一种水基抛光液的制作方法

文档序号:21089689发布日期:2020-06-12 17:07阅读:204来源:国知局

本发明涉及一种水基抛光液,属于抛光领域。



背景技术:

随着各行各业的飞速发展,芯片加工、精密器件加工、异形件加工等对光滑表面的要求越来越高,获得光滑表面的主要方式为抛光,目前广泛使用抛光方法包括机械抛光、化学抛光、化学机械抛光等。其中一部分抛光仅适用于平面的平坦化抛光,而不适用于曲面工件的抛光。而可用于曲面的抛光方式也各有其问题,如化学抛光所用液体多为腐蚀性液体,对设备具有一定的损坏等。

磁流变液是一类新型的人工智能材料,该类材料的流变特性在磁场左右下能够发生可控、可逆和连续的快速转变,可广泛应用于土木工程、机械加工、汽车工程、航天工程等诸多领域。磁流变液是由磁性粒子分散于液体基质中形成的一种悬浮体系。磁流变液在外在磁场的作用下,其内的磁性粒子排成长链,使液体在瞬间即转变为具有一定屈服强度的固体,当磁场撤销后,磁流变液后恢复为液体。

磁流变液悬浮体系中的悬浮相(磁性粒子)的粒径较大、且密度较高,一般密度为介质的5倍以上,因此,在悬浮体系中,悬浮粒子易发生沉降、团聚和变质的现象。为解决上述问题,现有技术中提供了多种方法,其中一类是针对磁性粒子本身的加工,如将粒子负载于纳米片上以减小整体磁性粒子的密度;或将磁性粒子做成空心结构以降低其密度,达到抗沉降的效果。另一类方法,是在整个悬浮体系中加入润湿剂、触变剂等外加制剂防止磁性粒子沉降和团聚,其中,润湿剂通过增加粒子间的空间位阻以防止粒子的团聚和絮凝,这类材料虽然能够防止粒子的絮凝,但是抗沉降效果较弱。



技术实现要素:

本发明的目的是提供一种水基抛光剂,所述抛光剂由磁流变液和磨料组成,并同时提供一种sio2纳米粒子触变剂的制备方法,利用该方法制得的sio2纳米粒子触变剂,可以有效改善磁流变液中磁性粒子的沉降问题,同时不妨碍磁性粒子的成链。

一种水基抛光液,所述水基抛光液由磁流变液和磨料组成,所述磁流变液按质量百分比,由下述组分组成:水30~80%,触变剂3~8%,分散剂0~5%,润湿剂0~5%,羰基铁粉20~70%,

所述磨料与磁流变液的比例为:磨料与羰基铁粉的质量比为1~2:10,

其中,触变剂按下述方法制得,包括下述工艺步骤:

s1,将磁性sio2纳米粒子与苄基三氯硅烷按质量比1:1~5均匀分散于甲苯中,50~90℃反应1~3d,分离固体,洗涤,干燥,得到氯苄基接枝的sio2纳米粒子;

s2,将n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷加入水中,于ph=10~11下进行水解,得水解物溶液,其中,n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷与水的质量比为1:5~20;将磁性sio2纳米粒子按1g:50~200ml均匀分散于水中,得分散液;将水解物溶液与分散液混合后80~100℃加热回流2~24h,分离,干燥,得到氨基改性sio2纳米粒子,其中,磁性sio2纳米粒子与n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷的质量比为1~10:1;

s3,将氯苄基接枝的sio2纳米粒子与氨基改性sio2纳米粒子按质量比为1:0.5~2均匀分散于甲苯中,20~70℃下搅拌反应0.5~12h,洗涤,干燥,得sio2纳米粒子触变剂,

所述步骤s1和s2中,所述磁性sio2纳米粒子以fe3o4纳米粒子为核,在核上包覆一层sio2层,磁性sio2纳米粒子的粒径为20~25nm,fe3o4纳米粒子核的粒径为6~8nm。

优选地,所述磁流变液按质量百分比,由下述组分组成:水30~80%,触变剂3~8%,分散剂1~5%,润湿剂1~5%,羰基铁粉20~70%。

优选地,所述润湿剂为丙三醇、聚乙二醇;分散剂为六偏磷酸钠。

优选地,所述磨料为金刚石颗粒、类金刚石颗粒、立方氮化硼颗粒、氧化锆颗粒中的至少一种。

优选地,所述磨料颗粒的粒径为0.5微米~10微米。

本发明所述方法制得的改性sio2纳米粒子触变剂的粒径为40~150nm。

优选地,所述磁性sio2纳米粒子按下述方法制得:

将fecl2与fecl3溶于水中,再加入聚乙二醇,氮气气氛下,向溶液中加入25%氨水至溶液ph为10~12,60~80℃下搅拌反应1~24h,洗涤,干燥,得fe3o4纳米粒子,其中,fecl2与fecl3摩尔比为1:1.6~2,fecl2与水的比例为0.004mol:100ml,fecl2与聚乙二醇的质量比为1:1~10;

将fe3o4纳米粒子均匀分散于75%乙醇水溶液中,依次加入25%氨水和硅酸四乙酯,室温搅拌反应12~24h,分离产物,洗涤,干燥,得磁性sio2纳米粒子,其中,fe3o4纳米粒子与75%乙醇水溶液的比例为0.1~0.4g:100ml,25%氨水与75%乙醇水溶液的体积比为1~5:100;硅酸四乙酯与75%乙醇水溶液的体积比为2~4:100。

优选地,所述步骤s1,将磁性sio2纳米粒子与苄基三氯硅烷按质量比1:2均匀分散于甲苯中;所述磁性sio2纳米粒子与甲苯的质量比为1:50~200,优选1:100。

优选地,所述步骤s1,75℃下回流反应2d。

优选地,所述步骤s2,将磁性sio2纳米粒子按1~2g:100ml均匀分散于水中。

优选地,所述步骤s2,将水解物溶液与分散液混合后90℃加热回流12h。

优选地,所述步骤s3,sio2纳米粒子总量与甲苯的质量比为1:50~200,优选1:100。

本发明的有益效果是:本发明提供一种水基抛光剂,该抛光剂由磁流变液基液和磨料组成,所述磁流变液所用触变剂由本发明所述方法提供,利用本发明所述方法制备所得的sio2纳米粒子触变剂以核壳结构的磁性sio2纳米粒子为主要原料,触变剂具有一定的磁性,且由于磁性内核较小,相应的磁性较弱。因此,在没有外界磁场作用的情况下,本发明所述触变剂外层的sio2在悬浮体系中形成网络结构,阻碍磁性粒子的团聚和沉降;在外界磁场作用下,具有一定磁性的sio2纳米粒子触变剂不会妨碍磁性粒子的成链。同时,本发明对核壳结构的磁性sio2纳米粒子进行了改性及连接,一方面,使所得sio2纳米粒子触变剂具有两亲特性,在多种介质中均可使用;另一方面,将独立sio2纳米粒子连接后使其在磁流变液中更易形成空间网络结构,发挥更好的抗沉降效果。

具体实施方式

下述实施例1~4中,所述磁性sio2纳米粒子按下述方法制得:

将fecl2与fecl3溶于水中,再加入聚乙二醇,氮气气氛下,向溶液中加入25%氨水至溶液ph为10,60~80℃下搅拌反应10h,洗涤,干燥,得fe3o4纳米粒子,其中,fecl2与fecl3摩尔比为1:1.8,fecl2与水的比例为0.004mol:100ml,fecl2与聚乙二醇的质量比为1:5;

将fe3o4纳米粒子均匀分散于75%乙醇水溶液中,依次加入25%氨水和硅酸四乙酯,室温搅拌反应12h,分离产物,洗涤,干燥,得磁性sio2纳米粒子,其中,fe3o4纳米粒子与75%乙醇水溶液的比例为0.25g:100ml,25%氨水与75%乙醇水溶液的体积比为4:100;硅酸四乙酯与75%乙醇水溶液的体积比为3.3:100。

所得磁性sio2纳米粒子以fe3o4纳米粒子为核,在核上包覆一层sio2层,磁性sio2纳米粒子的粒径约为21.7nm,fe3o4纳米粒子核的粒径约为7nm。

下述实施例中,所述磨料为金刚石颗粒,平均粒径为5微米;所述润湿剂为聚乙二醇;分散剂为六偏磷酸钠。

实施例1

s1,将磁性sio2纳米粒子与苄基三氯硅烷按质量比1:2均匀分散于甲苯中,75℃反应2d,分离固体,洗涤,干燥,得到氯苄基接枝的sio2纳米粒子;

s2,将n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷加入水中,于ph=10~11下进行水解,得水解物溶液,其中,n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷与水的质量比为1:10;将磁性sio2纳米粒子按1g:100ml均匀分散于水中,得分散液;将水解物溶液与分散液混合后90℃加热回流12h,分离,干燥,得到氨基改性sio2纳米粒子,其中,磁性sio2纳米粒子与n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷的质量比为2.5:1;

s3,将氯苄基接枝的sio2纳米粒子与氨基改性sio2纳米粒子按质量比为1:1均匀分散于甲苯中,40℃下搅拌反应2h,洗涤,干燥,得sio2纳米粒子触变剂,所得触变剂的平均粒径约为91nm。

将触变剂和羰基铁粉加入到基液中后,搅拌,超声分散,直至获得均一悬浮体系,获得磁流变液,所得磁流变液7d沉降率为5.1%。含有本发明所述触变剂的体系(目标体系,水45%,触变剂5%,羰基铁粉50%)与不包含本发明触变剂的体系(对比体系,水50%,羰基铁粉50%)相比,相同磁场强度作用下,磁流变液磁场下屈服应力,目标体系较对比体系下降2.3%。

一种水基抛光液,所述水基抛光液由磁流变液和磨料组成,所述磁流变液按质量百分比,由下述组分组成:水45%,触变剂5%,羰基铁粉(平均粒径3~5微米球形颗粒)50%,磨料与羰基铁粉的质量比为1:10。

将磨粒均匀分散于磁流变液中,形成抛光液,将上述抛光液用于曲面工件抛光,所述抛光于磁流变抛光机中进行,具体为:使待加工的316l不锈钢曲面工件浸入抛光液中,利用控制装置控制工件400r/min转速旋转,同时对抛光液施加强度为0.5t的磁场,抛光30min,抛光液处理前工件的表面粗糙度ra为4.35nm,抛光处理后为1.29nm。

对比例1

磁流变液按质量比,由下述组分组成:水45%,触变剂(平均粒径为90~100nm的普通sio2纳米粒子)5%,羰基铁粉50%。将触变剂和羰基铁粉加入到水中后,搅拌,超声分散,直至获得均一悬浮体系,获得磁流变液,所得磁流变液7d沉降率为12.9%。含有本发明所述触变剂的体系与不包含触变剂的体系(对比体系,水50%,羰基铁粉50%)相比,相同磁场强度作用下,磁流变液磁场下屈服应力,目标体系较对比体系下降14.6%。

实施例2

s1,将磁性sio2纳米粒子与苄基三氯硅烷按质量比1:2均匀分散于甲苯中,75℃反应2d,分离固体,洗涤,干燥,得到氯苄基接枝的sio2纳米粒子;

s2,将n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷加入水中,于ph=10~11下进行水解,得水解物溶液,其中,n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷与水的质量比为1:10;将磁性sio2纳米粒子按1g:100ml均匀分散于水中,得分散液;将水解物溶液与分散液混合后90℃加热回流12h,分离,干燥,得到氨基改性sio2纳米粒子,其中,磁性sio2纳米粒子与n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷的质量比为2.5:1;

s3,将氯苄基接枝的sio2纳米粒子与氨基改性sio2纳米粒子按质量比为1:0.5均匀分散于甲苯中,65℃下搅拌反应2h,洗涤,干燥,得sio2纳米粒子触变剂,所得触变剂的平均粒径约为123nm。

将触变剂和羰基铁粉加入到基液中后,搅拌,超声分散,直至获得均一悬浮体系,获得磁流变液,所得磁流变液7d沉降率为7.2%。含有本发明所述触变剂的体系(目标体系,水45%,触变剂5%,羰基铁粉50%)与不包含本发明触变剂的体系(对比体系,水50%,羰基铁粉50%)相比,相同磁场强度作用下,磁流变液磁场下屈服应力,目标体系较对比体系下降1.8%。

一种水基抛光液,所述水基抛光液由磁流变液和磨料组成,所述磁流变液按质量百分比,由下述组分组成:水45%,触变剂5%,羰基铁粉(平均粒径3~5微米球形颗粒)50%,磨料与羰基铁粉的质量比为1:10。

将上述抛光液用于曲面工件抛光,所述抛光于磁流变抛光机中进行,具体为:使待加工的316l不锈钢曲面工件浸入抛光液中,利用控制装置控制工件400r/min转速旋转,同时对抛光液施加强度为0.5t的磁场,抛光30min,抛光液处理前工件的表面粗糙度ra为4.35nm,抛光处理后为1.22nm。

实施例3

s1,将磁性sio2纳米粒子与苄基三氯硅烷按质量比1:2均匀分散于甲苯中,75℃反应2d,分离固体,洗涤,干燥,得到氯苄基接枝的sio2纳米粒子;

s2,将n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷加入水中,于ph=10~11下进行水解,得水解物溶液,其中,n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷与水的质量比为1:10;将磁性sio2纳米粒子按1g:100ml均匀分散于水中,得分散液;将水解物溶液与分散液混合后90℃加热回流12h,分离,干燥,得到氨基改性sio2纳米粒子,其中,磁性sio2纳米粒子与n-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二乙氧基硅烷的质量比为2.5:1;

s3,将氯苄基接枝的sio2纳米粒子与氨基改性sio2纳米粒子按质量比为1:2均匀分散于甲苯中,25℃下搅拌反应2h,洗涤,干燥,得sio2纳米粒子触变剂,所得触变剂的平均粒径约为56nm。

将触变剂和羰基铁粉加入到基液中后,搅拌,超声分散,直至获得均一悬浮体系,获得磁流变液,所得磁流变液7d沉降率为3.9%。含有本发明所述触变剂的体系(目标体系,水45%,触变剂5%,羰基铁粉50%)与不包含本发明触变剂的体系(对比体系,水50%,羰基铁粉50%)相比,相同磁场强度作用下,磁流变液磁场下屈服应力,目标体系较对比体系下降2.7%。

一种水基抛光液,所述水基抛光液由磁流变液和磨料组成,所述磁流变液按质量百分比,由下述组分组成:水45%,触变剂5%,羰基铁粉(平均粒径3~5微米球形颗粒)50%,磨料与羰基铁粉的质量比为1:10。

将上述抛光液用于曲面工件抛光,所述抛光于磁流变抛光机中进行,具体为:使待加工的316l不锈钢曲面工件浸入抛光液中,利用控制装置控制工件400r/min转速旋转,同时对抛光液施加强度为0.5t的磁场,抛光30min,抛光液处理前工件的表面粗糙度ra为4.35nm,抛光处理后为1.36nm。

实施例4

其他与实施例1相同,不同在于,

将触变剂和羰基铁粉加入到基液中后,搅拌,再加入分散剂和润湿剂后进行超声分散,直至获得均一悬浮体系,获得磁流变液,所得磁流变液7d沉降率为3.3%。含有本发明所述触变剂的体系(目标体系,水41%,触变剂5%,羰基铁粉50%,分散剂2%,润湿剂2%)与不包含本发明触变剂的体系(对比体系,水46%,羰基铁粉50%,分散剂2%,润湿剂2%)相比,相同磁场强度作用下,磁流变液磁场下屈服应力,目标体系较对比体系下降1.7%。

一种水基抛光液,所述水基抛光液由磁流变液和磨料组成,所述磁流变液按质量百分比,由下述组分组成:水41%,触变剂5%,羰基铁粉(平均粒径3~5微米球形颗粒)50%,分散剂2%,润湿剂2%,所述磨料与磁流变液的比例为:磨料与羰基铁粉的质量比为1:10。

将上述抛光液用于曲面工件抛光,所述抛光于磁流变抛光机中进行,具体为:使待加工的316l不锈钢曲面工件浸入抛光液中,利用控制装置控制工件400r/min转速旋转,同时对抛光液施加强度为0.5t的磁场,抛光30min,抛光液处理前工件的表面粗糙度ra为4.35nm,抛光处理后为1.27nm。

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