)、溴化镍(ii)、碘化镍(ii)、氯化钴(ii)、溴化钴(ii)、碘化钴(ii)、氯化铜(ii)、溴化铜(ii)、碘化铜(ii)、四乙基氟化铵、四乙基氯化铵、四乙基溴化铵、四乙基碘化铵、三乙基甲基氟化铵、三乙基甲基氯化铵、三乙基甲基溴化铵、三乙基甲基碘化铵、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓氟化物、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓氯化物、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓溴化物、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓碘化物、1-乙基-3-甲基咪唑鎓氟化物、1-乙基-3-甲基咪唑鎓氯化物、1-乙基-3-甲基咪唑鎓溴化物、1-乙基-3-甲基咪唑鎓碘化物等。其中，上述化学式(b)所示的原料盐不限于这些化合物组。
[0079]
上述n为价数，表示1～4的自然数。
[0080]
《磷酸盐化合物》上述磷酸盐化合物由以下的化学式(c)表示。
[0081]
[化学式10]
[0082]
上述化学式(c)中，上述m表示与上述化学式(a)相同的阳离子种。另外，上述x1和x2表示与上述化学式(a)相同的官能团。因此，省略它们的详细说明。
[0083]
作为上述化学式(c)所示的磷酸盐化合物的具体例，例如可举出二乙基磷酸锂、二乙基磷酸钠、二乙基磷酸钾、二乙基磷酸镁、二乙基磷酸钙、二乙基磷酸铝、二乙基磷酸锰(ii)、二乙基磷酸镍(ii)、二乙基磷酸钴(ii)、二乙基磷酸铜(ii)、二乙基磷酸四乙基铵、二
乙基磷酸三乙基甲基铵、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓二乙基磷酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑鎓二乙基磷酸盐、二丙基磷酸锂、二丙基磷酸钠、二丙基磷酸钾、二丙基磷酸镁、二丙基磷酸钙、二丙基磷酸铝、二丙基磷酸锰(ii)、二丙基磷酸镍(ii)、二丙基磷酸钴(ii)、二丙基磷酸铜(ii)、二丙基磷酸四乙基铵、二丙基磷酸三乙基甲基铵、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓二丙基磷酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑鎓二丙基磷酸盐、二丁基磷酸锂、二丁基磷酸钠、二丁基磷酸钾、二丁基磷酸镁、二丁基磷酸钙、二丁基磷酸铝、二丁基磷酸锰(ii)、二丁基磷酸镍(ii)、二丁基磷酸钴(ii)、二丁基磷酸铜(ii)、二丁基磷酸四乙基铵、二丁基磷酸三乙基甲基铵、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓二丁基磷酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑鎓二丁基磷酸盐、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸锂、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸钠、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸钾、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸镁、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸钙、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸铝、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸锰(ii)、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸镍(ii)、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸钴(ii)、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸铜(ii)、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸四乙基铵、双(2,2,2-三氟乙基)磷酸三乙基甲基铵、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓双(2,2,2-三氟乙基)磷酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑鎓双(2,2,2-三氟乙基)磷酸盐、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸锂、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸钠、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸钾、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸镁、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸钙、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸铝、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸锰(ii)、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸镍(ii)、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸钴(ii)、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸铜(ii)、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸四乙基铵、乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸三乙基甲基铵、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑鎓乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸盐、2,2,2-三氟乙基氟磷酸锂、2,2,2-三氟乙基氟磷酸钠、2,2,2-三氟乙基氟磷酸钾、2,2,2-三氟乙基氟磷酸镁、2,2,2-三氟乙基氟磷酸钙、2,2,2-三氟乙基氟磷酸铝、2,2,2-三氟乙基氟磷酸锰(ii)、2,2,2-三氟乙基氟磷酸镍(ii)、2,2,2-三氟乙基氟磷酸钴(ii)、2,2,2-三氟乙基氟磷酸铜(ii)、四乙基铵2,2,2-三氟乙基氟磷酸盐、三乙基甲基铵2,2,2-三氟乙基氟磷酸盐、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓2,2,2-三氟乙基氟磷酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑鎓2,2,2-三氟乙基氟磷酸盐、二氟磷酸锂、二氟磷酸钠、二氟磷酸钾、二氟磷酸铯、二氟磷酸镁、二氟磷酸钙、二氟磷酸铝、二氟磷酸锰(ii)、二氟磷酸镍(ii)、二氟磷酸钴(ii)、二氟磷酸铜(ii)、二氟磷酸四乙基铵、二氟磷酸三乙基甲基铵、1-丙基-1-甲基吡咯烷鎓二氟磷酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑鎓二氟磷酸盐等。其中，由上述化学式(c)表示的磷酸盐化合物不限于这些化合物组。
[0084]
《工序(i)的反应条件》上述工序(i)的反应摩尔比没有特别限定，根据反应种适当设定即可。在磷酸酯与原料盐的反应摩尔比中，通常磷酸酯的下限值相对于原料盐1摩尔为1摩尔以上。另外，磷酸酯的上限值通常为2.5摩尔以下，从工业生产的观点出发，优选1.5摩尔以下。
[0085]
上述工序(i)的反应开始温度只要该反应推进就没有特别限定，根据反应种适当设定即可。反应开始温度的下限值通常为0℃以上，从反应性的观点出发，优选为20℃以上，更优选为60℃以上。另外，反应开始温度的上限值通常为150℃以下，从反应性的观点出发，优选为120℃以下，更优选为100℃以下。需要说明的是，通过使反应开始温度的下限值为0℃以上，能够防止反应速度显著衰减。另一方面，通过使反应开始温度的上限值为150℃以下，能够抑制反应中使用的过剩的能量。
[0086]
作为反应开始温度的调整方法，没有特别限定。例如，在将反应开始温度冷却并控制为上述温度范围内的情况下，可以通过冰冷等来进行投入有磷酸酯和原料盐的反应容器。另外，在将反应开始温度加热并控制为上述温度范围内的情况下，可以通过设定为任意温度的油浴等来进行。
[0087]
上述工序(i)的反应时间没有特别限定，根据反应种适当设定即可。反应时间的下限值通常1小时以上。另外，反应时间的上限值通常为10小时以下，从工业生产的观点出发，优选为6小时以下，更优选为4小时以下。
[0088]
上述工序(i)的反应可以在无溶剂下或非水溶剂中进行。在无溶剂下进行工序(i)的反应的情况下，磷酸酯也发挥作为反应溶剂的功能。
[0089]
作为上述非水溶剂，只要不产生与其他反应物、产物反应那样的障碍，就没有特别限定，优选使用非质子性有机溶剂。
[0090]
作为上述非质子性有机溶剂，没有特别限定，例如可举出醇类、腈类、酯类、酮类、醚类、卤代烃类等。这些可以单独使用一种，或者并用两种以上。
[0091]
作为上述醇类，没有特别限定，例如可举出甲醇、乙醇、丙醇、2-丙醇、丁醇、戊醇、己醇、庚醇、辛醇、2-碘乙醇、2-溴乙醇、2-氯乙醇、2-氟乙醇、1,2-二碘乙醇、1,2-二溴乙醇、1,2-二氯乙醇、1,2-二氟乙醇、2,2-二碘乙醇、2,2-二溴乙醇、2,2-二氯乙醇、2,2-二氟乙醇、2,2,2-三溴乙醇、2,2,2-三氯乙醇、2,2,2-三氟乙醇、六氟-2-丙醇等。这些可以单独使用一种或使用两种以上。
[0092]
作为上述腈类，没有特别限定，例如可举出乙腈、丙腈等。这些可以单独使用一种，或者并用两种以上。
[0093]
作为上述酯类，没有特别限定，例如可举出碳酸二甲酯、碳酸二乙酯、碳酸甲乙酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯等。这些可以单独使用一种，或者并用两种以上。
[0094]
作为上述酮类，没有特别限定，例如可举出丙酮、甲基乙基酮、异丁基甲基酮、环己酮等。这些可以单独使用一种，或者并用两种以上。
[0095]
作为上述醚类，没有特别限定，例如可举出二乙醚、四氢呋喃、二噁烷、二甲氧基乙烷等。这些可以单独使用一种，或者并用两种以上。
[0096]
作为上述卤代烃，没有特别限定，例如可举出二氯甲烷、氯仿、1,1,2,2-四氯乙烷、氯苯等。这些可以单独使用一种，或者并用两种以上。
[0097]
另外，作为非水溶剂的其他例，还可举出甲苯、n,n-二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、硝基甲烷、硝基乙烷等。
[0098]
以上例示的非水溶剂中，在本发明中，从反应底物的溶解性和获得容易性的观点出发，优选腈类、酯类、酮类、醚类和卤代烃类。
[0099]
关于上述非水溶剂的使用量，其下限值相对于上述磷酸酯1摩尔优选为1摩尔以上，更优选为10摩尔以上。上述非水溶剂的使用量的上限值相对于上述磷酸酯1摩尔优选为10000摩尔以下，更优选为1000摩尔以下，进一步优选为100摩尔以下。通过使非水溶剂的使用量的下限值为1摩尔以上，能够防止磷酸酯与原料盐的反应性降低，抑制磷酸盐化合物的收率、其纯度的降低。另一方面，通过使上述非水溶剂的使用量的上限值为10000摩尔以下，能够抑制将其馏去时的能量，防止在工业生产中变得不利。
[0100]
对于上述工序(i)中得到的磷酸盐化合物，可以根据其纯度进行离析
·
纯化。其方法没有特别限定，可以采用公知的方法。具体而言，可举出常压蒸馏、减压蒸馏、过滤、滤取、重结晶、升华纯化、硅胶柱色谱、制备薄层色谱(ptlc)、高速液相色谱(hplc)、离子色谱(ic)等方法。
[0101]
(磷酸酯的制造方法)在上述z为硅原子的情况下，上述磷酸酯可以通过利用酸酐等作为原料的公知的制造方法而得到。其中，在本实施方式中，如以下所示的化学反应式所示，优选包括使化学式(d)所示的磷酸化合物与化学式(e)所示的硅化合物反应，生成化学式(f)所示的磷酸甲硅烷基酯的工序(ii)。由此，能够有效地得到磷酸酯。
[0102]
[化学式11]
[0103]
如果为工序(ii)的反应，则作为上述化学式(e)所示的硅化合物，在工序(i)中副生成的硅化合物能够再利用。由此，生产效率极高，且能够降低制造成本而制造磷酸盐化合物。
[0104]
《磷酸化合物》上述磷酸化合物由以下的化学式(d)表示。
[0105]
[化学式12]
[0106]
在上述化学式(d)中，上述x1和x2表示与上述化学式(a)相同的官能团。因此，省略它们的详细说明。
[0107]
上述化学式(d)中，上述m’表示氢原子、碱金属、碱土金属、碳原子数为1～10的伯烃基、碳原子数为1～10的仲烃基、碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的伯烃基(以下称为“具有卤素原子等伯烃基”)、或者碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的仲烃基(以下称为“具有卤素原子等的仲烃基”)。
[0108]
作为上述m’中的碱金属，可举出li、na、k、rb、cs。这些碱金属中，从获得容易性的方面出发，优选li、na和k。
[0109]
作为上述m’中的碱土金属，没有特别限定，可举出be、mg、ca、sr、ba。这些碱土金属中，从获得容易性和安全性的观点出发，优选mg、ca和ba。
[0110]
作为上述m’中的碳原子数1～10的伯烃基，没有特别限定，例如可举出伯烷基等。另外，作为上述碳原子数1～10的仲烃基，没有特别限定，例如可举出仲烷基等。作为碳原子
数1～10的伯烷基和碳原子数1～10的仲烷基，没有特别限定，例如可举出甲基、乙基、丙基、丁基、异丙基、正丁基、戊基、己基、庚基和辛基等链状烷基、环戊基和环己基等环状烷基等。作为上述m’中的碳原子数1～10的伯烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的伯烃基，更优选碳原子数1、2和3的伯烃基。另外，作为上述m’中的碳原子数1～10的仲烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的仲烃基，更优选碳原子数1、2和3的仲烃基。
[0111]
作为上述m’中的碳原子数为1～10的范围且具有卤素原子等的伯烃基、和碳原子数为1～10的范围且具有卤素原子等的仲烃基，没有特别限定，例如可举出2-碘乙基、2-溴乙基、2-氯乙基、2-氟乙基、1,2-二碘乙基、1,2-二溴乙基、1,2-二氯乙基、1,2-二氟乙基、2,2-二碘乙基、2,2-二溴乙基、2,2-二氯乙基、2,2-二氟乙基、2,2,2-三溴乙基、2,2,2-三氯乙基、2,2,2-三氟乙基和六氟-2-丙基等链状含卤代烷基、2-碘环己基、2-溴环己基、2-氯环己基、2-氟环己基等环状含卤代烷基、2-丙烯基、2-丁烯基、3-丁烯基等链状烯基、2-环戊烯基、2-环己烯基、3-环己烯基等环状烯基、2-丙炔基、2-丁炔基、3-丁炔基、2-戊炔基、3-戊炔基、4-戊炔基等链状炔基等。作为上述m’中的碳原子数为1～10的范围的卤素原子等具有伯烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有卤素原子等的伯烃基，更优选碳原子数1、2和3的具有卤素原子等的伯烃基。另外，作为上述m’中的碳原子数为1～10的范围的具有卤素原子等的仲烃基，优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有卤素原子等的仲烃基，更优选碳原子数1、2和3的具有卤素原子等的仲烃基。
[0112]
上述m’中的不饱和键是指例如碳-碳间的双键或三键。
[0113]
更具体而言，上述化学式(d)所示的磷酸化合物优选为上述x1和x2各自独立地为碳原子数1～10的烷氧基、且上述m’为氢原子时的磷酸二酯、上述x1和x2中的任一者为氟原子且另一者为碳原子数1～10的烷氧基、上述m’为氢原子时的氟磷酸酯；以及上述x1和x2为氟原子、且上述m’为氢原子时的二氟磷酸。
[0114]
作为上述化学式(d)所示的磷酸化合物的具体例，例如可举出磷酸二甲酯、磷酸二乙酯、磷酸二丙酯、磷酸二丁酯、磷酸二戊酯、磷酸二己酯、磷酸二苯酯、磷酸二烯丙酯、磷酸二炔丙酯、磷酸双(2-丁氧基乙基)酯、磷酸双(2-氯乙基)酯、磷酸双(2,2,2-三氟乙基)酯、磷酸双(1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙基)酯、氟磷酸甲酯、氟磷酸乙酯、氟磷酸丙酯、氟磷酸丁酯、氟磷酸戊酯、氟磷酸己酯、氟磷酸苯酯、氟磷酸烯丙酯、氟磷酸炔丙酯、氟磷酸2-丁氧基乙酯、氟磷酸2-氯乙酯、氟磷酸2,2,2-三氟乙酯、氟磷酸1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙酯、二氟磷酸等。其中，上述化学式(d)所示的磷酸化合物不限于这些化合物组。
[0115]
《硅化合物》上述硅化合物由以下的化学式(e)表示。
[0116]
[化学式13]
[0117]
上述化学式(e)中，上述x3～x5表示与上述化学式(a)相同的官能团。因此，省略它们的详细说明。
[0118]
上述x7为离去基团，表示卤素原子、碳原子数1～10的烷氧基、卤代酰氧基、或磺酰氧基。
[0119]
作为上述x7中的卤素原子，可举出氟、氯、溴和碘的原子。这些卤素原子中，从脱离能力的高度、副产物的再利用的观点出发，优选氯原子、溴原子和碘原子。
[0120]
作为上述x7中的碳原子数1～10的烷氧基，没有特别限定，例如可举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基和己氧基等链状烷氧基、环戊氧基和环己氧基等环状烷氧基、苯氧基、3-甲基苯氧基、4-甲基苯氧基、3,5-二甲基苯氧基等。上述x7中的碳原子数1～10的烷氧基优选碳原子数1、2、3、4、5和6的烷氧基，更优选1、2和3的烷氧基。
[0121]
作为上述x7中的卤代酰氧基，没有特别限定，优选碳原子数为1～7个中的任一个、且1个或1个以上的氢原子被卤素原子取代的官能团。具体而言，例如可举出碘乙酰基、溴乙酰基、氯乙酰基、氟乙酰基、二碘乙酰基、二溴乙酰基、二氯乙酰基、二氟乙酰基、三碘乙酰基、三溴乙酰基、三氯乙酰基、三氟乙酰基、3,3,3-三碘丙酰基、3,3,3-三溴丙酰基、3,3,3-三氯丙酰基、3,3,3-三氟丙酰基、五碘丙酰基、五溴丙酰基、五氯丙酰基、五氟丙酰基、4,4,4-三碘丁酰基、4,4,4-三溴丁酰基、4,4,4-三氯丁酰基、4,4,4-三氟丁酰基、3,3,4,4,4-五碘丁酰基、3,3,4,4,4-五溴丁酰基、3,3,4,4,4-五氯丁酰基、3,3,4,4,4-五氟丁酰基、七碘丁酰基、七溴丁酰基、七氯丁酰基、七氟丁酰基、五碘苯甲酰基、五溴苯甲酰基、五氯苯甲酰基、五氟苯甲酰基等。上述卤素原子表示氟、氯、溴和碘。
[0122]
上述x7中的磺酰氧基由-so3y基表示。在此，上述y表示卤素原子、碳原子数1～10的烃基、或者碳原子数为1～10的范围且具有选自卤素原子、杂原子或不饱和键中的至少任一者的烃基。
[0123]
作为上述y中的卤素原子，可举出氟、氯、溴和碘的原子。
[0124]
作为上述y中的碳原子数1～10的烃基，没有特别限定，例如可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基和辛基等链状烷基、环戊基和环己基等环状烷基等。上述y中的碳原子数1～10的烃基优选碳原子数1、2、3、4、5和6的烃基，更优选碳原子数1、2和3的烃基。
[0125]
上述y中的碳原子数为1～10的具有卤素原子的烃基是指该烃基中的氢的一部分或全部被卤素原子取代的官能团。上述卤素原子表示氟、氯、溴和碘的原子。上述y中的碳原子数为1～10的具有卤素原子的烃基优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有卤素原子的烃基，更优选碳原子数1、2和3的具有卤素原子的烃基。
[0126]
上述y中的碳原子数为1～10的具有杂原子的烃基是指该烃基中的氢和碳的一部分或全部被杂原子取代的官能团。上述杂原子表示氧、氮和硫等原子。上述y中的碳原子数为1～10的具有杂原子的烃基优选碳原子数1、2、3、4、5和6的具有杂原子的烃基，更优选碳原子数1、2和3的具有杂原子的烃基。
[0127]
上述y中的碳原子数为1～10的范围且具有不饱和键的烃基是指例如碳原子数为1～10的范围且在碳-碳间具有双键、三键的烃基。此外，作为该具有不饱和键的烃基，优选不饱和键数为1、2、3、4和5的烃基，更优选不饱和键数为1、2和3的烃基。
[0128]
作为上述y中的碳原子数为1～10的范围且具有卤素原子、杂原子或不饱和键的烃基的具体例，例如可举出碘甲基、溴甲基、氯甲基、氟甲基、二碘甲基、二溴甲基、二氯甲基、二氟甲基、三碘甲基、三溴甲基、三氯甲基、三氟甲基、2-碘乙基、2-溴乙基、2-氯乙基、2-氟
乙基、1,2-二碘乙基、1,2-二溴乙基、1,2-二氯乙基、1,2-二氟乙基、2,2-二碘乙基、2,2-二溴乙基、2,2-二氯乙基、2,2-二氟乙基、2,2,2-三溴乙基、2,2,2-三氯乙基、2,2,2-三氟乙基和六氟-2-丙基等链状含卤代烷基、2-碘环己基、2-溴环己基、2-氯环己基和2-氟环己基等环状含卤代烷基、乙烯基、2-丙烯基、异丙烯基、2-丁烯基和3-丁烯基等链状烯基、2-环戊烯基、2-环己烯基和3-环己烯基等环状烯基、乙炔基、2-丙炔基、1-丁炔基、2-丁炔基、3-丁炔基、1-戊炔基、2-戊炔基、3-戊炔基和4-戊炔基等链状炔基、苯基、2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基、2,6-二甲基苯基、3,5-二甲基苯基、2,4,6-三甲基苯基、2-硝基苯基、4-硝基苯基、2,4-二硝基苯基和2,6-二硝基苯基等芳基、2-碘苯基、2-溴苯基、2-氯苯基、2-氟苯基、3-碘苯基、3-溴苯基、3-氯苯基、3-氟苯基、4-碘苯基、4-溴苯基、4-氯苯基、4-氟苯基、2,6-二碘苯基、2,6-二溴苯基、2,6-二氯苯基、2,6-二氟苯基、3,5-二碘苯基、3,5-二溴苯基、3,5-二氯苯基、3,5-二氟苯基、五碘苯基、五溴苯基、五氯苯基和五氟苯基等卤代芳基、1-萘基和2-萘基等萘基等。
[0129]
更具体而言，上述化学式(e)所示的硅化合物优选为上述x3～x5各自独立地为碳原子数1～6的烃基、且上述x7为卤素原子时的三烷基甲硅烷基卤化物。
[0130]
作为上述化学式(e)所示的硅化合物的具体例，例如可举出氯二甲基硅烷、氯三甲基硅烷、氯(乙基)二甲基硅烷、氯三乙基硅烷、二异丙基氯硅烷、氯三异丙基硅烷、三丁基氯硅烷、叔丁基二甲基氯硅烷、氯二甲基异丙基硅烷、氯二甲基乙烯基硅烷、氯二乙基异丙基硅烷、氯二甲基丙基硅烷、烯丙基氯二甲基硅烷、丁基氯二甲基硅烷、氯(己基)二甲基硅烷、氯三己基硅烷、氯(环己基)二甲基硅烷、氯二甲基苯基硅烷、苄基氯二甲基硅烷、二苯基甲基氯硅烷、氯三苯基硅烷、氯(甲基)(苯基)(乙烯基)硅烷、氯(甲基)二苯基硅烷等。其中，上述化学式(e)所示的硅化合物不限于这些化合物组。
[0131]
《工序(ii)的反应条件》上述工序(ii)的反应摩尔比没有特别限定，根据反应种适当设定即可。在磷酸化合物与硅化合物的反应摩尔比中，通常，硅化合物的下限值相对于磷酸化合物1摩尔为1摩尔以上。另外，磷酸化合物的上限值为5摩尔以下，从工业生产的观点出发，优选为2.5摩尔以下，更优选为1.5摩尔以下。
[0132]
上述工序(ii)的反应开始温度只要该反应推进就没有特别限定，根据反应种适当设定即可。反应开始温度的下限值通常为0℃以上，从反应性的观点出发，优选为20℃以上，更优选为40℃以上。反应开始温度的上限值通常为150℃以下，从反应性的观点出发，优选为120℃以下，更优选为100℃以下。需要说明的是，通过使反应开始温度的下限值为0℃以上，从而能够防止反应速度显著衰减。另一方面，通过使反应开始温度的上限值为150℃以下，能够抑制反应中使用的过剩的能量。
[0133]
作为反应开始温度的调整方法，没有特别限定。例如，在将反应开始温度冷却并控制为上述温度范围内的情况下，可以通过冰冷等来进行投入有磷酸化合物和硅化合物的反应容器。另外，在将反应开始温度加热并控制为上述温度范围内的情况下，可以通过设定为任意温度的油浴等来进行。
[0134]
上述工序(ii)的反应时间没有特别限定，根据反应种适当设定即可。反应时间的下限值通常为1小时以上。另外，反应时间的上限值通常为12小时以下，从工业生产的观点出发，优选为6小时以下，更优选为3小时以下。
[0135]
上述工序(ii)的反应可以在无溶剂下或非水溶剂中进行。在无溶剂下进行工序(ii)的反应的情况下，硅化合物也发挥作为反应溶剂的功能。
[0136]
作为上述非水溶剂，可以使用与上述工序(i)中所述的非水溶剂相同的非水溶剂。因此，省略其详细内容。
[0137]
关于上述非水溶剂的使用量，其下限值相对于上述磷酸化合物1摩尔优选为1摩尔以上，更优选为10摩尔以上。上述非水溶剂的使用量的上限值相对于上述磷酸化合物1摩尔优选为10000摩尔以下，更优选为1000摩尔以下，进一步优选为100摩尔以下。通过使非水溶剂的使用量的下限值为1摩尔以上，能够防止磷酸化合物与硅化合物的反应性降低，抑制磷酸甲硅烷基酯的收率、其纯度的降低。另一方面，通过使上述非水溶剂的使用量的上限值为10000摩尔以下，能够抑制将其馏去时的能量，防止在工业生产中变得不利。
[0138]
对于上述工序(ii)中得到的磷酸酯，可以根据其纯度进行离析
·
纯化。其方法没有特别限定，可以采用公知的方法。具体而言，可举出常压蒸馏、减压蒸馏、过滤、滤取、重结晶、升华纯化、硅胶柱色谱、制备薄层色谱(ptlc)、高速液相色谱(hplc)、离子色谱(ic)等方法。实施例
[0139]
以下，例示性地详细说明本发明的优选实施例。其中，但是，该实施例中记载的材料、配合量等只要没有特别限定的记载，就不是将本发明的范围限定于此的意思。
[0140]
需要说明的是，在以下的实施例中，纯度的确定、理化性质的测定使用以下的装置进行。
[0141]
(纯度)磷酸盐化合物的纯度根据基于离子色谱的阴离子分析算出。分析装置和测定条件如下。装置：850 professional ic anion(metrohm制)柱：dionex ionpac as23 2x250mm(thermo fisher scientific制)试样：100ppm的试样水溶液流量：1ml/min洗脱液：4.5mm的na2co3的h2o-乙腈(7：3)混合溶液
[0142]
(nmr测定)台式核磁共振装置：spinsolve 60 ultra phosphorus(magritek制)
[0143]
(实施例1)《乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸钠(无溶剂下)》向放入有搅拌子的50ml茄型烧瓶中加入作为原料盐的碘化钠(630mg，4.20mmol，富士胶片和光纯药公司制)后，在室温下添加作为磷酸酯的2,2,2-三氟乙基磷酸二乙酯(1.18g，5.00mmol)。将该混合溶液在氮气流下以120℃加热4小时。将反应混合物放冷至室温后，过滤反应混合物，在氮气流下，在120℃将残渣干燥一整夜，由此得到作为磷酸盐化合物的白色固体的乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸钠(930mg，96.1％)。乙基(2,2,2-三氟乙基)磷酸钠的纯度为99.6％。
[0144]
(实施例2)《双(2,2,2-三氟乙基)磷酸铜(ii)(无溶剂下)》向放入有搅拌子的100ml茄型烧瓶中加入作为原料盐的氯化铜(ii)(980mg，7.29mmol，和光纯药公司制)后，在室温下加入作为磷酸酯的磷酸三(2,2,2-三氟乙基)酯(50.0g，145mmol)。将该混合溶液在氮气流下、在热水浴温度为155℃下加热
·
回流6小时。将反应混合物放冷至室温后，过滤反应混合物，在氮气流下，在120℃下将残渣干燥一整夜，由此得到作为磷酸盐化合物的淡蓝色固体的双(2,2,2-三氟乙基)磷酸铜(ii)(4.06g，96.1％)。双(2,2,2-三氟乙基)磷酸铜(ii)的纯度为98.4％。
[0145]
(实施例3)《1-乙基-3-甲基咪唑鎓双(2,2,2-三氟乙基)磷酸盐》向放入有搅拌子的50ml茄型烧瓶中加入作为原料盐的1-乙基-3-甲基咪唑鎓溴化物(760mg，3.11mmol，tci公司制)后，在室温下添加作为磷酸酯的双(2,2,2-三氟乙基)磷酸乙酯(905mg，3.12mmol)。将该混合溶液在氮气流下以120℃加热4小时。将反应混合物放冷至室温后，使用蒸发仪将反应混合物浓缩，接着在60℃下将液体干燥1小时，由此得到作为磷酸盐化合物的无色液体的1-乙基-3-甲基咪唑鎓双(2,2,2-三氟乙基)磷酸盐(1.49g，定量)。1-乙基-3-甲基咪唑鎓双(2,2,2-三氟乙基)磷酸盐的纯度为99.1％。
[0146]
(实施例4)《双(2,2,2-三氟乙基)磷酸锂的合成(利用非水溶剂)》向放入有搅拌子的50ml茄型烧瓶中加入作为原料盐的氯化锂(0.634g，15.0mmol)和作为非质子性有机溶剂的乙腈(40.0g，974mmol，kishida chemical公司制)后，在室温下添加作为磷酸酯的双(2,2,2-三氟乙基)三甲基甲硅烷基磷酸酯(5.00g，15.0mmol)。将该混合溶液在氮气流下以82℃加热
·
回流2小时。将反应混合物放冷至室温后，进一步在0℃冷却，过滤此时的析出物，将残渣用少量的乙腈清洗。使用蒸发仪，在45℃下将残渣干燥20分钟，由此得到作为磷酸盐化合物的白色固体的双(2,2,2-三氟乙基)磷酸锂(2.28g，56.9％)。双(2,2,2-三氟乙基)磷酸锂的纯度为99.9％。
[0147]
(实施例5)《二氟磷酸锂的合成1(无溶剂下)》在氮保护下向放入有搅拌子的50ml茄型烧瓶中加入作为磷酸酯的三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯(3.50g，20.1mmol)后，在室温下添加作为原料盐的氯化锂(568mg，13.4mmol)。将该混合物在氮气流下以80℃加热1小时。放冷至室温后，过滤反应混合物，将残渣用少量的dmc(碳酸二甲酯)清洗。使用干燥机，在120℃将残渣干燥15分钟，得到作为磷酸盐化合物的白色固体的二氟磷酸锂(920mg，63.6％)。二氟磷酸锂的纯度为99.5％。
[0148]
(实施例6)《二氟磷酸锂的合成2(利用非水溶剂)》在氮保护下向放入有搅拌子的500ml茄型烧瓶中加入作为磷酸酯的三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯(50.0g，287mmol)后，用作为非质子性有机溶剂的乙腈(150g，3.65mol，kishida chemical株式会社制)稀释。此外，在室温下添加作为原料盐的氯化锂(11.8g，278mmol)。将该混合物在氮气流下以82℃加热
·
回流5小时。放冷至室温后，使用蒸发仪将反应混合物浓缩，将得到的残渣过滤，用少量的dmc(碳酸二甲酯)清洗。使用干燥机，在120
℃下将残渣干燥1小时，由此得到作为磷酸盐化合物的白色固体的二氟磷酸锂(27.4g，91.4％)。二氟磷酸锂的纯度为99.4％。
[0149]
(实施例7)《双(2,2,2-三氟乙基)三甲基甲硅烷基磷酸酯的合成(无溶剂下)》向放入有搅拌子的50ml茄型烧瓶中加入作为硅化合物的氯三甲基硅烷(16.6g，153mmol，tci公司制)后，在室温下添加作为磷酸化合物的双(2,2,2-三氟乙基)磷酸酯(20.0g，76.3mmol)。将该混合溶液在氮气流下以80℃加热
·
回流6小时。利用蒸发仪从反应混合物中除去过量的氯三甲基硅烷，得到作为磷酸酯的无色液体的双(2,2,2-三氟乙基)三甲基甲硅烷基磷酸酯(21.2g，83.1％)。双(2,2,2-三氟乙基)三甲基甲硅烷基磷酸酯的纯度为99.7％。
[0150]
所得到的双(2,2,2-三氟乙基)三甲基甲硅烷基磷酸酯的理化性质如下。1h-nmr(cdcl3，δppm)：-0.06(s，9h)，4.02(dq，4h，j
h-f
＝j
h-p
＝8.3hz)；
19
f-nmr(cdcl3，δppm)：-74.8(t，6f，j
h-f
＝8.3hz)。
31
p-nmr(cdcl3，δppm)：-10.1(tt，1p，j
h-p
＝8.3hz)。
[0151]
(实施例8)《三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯的合成1(无溶剂下)》向放入有搅拌子的200ml茄型烧瓶中加入作为硅化合物的氯三甲基硅烷(48.7g，448mmol，tci公司制)后，在室温下通过滴加而加入作为磷酸化合物的二氟磷酸(45.7g，448mmol)。将该混合溶液在氮气流下以50℃搅拌6小时。通过反应混合物的常压蒸馏而得到作为磷酸酯的无色液体的三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯(49.0g，62.7％)。三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯的纯度为95.6％。
[0152]
(实施例9)《三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯的合成2(作为副产物的氯三甲基硅烷的再利用，在无溶剂下)》向放入有搅拌子的50ml茄型烧瓶中加入作为硅化合物的氯三甲基硅烷{7.16g，65.9mmol}后，在室温下通过滴加而加入作为磷酸化合物的二氟磷酸(6.71g，65.8mmol)。将该混合溶液在氮气流下以50℃搅拌3小时。通过反应混合物的常压蒸馏而得到作为磷酸酯的无色液体的三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯(7.12g，62.2％)。三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯的纯度为96.1％。需要说明的是，作为氯三甲基硅烷，使用实施例5的二氟磷酸锂的合成时副生成的副产物(工序(i)的副产物(e’))。
[0153]
所得到的三甲基甲硅烷基二氟磷酸酯的理化性质如下。1h-nmr(cdcl3，δppm)：0.33(s，9h)；
19
f-nmr(cdcl3，δppm)：-80.4(d，2f，j＝985.9hz)；
31
p-nmr(cdcl3，δppm)：-29.1(dd，1p，j＝985.9hz)。
[0154]
(实施例10)《二甲基乙烯基甲硅烷基二氟磷酸酯的合成(无溶剂下)》向放入有搅拌子的100ml茄型烧瓶中加入作为硅化合物的氯二甲基乙烯基硅烷(10.1g，83.7mmol，tci公司制)后，在室温下通过滴加而加入作为磷酸化合物的二氟磷酸(8.14g，79.8mmol)。将该混合溶液在氮气流下以60℃搅拌3小时。通过反应混合物的减压蒸
馏而得到作为磷酸酯的无色液体的二甲基乙烯基甲硅烷基二氟磷酸酯(2.33g，15.7％)。二甲基乙烯基甲硅烷基二氟磷酸酯的纯度为97.9％。
[0155]
所得到的二甲基乙烯基甲硅烷基二氟磷酸酯的理化性质如下。1h-nmr(cdcl3，δppm)：0.44(s，7h)，6.02-6.13(m，2h)；
19
f-nmr(cdcl3，δppm)：-80.0(d，2f，j＝990.3hz)；
31
p-nmr(cdcl3，δppm)：-28.4(dd，1p，j＝990.3hz)。
[0156]
(实施例11)《二甲基苯基甲硅烷基二氟磷酸酯的合成(无溶剂下)》向放入有搅拌子的100ml茄型烧瓶中加入作为硅化合物的氯二甲基苯基硅烷(16.8g，98.4mmol，tci公司制)后，在室温下通过滴加而加入作为磷酸化合物的二氟磷酸(10.1g，99.0mmol)。将该混合溶液在氮气流下以60℃搅拌3小时。通过反应混合物的减压蒸馏而得到作为磷酸酯的无色液体的二甲基苯基甲硅烷基二氟磷酸酯(10.6g，45.6％)。二甲基苯基甲硅烷基二氟磷酸酯的纯度为97.5％。
[0157]
所得到的二甲基苯基甲硅烷基二氟磷酸酯的理化性质如下。1h-nmr(cdcl3，δppm)：0.37(s，6h)，7.07-7.47(m，5h)；
19
f-nmr(cdcl3，δppm)：-79.7(d，2f，j＝991.4hz)；
31
p-nmr(cdcl3，δppm)：-30.0(dd，1p，j＝991.4hz)。
[0158]
(实施例12)《三乙基甲硅烷基二氟磷酸酯的合成(无溶剂下)》向放入有搅拌子的50ml茄型烧瓶中加入作为硅化合物的氯三乙基硅烷(10.0g，66.3mmol，tci公司制)后，在室温下通过滴加而加入作为磷酸化合物的二氟磷酸(6.69g，65.6mmol)。将该混合溶液在氮气流下以60℃搅拌4小时。通过反应混合物的减压蒸馏，得到作为磷酸酯的无色液体的三乙基甲硅烷基二氟磷酸酯(7.29g，51.4％)。三乙基甲硅烷基二氟磷酸酯的纯度为98.3％。
[0159]
所得到的三乙基甲硅烷基二氟磷酸酯的理化性质如下。1h-nmr(cdcl3，δppm)：0.40-1.11(m，15h)；
19
f-nmr(cdcl3，δppm)：-80.9(d，2f，j＝986.4hz)；
31
p-nmr(cdcl3，δppm)：-29.5(dd，1p，j＝986.4hz)。
[0160]
(实施例13)《环己基二甲基甲硅烷基二氟磷酸酯的合成(无溶剂下)》向放入有搅拌子的50ml茄型烧瓶中加入作为硅化合物的氯(环己基)二甲基硅烷(12.0g，67.9mmol，tci公司制)后，在室温下通过滴加而加入作为磷酸化合物的二氟磷酸(6.83g，67.0mmol)。将该混合溶液在氮气流下以60℃搅拌4小时。通过反应混合物的减压蒸馏而得到作为磷酸酯的无色液体的环己基二甲基甲硅烷基二氟磷酸酯(9.92g，61.0％)。环己基二甲基甲硅烷基二氟磷酸酯的纯度为93.6％。
[0161]
所得到的环己基二甲基甲硅烷基二氟磷酸酯的理化性质如下。1h-nmr(cdcl3，δppm)：0.29(s，6h)，0.92-1.67(br m，11h)；
19
f-nmr(cdcl3，δppm)：-79.8(d，2f，j＝989.0hz)；
31
p-nmr(cdcl3，δppm)：-29.5(dd，1p，j＝989.0hz)。
[0162]
(实施例14)《二甲基苯基甲硅烷基二氟磷酸酯的合成(利用非水溶剂)》在氮保护下向放入有搅拌子的50ml螺纹管瓶中加入作为磷酸化合物的二氟磷酸钠(5.01g，40.4mmol)和作为非质子性有机溶剂的乙腈(20.0g，487mmol，kishida chemical株式会社制)后，在室温下通过滴加而加入作为硅化合物的氯二甲基苯基硅烷(6.82g，40.0mmol，tci公司制)。将该混合溶液在氮气氛下以60℃搅拌2小时。放冷至室温后，使用0.45μm膜过滤器过滤反应混合物。将滤液用氮气鼓泡12小时，除去乙腈。通过使用0.45μm膜过滤器过滤残渣，得到作为磷酸酯的无色液体的二甲基苯基甲硅烷基二氟磷酸酯(7.79g，82.5％)。二甲基苯基甲硅烷基二氟磷酸酯的纯度为95.4％。
[0163]
(实施例15)《三异丙基甲硅烷基二氟磷酸酯的合成(利用非水溶剂)》在氮保护下向放入有搅拌子的50ml螺纹管瓶中加入磷酸化合物作为的二氟磷酸钠(2.02g，16.3mmol)和作为非质子性有机溶剂的乙腈(9.13g，222mmol，kishida chemical株式会社制)后，在室温下通过滴加而加入作为硅化合物的氯三异丙基硅烷(3.14g，16.3mmol，tci公司制)。将该混合溶液在氮气氛下以60℃搅拌2小时。放冷至室温后，使用0.45μm膜过滤器过滤反应混合物。将滤液用氮气鼓泡12小时，除去乙腈。通过使用0.45μm膜过滤器过滤残渣，得到作为磷酸酯的无色液体的三异丙基甲硅烷基二氟磷酸酯(1.00g，23.7％)。三异丙基甲硅烷基二氟磷酸酯的纯度为97.4％。
[0164]
所得到的三异丙基甲硅烷基二氟磷酸酯的理化性质如下。1h-nmr(cdcl3，δppm)：0.98-1.27(m，21h)；
19
f-nmr(cdcl3，δppm)：-80.4(d，2f，j＝983.5hz)；
31
p-nmr(cdcl3，δppm)：-29.5(dd，1p，j＝989.0hz)。
[0165]
(实施例16)《甲基二苯基甲硅烷基二氟磷酸酯的合成(利用非水溶剂)》在氮保护下向放入有搅拌子的50ml螺纹管瓶中加入作为磷酸化合物的二氟磷酸钠(3.01g，24.3mmol)和作为非质子性有机溶剂的乙腈(10.0g，244mmol，kishida chemical株式会社制)后，在室温下通过滴加而加入作为硅化合物的氯(甲基)二苯基硅烷(5.36g，23.0mmol，tci公司制)。将该混合溶液在氮气氛下以60℃搅拌11小时。放冷至室温后，使用0.45μm膜过滤器过滤反应混合物。将滤液用氮气鼓泡12小时，除去乙腈。通过使用0.45μm膜过滤器过滤残渣，得到作为磷酸酯的无色液体的甲基二苯基甲硅烷基二氟磷酸酯(5.22g，76.1％)。甲基二苯基甲硅烷基二氟磷酸酯的纯度88.0％。
[0166]
所得到的甲基二苯基甲硅烷基二氟磷酸酯的理化性质如下。1h-nmr(cdcl3，δppm)：0.92(s，3h)，7.29-7.73(m，10h)；
19
f-nmr(cdcl3，δppm)：-78.8(d，2f，j＝995.6hz)；
31
p-nmr(cdcl3，δppm)：-30.3(dd，1p，j＝995.6hz)。