一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯及其生产工艺的制作方法

文档序号:36617074发布日期:2024-01-06 23:15阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺,其特征在于:按如下方法制备:

2.根据权利要求1所述的一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺,其特征在于:步骤s1中,所述含有三苯胺基团的光敏剂光敏剂按如下方法制备:

3.根据权利要求2所述的一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺,其特征在于:溴素:顺丁烯二酸酐:2,6-二溴苯胺的质量比为(4.7-6.2):1.5:(32-35)。

4.根据权利要求2所述的一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺,其特征在于:n-(2,6-二溴苯基)-2,3-二溴马来酸酐:碘化钠的质量比为(0.004):(11.8-15.7);三苯胺硼酸:n-(2,6-二碘苯基)-2,3-二碘马来酸酐:钯碳:三乙胺的质量比为(2-2.5):0.4:

5.根据权利要求1所述的一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺,其特征在于:步骤s1中,光敏剂:三氯氧磷的质量比为1:(2.5-3)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺,其特征在于:步骤s2中,单甲醛基光敏剂:2-氨基硫代苯酚的质量比为(1.5-1.8):(4-6);所述对甲基苯磺酸钠水溶液浓度为40-50mg/ml;所述加热反应温度为80-85℃,时间为12-16h。

7.根据权利要求1所述的一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺,其特征在于:步骤s3中,羟基苯并噻唑光敏剂:mof的质量比为(2-4):(5-7);所述催化剂为二环己基碳二亚胺或1-(3-二甲基氨基丙基)-3-乙基碳二亚胺中任意一种;所述加热反应温度为25-30℃,时间为24-48h;所述mof为uio-66。

8.根据权利要求1所述的一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺,其特征在于:步骤s4中,所述半导体光刻胶专用高分子聚氨酯中各组分占比,按质量份数计,异氰酸酯40-60份,聚醇20-40份,催化剂1-5份,扩链剂5-15份,复合mof5-10份;所述加热反应温度为80-90℃。

9.根据权利要求8所述的一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺,其特征在于:所述异氰酸酯二苯基甲烷二异氰酸酯;所述聚醇为聚丙烯醇;所述催化剂为辛酸亚锡;所述扩链剂为1,4-丁二醇;。

10.根据权利要求1-9任一项所述的一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯的生产工艺制备得到的高分子聚氨酯。


技术总结
本发明涉及聚氨酯技术领域,公开了一种半导体光刻胶专用高分子聚氨酯及其生产工艺;本发明通过自制的N‑马来酰亚胺基苯并恶唑光敏剂接枝在MOF上加入聚氨酯中,制备得到一种具有良好的光学性能、耐磨性和耐化学性等特点的半导体光刻胶专用高分子聚氨酯,用来解决传统的聚氨酯光刻胶在光敏剂选择、孔结构调控等方面仍存在不足的问题。

技术研发人员:张桂铭,邢培培
受保护的技术使用者:无锡爱勒普科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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