技术特征：
技术总结
本发明公开了一种用于蓝宝石衬底抛光的硅铝复合磨料的制备方法，其制备过程如下：首先，一定量的亲水性硅烷偶联剂和商业氧化铝粉体先后均匀分散在水溶剂中，采用pH值调节剂将该分散液的pH值调至碱性后，加热该分散液至特定温度，在机械搅拌和恒定温度的条件下，将预先备好的硅源稀释液以一定速率连续加入上述分散液中，同时，补充相应量的碱稳定剂以避免反应体系失稳；硅源加料完毕继续保温30min后，停止加热，冷却至室温即制备得到硅铝复合的抛光磨料。上述方法制备的硅铝复合磨料悬浮分散稳定性和流动性好、蓝宝石材料的去除速率高、晶片表面无划痕且光洁度好，适用于蓝宝石衬底的化学机械抛光。
技术研发人员：朱靖康;胡达文;管君;林方
受保护的技术使用者：无锡易洁工业介质有限公司
技术研发日：2017.07.15
技术公布日：2017.11.07