用于核酸测序的光学系统及其方法与流程

背景技术：

1、在典型的基于荧光的基因组测试测定中，例如，基因分型或核酸测序(使用实时、循环或逐步反应方案)，使用激发光源激发附接到拴系在基底上的核酸分子的染料分子，在基底上的一个或多个空间定位位置中生成荧光光子信号，并且随后通过光学系统将荧光成像到图像传感器上。然后使用分析过程来分析图像，找到标记分子(或克隆扩增的分子簇)在基底上的位置，并且根据波长和空间坐标来定量荧光光子信号，然后可以将其与特定化学反应(例如，杂交事件或碱基加成事件)在基底上的指定位置发生的程度关联起来。基于成像的方法提供了大规模的并行性和多重复用能力，这有助于降低此类技术的成本和可访问性。然而，例如，由于标记分子(或克隆扩增的分子簇)在基底表面的小区域内的过密堆积，或者由于图像中的低对比度噪声比(cnr)而引起的检测误差，可导致将荧光信号归因于正确分子(或克隆扩增的分子簇)的误差。

技术实现思路

1、本文公开的方面提供了系统，其包括：包括弯曲表面的基底，其中所述弯曲表面包括被配置为与分析物结合的至少一个结合部分；和包括光源的光学系统，其中所述光源被配置为将光引导至所述弯曲表面，并且其中所述光被配置为探测与所述至少一个结合部分结合的所述分析物的存在或不存在。在一些实施方案中，所述分析物包括核酸。在一些实施方案中，所述至少一个结合部分包括被配置为与所述核酸结合的至少一个核酸。在一些实施方案中，所述弯曲表面是流动池的部件。在一些实施方案中，所述系统还包括流动池，其中所述流动池包括所述弯曲表面。在一些实施方案中，所述弯曲表面包括流动池的毛细管。在一些实施方案中，所述弯曲表面包括玻璃、聚合物或其组合。在一些实施方案中，所述光源被配置为以落射荧光配置探测所述弯曲表面。在一些实施方案中，所述光源被配置为以透射配置探测所述弯曲表面。在一些实施方案中，所述光源是激光器、发光二极管、卤素灯或白炽灯。在一些实施方案中，所述光源被配置为生成具有约500纳米(nm)至540nm、620nm至650nm、或460nm至500nm波长的所述光。在一些实施方案中，所述系统还包括第二弯曲表面。在一些实施方案中，所述系统还包括焦移组件，其被配置为在所述弯曲表面与所述第二弯曲表面之间移动焦场。在一些实施方案中，所述焦移组件包括至少一个可移动透镜。在一些实施方案中，所述至少一个可移动透镜布置在透镜镜筒内。在一些实施方案中，所述焦移组件包括至少一个可移动棱镜。在一些实施方案中，所述弯曲表面和所述第二弯曲表面是流动池的基本上圆柱形部件的不同部分。在一些实施方案中，所述第二弯曲表面包括被配置为与第二分析物结合的至少一个第二结合部分。在一些实施方案中，所述光学系统相对于所述弯曲表面是可移动的。在一些实施方案中，所述光学系统绕所述弯曲表面是可旋转的。在一些实施方案中，所述光学系统被配置为对多个结合部分进行成像。在一些实施方案中，所述弯曲表面具有25微米(μm)的平坦度偏差。在一些实施方案中，所述弯曲表面具有大于所述光学系统的焦深的平坦度偏差。在一些实施方案中，所述系统还包括多个子光学系统，其中所述多个子光学系统彼此不平行。在一些实施方案中，所述多个子光学系统中的每个子光学系统被单独布置成与所述弯曲表面的多条切线垂直。在一些实施方案中，所述系统还包括台，其中所述弯曲表面布置在所述台上。在一些实施方案中，所述台包括倾斜台、旋转台、平移台或其任何组合。在一些实施方案中，所述弯曲表面包括与其偶联的亲水性聚合物。在一些实施方案中，所述至少一个结合部分与所述亲水性聚合物偶联。在一些实施方案中，所述亲水性聚合物包括聚乙二醇(peg)、聚(乙烯醇)(pva)、聚(乙烯基吡啶)、聚(乙烯基吡咯烷酮)(pvp)、聚(丙烯酸)(paa)、聚丙烯酰胺、聚(n-异丙基丙烯酰胺)(pnipam)、聚(甲基丙烯酸甲酯)(pma)、聚(甲基丙烯酸2-羟乙酯)(phema)、聚(低聚(乙二醇)甲基醚甲基丙烯酸酯)(poegma)、聚谷氨酸(pga)、聚赖氨酸、聚葡萄糖苷、链霉亲和素、或葡聚糖或其任何组合。在一些实施方案中，所述系统具有至多约0.6的数值孔径。在一些实施方案中，所述数值孔径是至多约0.25。在一些实施方案中，所述系统还包括成像传感器，其被配置为在所述引导至所述弯曲表面之后收集所述光。在一些实施方案中，所述系统还包括被配置为加热所述表面的加热器。在一些实施方案中，所述加热器是集成加热器。在一些实施方案中，所述加热器是红外加热器。

2、本文公开的方面提供了系统，其包括：流动池；和光学系统，所述光学系统包括：光源，所述光源被配置为将所述第一光引导至所述流动池；滤光器，所述滤光器被配置为(i)从所述流动池接收第二光并且(ii)传送第三光，其中所述第三光包括所述第二光的至少一部分并且不包括所述第一光；和传感器，所述传感器被配置为从所述滤光器接收所述第三光。在一些实施方案中，系统还包括布置在所述光源与所述滤光器之间的聚焦元件组件，其中所述聚焦元件组件被配置为聚焦来自所述流动池和所述传感器的所述第二光。在一些实施方案中，所述聚焦元件组件包括第一聚焦元件和第二聚焦元件，其中所述第一聚焦元件沿着所述光源与所述传感器之间的光路布置在所述滤光器与所述第二聚焦元件之间。在一些实施方案中，所述聚焦元件组件包括楔形块组件，并且其中所述第一聚焦元件包括第一楔形件，并且所述第二聚焦元件包括第二楔形件。在一些实施方案中，所述第一楔形件和所述第二楔形件由熔融二氧化硅组成。在一些实施方案中，所述第一楔形件和所述第二楔形件具有包括约1.5的折射率。在一些实施方案中，所述系统还包括与所述第一楔形件耦合的压电驱动器。在一些实施方案中，所述系统还包括在所述第一楔形件与所述第二楔形件之间的间隙。在一些实施方案中，所述系统还包括容纳所述流动池的外壳。在一些实施方案中，所述外壳还容纳在楔形块-压电驱动器组件中的所述楔形块和所述压电驱动器。在一些实施方案中，所述楔形块–压电驱动器组件布置在所述传感器与所述流动池之间。在一些实施方案中，所述系统还包括台。在一些实施方案中，所述台是倾斜台、旋转台、平移台或其组合。在一些实施方案中，所述光学系统还包括被配置用于初始聚焦的自动聚焦元件。在一些实施方案中，所述系统还包括透镜镜筒。在一些实施方案中，所述自动聚焦元件容纳在所述透镜镜筒内。在一些实施方案中，所述流动池包括一个或多个内表面，所述内表面具有与其偶联的亲水性聚合物层。在一些实施方案中，所述流动池还包括与所述亲水性聚合物层偶联的多种生物聚合物。在一些实施方案中，所述流动池包括第一内表面和第二内表面，其中所述第一内表面布置在所述传感器与所述第二内表面之间。在一些实施方案中，所述第一内表面和所述第二内表面包括与其偶联的生物聚合物。在一些实施方案中，所述亲水性聚合物层包含聚乙二醇(peg)、聚(乙烯醇)(pva)、聚(乙烯基吡啶)、聚(乙烯基吡咯烷酮)(pvp)、聚(丙烯酸)(paa)、聚丙烯酰胺、聚(n-异丙基丙烯酰胺)(pnipam)、聚(甲基丙烯酸甲酯)(pma)、聚(甲基丙烯酸2-羟乙酯)(phema)、聚(低聚(乙二醇)甲基醚甲基丙烯酸酯)(poegma)、聚谷氨酸(pga)、聚赖氨酸、聚葡萄糖苷、链霉亲和素、或葡聚糖或其任何组合。在一些实施方案中，所述滤光器包括多带滤光器。在一些实施方案中，所述多带滤光器包括三带阻带滤光器。在一些实施方案中，所述光学系统还包括布置在所述滤光器与所述流动池之间的成像光学器件。在一些实施方案中，所述成像光学器件具有包括1x的缩减。在一些实施方案中，所述光学系统具有包括大于1毫米(mm)2的视场(fov)。在一些实施方案中，所述光学系统具有包括小于0.6的数值孔径(na)。在一些实施方案中，所述na包括约0.25。在一些实施方案中，所述传感器包括多个成像传感器，所述成像传感器被配置为捕获所述fov。在一些实施方案中，所述光源包括多个光源，所述多个光源包括：第一光源，其被配置为发射包括第一波长范围的所述第一光；第二光源，其被配置为发射包括第二波长范围的第二光；和第三光源，其被配置为发射包括第三波长范围的第三光，其中所述第一波长范围、所述第二波长范围和所述第三波长范围是不同的波长范围。在一些实施方案中，由所述第一光源的所述第一波长范围激发的第一荧光团不同于由所述第二光源的所述第二波长范围激发的第二荧光团。在一些实施方案中，由所述第一光源的所述第一波长范围激发的第一荧光团不同于由所述第二光源的所述第二波长范围激发的第二荧光团；并且由所述第二光源的所述第二波长范围激发的所述第二荧光团不同于由所述第三光源的所述第三波长范围激发的第三荧光团。在一些实施方案中，由所述第三光源的所述第三波长范围激发的第三荧光团不同于由所述第一光源的所述第一波长范围激发的所述第一荧光团。在一些实施方案中，所述第一光源的所述第一波长范围包括在约500至约540纳米(nm)之间。在一些实施方案中，所述第二光源的所述第二波长范围包括在约620至约640nm之间。在一些实施方案中，所述第三光源的所述第三波长范围包括在约460至约500nm之间。在一些实施方案中，所述流动池包括内表面，所述内表面包括多个离散区域，其中(i)所述多个离散区域中的第一离散区域包括在所述第一离散区域处与所述内表面偶联的第一组的核酸分子，并且(ii)所述多个离散区域中的第二离散区域包括在所述第二离散区处与所述内表面偶联的第二组的所述核酸分子，其中所述第一组的所述核酸分子不同于所述第二组的所述核酸分子。在一些实施方案中，所述第一组的所述核酸分子包含与其偶联的第一荧光团，并且所述第二组的所述核酸分子包含与其偶联的第二荧光团，其中所述第一荧光团不同于所述第二荧光团。在一些实施方案中，所述多个离散区域中的第三离散区域包括在所述第三离散区域处与所述内表面偶联的第三组的所述核酸分子，并且其中所述第三组的所述核酸分子不同于所述第一组和所述第二组的所述核酸分子。在一些实施方案中，所述第三组的所述核酸分子包含与其偶联的第三荧光团，其中所述第三荧光团不同于第二第一荧光团和所述第二荧光团。在一些实施方案中，所述多个离散区域中的第四离散区域包括在所述第四离散区域处与所述内表面偶联的第四组的核酸分子，并且其中所述第四组的核酸分子包含所述第一荧光团和所述第三荧光团，其中所述第一荧光团不同于所述第三荧光团。在一些实施方案中，所述光源包括发光二极管(led)光源。在一些实施方案中，所述光学系统还包括光传输部件。在一些实施方案中，所述光传输部件包括波导、光管、光纤或其组合。在一些实施方案中，所述光源包括固态光源。在一些实施方案中，所述系统还包括加热器。在一些实施方案中，所述加热器是集成加热器。在一些实施方案中，所述集成加热器是透明加热器块集成加热器。在一些实施方案中，所述加热器是红外(ir)加热器。在一些实施方案中，所述光学系统不包括二向色元件。在一些实施方案中，所述光学系统不包括镜筒透镜。在一些实施方案中，所述光学系统不包括校正光学元件，所述校正光学元件被配置为移入和移出在所述流动池与所述多个成像传感器之间的所述光路。在一些实施方案中，所述光学系统不包括激光器。在一些实施方案中，所述光学系统不包括以下的任何组合：二向色元件；镜筒透镜；校正光学元件，所述校正光学元件被配置为移入和移出在所述流动池与所述传感器之间的所述光路；激光器。在一些实施方案中，所述流动池布置在所述光源与所述传感器之间。

3、本文公开的方面提供了系统，其包括：被配置为照射样品的光源；被配置为获得被照射的所述样品的图像的传感器；和沿着所述光源与所述传感器之间的光路永久布置的聚焦元件，其中聚焦元件组件包括：外壳；第一聚焦元件；和第二聚焦元件，其中所述第一聚焦元件被配置为在所述外壳内相对于所述第二聚焦元件移动，而不相对于所述光路移动所述外壳。在一些实施方案中，所述系统还包括多个所述光源，其中所述多个光源中的每个光源发射具有不同波长的光。在一些实施方案中，所述系统还包括多个所述传感器，其中所述多个所述传感器中的每个传感器被配置为在不同时间获得所述样品的所述图像。在一些实施方案中，所述系统还包括沿着所述光源与所述传感器之间的所述光路布置的滤光器，其中所述滤光器被配置为从所述样品接收光并将另一个光传送至所述传感器。在一些实施方案中，所述滤光器包括多带滤光器。在一些实施方案中，所述多带滤光器包括三带阻带滤光器。在一些实施方案中，所述第一透镜在所述光路中被放置在所述第二透镜之前。在一些实施方案中，所述第一透镜在所述光路中被放置在所述第二透镜之后。在一些实施方案中，所述样品与流动池的一个或多个内表面偶联。在一些实施方案中，所述样品与所述流动池的所述一个或多个内表面共价偶联。在一些实施方案中，所述样品与流动池的两个或更多个内表面偶联。在一些实施方案中，所述样品与所述流动池的所述两个或更多个内表面共价偶联。在一些实施方案中，所述流动池的所述两个或更多个内表面包括第一内表面和第二内表面，并且其中所述第一内表面沿着在所述光源与所述第二内表面之间的所述光路布置。在一些实施方案中，所述一个或多个内表面包括与其偶联的亲水性聚合物层。在一些实施方案中，所述一个或多个内表面包括与其偶联的亲水性聚合物层。在一些实施方案中，所述样品包含与所述亲水性聚合物层偶联的多种生物聚合物。在一些实施方案中，所述亲水性聚合物层包含聚乙二醇(peg)、聚(乙烯醇)(pva)、聚(乙烯基吡啶)、聚(乙烯基吡咯烷酮)(pvp)、聚(丙烯酸)(paa)、聚丙烯酰胺、聚(n-异丙基丙烯酰胺)(pnipam)、聚(甲基丙烯酸甲酯)(pma)、聚(甲基丙烯酸2-羟乙酯)(phema)、聚(低聚(乙二醇)甲基醚甲基丙烯酸酯)(poegma)、聚谷氨酸(pga)、聚赖氨酸、聚葡萄糖苷、链霉亲和素、或葡聚糖或其任何组合。在一些实施方案中，所述系统具有包括大于1毫米(mm)2的视场(fov)。在一些实施方案中，所述系统具有包括小于0.6的数值孔径(na)。在一些实施方案中，所述na包括约0.25。在一些实施方案中，所述传感器包括多个成像传感器，所述成像传感器被配置为捕获所述fov。在一些实施方案中，所述聚焦元件组件包括楔形块组件，并且其中所述第一聚焦元件包括第一楔形件，并且所述第二聚焦元件包括第二楔形件。在一些实施方案中，所述第一楔形件和所述第二楔形件由熔融二氧化硅组成。在一些实施方案中，所述第一楔形件和所述第二楔形件具有包括约1.5的折射率。在一些实施方案中，所述系统还包括在所述第一聚焦元件与所述第二聚焦元件之间的间隙。

4、本文公开的方面提供了对样品进行成像的方法，所述方法包括：提供本文所述的所述系统；用来自所述光源的所述光照射所述样品，其中所述样品与所述流动池的一个或多个内表面偶联；通过从与所述流动池的所述一个或多个内表面偶联的所述样品接收所述第二光并将第三光传送至所述传感器，由所述滤光器过滤所述第二光；以及用所述传感器获得所述样品的图像。在一些实施方案中，所述样品包含生物聚合物，其中所述生物聚合物的第一子集与所述流动池的所述一个或多个内表面的第一内表面偶联，并且所述生物聚合物的第二子集与所述流动池的所述一个或多个内表面的第二内表面偶联。在一些实施方案中，所述用所述传感器获得所述样品的所述图像包括对所述流动池的所述第一内表面和所述第二内表面进行成像。

5、本文公开的方面提供了对样品进行成像的方法，所述方法包括：提供本文公开的所述系统；通过所述光源照射所述样品；用所述聚焦元件组件聚焦从所述样品发射的光；以及接收来自(c)的所述光并通过所述传感器获得所述样品的图像。在一些实施方案中，所述样品包含生物聚合物，其中所述生物聚合物的第一子集与流动池的第一内表面偶联，并且所述生物聚合物的第二子集与流动池的第二内表面偶联。在一些实施方案中，所述用所述传感器获得所述样品的所述图像包括对所述流动池的所述第一内表面和所述第二内表面进行成像。在一些实施方案中，所述第一内表面和所述第二内表面包括与其偶联的亲水性聚合物层。在一些实施方案中，所述通过所述传感器获得所述样品的所述图像包括对大于4mm2的视场(fov)进行成像。在一些实施方案中，所述方法还包括对所述样品进行测序。在一些实施方案中，所述测序包括进行结合测序(sequencing-by-binding)或合成测序(sequencing-by-synthesis)。在一些实施方案中，所述测序包括：提供可检测核苷酸缀合物，所述可检测核苷酸缀合物包含(i)共同核心、(ii)多个标记和(iii)与所述共同核心偶联的多个核苷酸；在防止所述多个核苷酸的核苷酸与多个引发的核酸序列的互补核苷酸之间形成磷酸二酯键的条件下，使所述样品的所述多个引发的核酸序列与所述可检测核苷酸缀合物接触，其中所述第一多个核苷酸的所述核苷酸与所述多个引发的核酸序列的引发的核酸序列中的所述互补核苷酸稳定偶联；检测来自所述可检测核苷酸缀合物的所述多个标记的信号，从而鉴定所述引发的核酸序列的所述互补核苷酸；以及用不同的可检测核苷酸缀合物进行(a)至(c)以检测第二信号，从而鉴定所述引发的核酸序列中的另一个互补核苷酸。

6、在一方面，本公开提供了一种系统，其包括：弯曲基底，其中所述弯曲基底包括被配置为与分析物结合的至少一个结合部分；和包括光源的光学系统，其中所述光源被配置为将来自所述光源的光引导至所述弯曲基底，并且其中所述光被配置为探测与所述弯曲基底结合的所述分析物的存在或不存在。

7、在一些实施方案中，所述分析物包括核酸。在一些实施方案中，所述至少一个结合部分包括被配置为与所述核酸结合的至少一个核酸。在一些实施方案中，所述弯曲基底是流动池的部件。在一些实施方案中，所述系统还包括流动池，其中所述流动池包括所述弯曲基底。在一些实施方案中，所述弯曲基底包括流动池的毛细管。在一些实施方案中，所述弯曲基底包括玻璃、聚合物或其组合。在一些实施方案中，所述光源被配置为以落射荧光配置探测所述弯曲基底。在一些实施方案中，所述光源被配置为以透射配置探测所述弯曲基底。在一些实施方案中，所述光源是激光器、发光二极管、卤素灯或白炽灯。在一些实施方案中，所述光源被配置为生成具有约500纳米(nm)至540nm、620nm至650nm、或460nm至500nm波长的所述光。在一些实施方案中，所述系统还包括第二弯曲基底。在一些实施方案中，所述系统还包括焦移组件，其被配置为在所述弯曲基底与所述第二弯曲基底之间移动焦场。在一些实施方案中，所述焦移组件包括至少一个可移动透镜。在一些实施方案中，所述至少一个可移动透镜布置在透镜镜筒内。在一些实施方案中，所述焦移组件包括至少一个可移动棱镜。在一些实施方案中，所述弯曲基底和所述第二弯曲基底是流动池的基本上圆柱形部件的不同部分。在一些实施方案中，所述第二弯曲基底包括被配置为与第二分析物结合的至少一个第二结合部分。在一些实施方案中，所述光学系统相对于所述弯曲基底是可移动的。在一些实施方案中，所述光学系统绕所述弯曲基底是可旋转的。在一些实施方案中，所述光学系统被配置为对多个结合部分进行成像。在一些实施方案中，所述弯曲基底具有25微米(μm)的平坦度偏差。在一些实施方案中，所述弯曲基底具有大于所述光学系统的焦深的平坦度偏差。在一些实施方案中，所述系统还包括多个子光学系统，其中所述多个子光学系统彼此不平行。在一些实施方案中，所述多个子光学系统中的每个子光学系统被单独布置成与所述弯曲基底的多条切线垂直。在一些实施方案中，所述系统还包括台，其中所述弯曲基底布置在所述台上。在一些实施方案中，所述台包括倾斜台、旋转台、平移台或其任何组合。在一些实施方案中，所述弯曲基底包括与其偶联的亲水性聚合物。在一些实施方案中，所述至少一个结合部分与所述亲水性聚合物偶联。在一些实施方案中，所述亲水性聚合物包括聚乙二醇(peg)、聚(乙烯醇)(pva)、聚(乙烯基吡啶)、聚(乙烯基吡咯烷酮)(pvp)、聚(丙烯酸)(paa)、聚丙烯酰胺、聚(n-异丙基丙烯酰胺)(pnipam)、聚(甲基丙烯酸甲酯)(pma)、聚(甲基丙烯酸2-羟乙酯)(phema)、聚(低聚(乙二醇)甲基醚甲基丙烯酸酯)(poegma)、聚谷氨酸(pga)、聚赖氨酸、聚葡萄糖苷、链霉亲和素、或葡聚糖或其任何组合。在一些实施方案中，所述系统具有至多约0.6的数值孔径。在一些实施方案中，所述数值孔径是至多约0.25。在一些实施方案中，所述系统还包括成像传感器，其被配置为在所述引导至所述弯曲基底之后收集所述光。在一些实施方案中，所述系统还包括被配置为加热所述基底的加热器。在一些实施方案中，所述加热器是集成加热器。在一些实施方案中，所述加热器是红外加热器。

8、在另一方面，本公开提供了一种系统，其包括：弯曲基底；和包括光源的光学系统，其中所述光源被配置为将来自所述光源的光引导至所述弯曲基底。

9、在另一方面，本公开提供了一种系统，其包括：基底；和光学系统，其中所述光学系统被配置为对所述基底的至少约5平方毫米(mm2)的区域进行成像。

10、在一些实施方案中，所述光学系统被配置为同时对所述区域进行成像。在一些实施方案中，所述光学系统包括多个子光学系统。在一些实施方案中，所述多个子光学系统被配置为平行地对所述基底的所述区域进行成像。在一些实施方案中，所述光学系统包括被配置为提供光束的光源和透镜，其中所述透镜被配置为将来自所述光源的光束聚焦到包括所述区域的所述基底的聚焦区域上。在一些实施方案中，所述光束在所述聚焦区域上的均匀性为至少约90％。在一些实施方案中，所述基底基底的所述区域被布置为中空圆柱体。在一些实施方案中，所述基底是毛细管流动池的至少一部分。在一些实施方案中，所述毛细管流动池包括固体核心。在一些实施方案中，所述系统还包括台，其中所述基底布置在所述台上。在一些实施方案中，所述台包括倾斜台、旋转台、平移台或其任何组合。在一些实施方案中，所述基底包括与其偶联的亲水性聚合物。在一些实施方案中，所述至少一个结合部分与所述亲水性聚合物偶联。在一些实施方案中，所述亲水性聚合物包括聚乙二醇(peg)、聚(乙烯醇)(pva)、聚(乙烯基吡啶)、聚(乙烯基吡咯烷酮)(pvp)、聚(丙烯酸)(paa)、聚丙烯酰胺、聚(n-异丙基丙烯酰胺)(pnipam)、聚(甲基丙烯酸甲酯)(pma)、聚(甲基丙烯酸2-羟乙酯)(phema)、聚(低聚(乙二醇)甲基醚甲基丙烯酸酯)(poegma)、聚谷氨酸(pga)、聚赖氨酸、聚葡萄糖苷、链霉亲和素、或葡聚糖或其任何组合。在一些实施方案中，所述系统具有至多约0.6的数值孔径。在一些实施方案中，所述数值孔径是至多约0.25。在一些实施方案中，所述系统还包括成像传感器，其被配置为在所述引导至所述基底之后收集所述光。在一些实施方案中，所述系统还包括被配置为加热所述基底的加热器。在一些实施方案中，所述加热器是集成加热器。在一些实施方案中，所述加热器是红外加热器。在一些实施方案中，所述基底是弯曲基底。在一些实施方案中，所述弯曲基底具有25微米(μm)的平坦度偏差。在一些实施方案中，所述弯曲基底具有大于所述光学系统的焦深的平坦度偏差。在一些实施方案中，所述光学系统被配置为以约1μm或更小的分辨率对所述基底的所述区域进行成像。

11、援引并入

12、本说明书中提及的所有出版物、专利以及专利申请通过引用全文并入本文，其程度如同每个单独的出版物、专利或专利申请被专门地并且单独地指示通过引用全文并入。如果本文中的术语与并入的参考文献中的术语之间存在冲突，则以本文中的术语为准。