一种热减粘保护膜的制备方法与流程

文档序号:23848903发布日期:2021-02-05 13:37阅读:77来源:国知局
一种热减粘保护膜的制备方法与流程

[0001]
本发明涉及一种热减粘保护膜的制备方法。


背景技术:

[0002]
减粘保护膜分为热减粘保护膜和uv减粘保护膜,目前减粘保护膜主要用于晶圆切割制程的保护与后期捡取工艺,也有向高性能钢化玻璃(如手机玻璃)制程的保护和手机金属后盖的镭射雕刻工艺保护上转移的趋势。
[0003]
热减粘保护膜用作晶圆切割胶带,在晶圆切割时需要粘住晶圆,防止飞片现象的发生,当晶圆切割完成后,又需要降低剥离强度,便于拾取。
[0004]
热减粘胶带在实际应用过程中,会出现以下问题:(1).加热后,压敏胶和基膜的粘结强度同样下降,导致压敏胶与基膜的脱离造成残胶;(2).晶圆拾取前后剥离强度的平衡,要么是拾取前剥离强度不够,要么就是拾取时剥离难,易残胶。


技术实现要素:

[0005]
为了克服现有热减粘胶带的上述不足,本发明提供一种满足粘结牢固的同时,在一定温度下可以实现轻松剥离且无残留的热减粘保护膜的制备方法。
[0006]
本发明解决其技术问题的技术方案是:一种热减粘保护膜的制备方法,其特征在于该制备方法包括如下步骤:s1、将pet原料通过挤出机挤出制成pet膜;s2、在pet膜的一面涂覆包含有热塑性膨胀微球的紫外光固化树脂;s3、用模压辊在紫外光固化树脂层上压出花纹,并在紫外光下固化形成基膜;s4 、对紫外光固化树脂层表面进行电晕处理或等离子体处理;s5 、在紫外光固化树脂层的花纹中填充热减粘胶,热减粘胶干燥后在热减粘胶上附上离型膜。
[0007]
优选的,在s3中,模压辊在紫外光固化树脂层上压出矩阵排列的正四棱锥,相邻的正四棱锥的底面相衔接。
[0008]
优选的,所述四棱锥的底面与所述的pet膜接触,所述四棱锥的顶点与所述的离型膜接触。
[0009]
优选的,所述pet膜的厚度为30-50μm,所述紫外光固化树脂层以及热减粘胶层的厚度为40-60μm,所述离型膜的厚度为5-10μm。
[0010]
优选的,所述热减粘层的粘度为1000-2500cps,剥离强度为500-1200g/inch。
[0011]
优选的,所述热塑性膨胀微球为核壳结构热塑性膨胀微球,外壳的材质为热塑性丙烯酸酯聚合物,内核为烷烃类气体组成的微球颗粒,所述热塑性膨胀微球的粒径为10-25μm。
[0012]
本发明的有益效果在于:由于紫外光固化树脂层具有花纹,增加了和紫外光固化树脂层的粘附面积,降低了紫外光固化树脂层与基材脱离的可能性,在一定温度下,热减粘
胶层进一步交联固化,剥离强度下降,并带有一定体积的收缩,同时紫外光固化树脂层受热膨胀,致使紫外光固化树脂层在被粘结物表面形成支点,进一步达到减粘的效果。本发明提供的热减粘保护膜可以满足粘结牢固的同时,在一定温度下可以实现轻松剥离且无残留。
附图说明
[0013]
图1是本发明的热减粘保护膜的剖视图。
[0014]
图2是紫外光固化树脂层的俯视图。
具体实施方式
[0015]
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。
[0016]
参照图1、图2,一种热减粘保护膜的制备方法,该制备方法包括如下步骤:s1、将pet原料通过挤出机挤出制成pet膜1;s2、在pet膜1的一面涂覆包含有热塑性膨胀微球的紫外光固化树脂2;s3、用模压辊在紫外光固化树脂层2上压出花纹,并在紫外光下固化形成基膜;s4 、对紫外光固化树脂层2表面进行电晕处理或等离子体处理;s5 、在紫外光固化树脂层2的花纹中填充热减粘胶3,热减粘胶3干燥后在热减粘胶上附上离型膜4。
[0017]
由于紫外光固化树脂层具有花纹,增加了和紫外光固化树脂层的粘附面积,降低了紫外光固化树脂层与基材脱离的可能性,在一定温度下,热减粘胶层进一步交联固化,剥离强度下降,并带有一定体积的收缩,同时紫外光固化树脂层受热膨胀,致使紫外光固化树脂层在被粘结物表面形成支点,进一步达到减粘的效果。本发明提供的热减粘保护膜可以满足粘结牢固的同时,在一定温度下可以实现轻松剥离且无残留。
[0018]
作为优选,在s3中,模压辊在紫外光固化树脂层上压出矩阵排列的正四棱锥,相邻的正四棱锥的底面相衔接。所述四棱锥的底面与所述的pet膜接触,所述四棱锥的顶点与所述的离型膜接触。此时,热减粘层和紫外光固化树脂层的接触面积更大。
[0019]
推荐所述pet膜的厚度为30-50μm,所述紫外光固化树脂层以及热减粘胶层的厚度为40-60μm,所述离型膜的厚度为5-10μm,所述热减粘层的粘度为1000-2500cps,剥离强度为500-1200g/inch。
[0020]
本实施例中,所述热塑性膨胀微球为核壳结构热塑性膨胀微球,外壳的材质为热塑性丙烯酸酯聚合物,内核为烷烃类气体组成的微球颗粒,所述热塑性膨胀微球的粒径为10-25μm。
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