着色组合物、膜、红色像素、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置及试剂盒的制作方法

文档序号:32059797发布日期:2022-11-04 22:47阅读:49来源:国知局
着色组合物、膜、红色像素、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置及试剂盒的制作方法

1.本发明涉及一种包含颜料的着色组合物。并且,本发明涉及一种使用着色组合物而成的膜、红色像素、滤色器、固体摄像元件及图像显示装置。并且,本发明涉及一种试剂盒。


背景技术:

2.近年来,随着数位相机、附相机的移动电话等的普及,电荷耦合元件(ccd)影像传感器等固体摄像元件的需求大幅增加。作为显示器或光学元件的核心装置,使用滤色器。滤色器通常具备红色、绿色及蓝色这3原色的像素,并发挥将透过光分解成3原色的作用。
3.滤色器的各色的着色像素使用包含颜料等色料的着色组合物来制造。并且,红色像素形成用着色组合物中,作为红色颜料使用二酮吡咯并吡咯颜料等。例如,在专利文献1中记载有作为二酮吡咯并吡咯颜料使用包含比色指数颜料红272等红色颜料的着色组合物来形成红色像素的技术。
4.以往技术文献
5.专利文献
6.专利文献1:日本特开2015-168725号公报


技术实现要素:

7.发明要解决的技术课题
8.本发明人对包含比色指数颜料红272的着色组合物进行深入研究的结果可知,比色指数颜料红272与其他二酮吡咯并吡咯颜料相比存在结晶性高的倾向,在膜中因结晶化等而产生凝聚,存在作为杂质而容易析出的倾向。尤其,当在湿度高的环境下长时间放置使用包含比色指数颜料红272的着色组合物形成的膜时,因膜中的比色指数颜料红272的结晶化等而产生凝聚,存在作为杂质而容易析出的倾向。
9.从而,本发明的目的在于提供一种能够形成即使在湿度高的环境下长时间放置膜的情况下也可抑制杂质的产生的膜的着色组合物。并且,本发明的目的还在于提供一种使用着色组合物而成的膜、红色像素、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置及试剂盒。
10.用于解决技术课题的手段
11.根据本发明人的研究,发现了通过后述的着色组合物能够实现上述目的,从而完成了本发明。由此,本发明提供以下内容。
12.《1》一种着色组合物,其包含含有比色指数颜料红272的颜料、固化性化合物及溶剂,
13.着色组合物的总固体成分中的颜料的含量为30质量%以上。
14.《2》根据《1》所述的着色组合物,其中,
15.着色组合物的总固体成分中的颜料的含量为50质量%以上。
16.《3》根据《1》或《2》所述的着色组合物,其中,
17.颜料总量中的比色指数颜料红272的含量为10质量%以上。
18.《4》根据《1》至《3》中任一项所述的着色组合物,其中,
19.上述颜料还包含除了比色指数颜料红272以外的红色颜料。
20.《5》根据《1》至《4》中任一项所述的着色组合物,其中,
21.上述颜料还包含黄色颜料。
22.《6》根据《1》至《5》中任一项所述的着色组合物,其还包含颜料衍生物。
23.《7》根据《6》所述的着色组合物,其中,
24.上述颜料衍生物为二酮吡咯并吡咯化合物。
25.《8》根据《1》至《7》中任一项所述的着色组合物,其中,
26.上述固化性化合物包含选自树脂及聚合性化合物中的至少1种。
27.《9》根据《8》所述的着色组合物,其还包含光聚合引发剂。
28.《10》根据《9》所述的着色组合物,其中,
29.上述光聚合引发剂包含选自肟化合物及a-氨基酮化合物中的至少1种。
30.《11》根据《1》至《10》中任一项所述的着色组合物,其为滤色器的红色像素形成用着色组合物。
31.《12》根据《1》至《11》中任一项所述的着色组合物,其为光刻用着色组合物。
32.《13》根据《1》至《12》中任一项所述的着色组合物,其为固体摄像元件用着色组合物。
33.《14》一种膜,其是使用《1》至《13》中任一项所述的着色组合物而得到的。
34.《15》一种红色像素,其是使用《1》至《13》中任一项所述的着色组合物而得到的。
35.《16》一种滤色器,其具有《14》所述的膜。
36.《17》一种滤色器,其具有《15》所述的红色像素、蓝色像素及绿色像素。
37.《18》一种固体摄像元件,其具有《14》所述的膜。
38.《19》一种图像显示装置,其具有《14》所述的膜。
39.《20》一种试剂盒,其具有《1》至《13》中任一项所述的着色组合物、蓝色像素形成用着色组合物及绿色像素形成用着色组合物。
40.发明效果
41.根据本发明,能够提供一种能够形成即使在湿度高的环境下长时间放置膜也可抑制杂质的产生的膜的着色组合物、膜、红色像素、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置及试剂盒。
具体实施方式
42.以下,对本发明的内容进行详细说明。
43.本说明书中,“~”以将记载于其前后的数值作为下限值及上限值而包含的含义使用。
44.本说明书中的基团(原子团)的标记中,未标有经取代及未经取代的标记包含不具有取代基的基团(原子团),并且也包含具有取代基的基团(原子团)。例如,“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基),而且还包含具有取代基的烷基(经取代的烷基)。
45.本说明书中,“曝光”只要没有特别指定,不仅包含使用光的曝光,而且使用电子束、离子束等粒子束的描画也包含于曝光中。并且,作为曝光中所使用的光,可举出水银灯的明线光谱、以准分子激光为代表的远紫外线、极紫外线(euv光)、x射线、电子束等活化光线或放射线。
46.本说明书中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯两者或任一者,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸两者或任一者,“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基两者或任一者。
47.本说明书中,结构式中的me表示甲基,et表示乙基,bu表示丁基,ph表示苯基。
48.本说明书中,重均分子量及数均分子量为通过gpc(凝胶渗透色谱)法测量出的聚苯乙烯换算值。
49.本说明书中,总固体成分是指从组合物的所有成分中去除溶剂的成分的总质量。
50.本说明书中,颜料是指难以溶解于溶剂中的化合物。
51.本说明书中,“工序”这一用语,不仅包含独立的工序,而且即使在无法与其他工序明确地进行区分的情况下,只要发挥该工序的所期待的作用,则也包含于本用语中。
52.《着色组合物》
53.本发明的着色组合物包含含有比色指数颜料红272的颜料、固化性化合物及溶剂,所述着色组合物中,
54.着色组合物的总固体成分中的颜料的含量为30质量%以上。
55.本发明的着色组合物尽管包含c.i.(比色指数)颜料红272,能够形成即使在湿度高的环境下长时间放置所获得的膜的情况下也可抑制杂质的产生的膜。获得这种效果的理由可推测为如下。
56.c.i.颜料红272为分子量相对小的二酮吡咯并吡咯颜料,因此可推测与其他二酮吡咯并吡咯颜料相比倾向于结晶性高,在膜中因结晶化等而产生凝聚,存在作为杂质容易析出的倾向。并且,可推测在湿度高的环境下曝光膜的情况下,膜软化而膜中的二酮吡咯并吡咯颜料移动,倾向于容易形成凝聚。可推测c.i.颜料红272的分子量相对小,因此容易在软化的膜中移动,因此在膜中容易析出杂质。
57.本发明的着色组合物中,通过将着色组合物的总固体成分中的颜料的含量设为30质量%以上,在膜中的颜料彼此的相互作用变强,表现分子量变大,由此能够抑制颜料在软化的膜中移动,其结果,推测即使在高湿度的环境下长时间放置所获得的膜的情况下,也能够抑制杂质的产生。
58.本发明的着色组合物中所使用的c.i.颜料红272与以往的红色颜料相比红色的色值高,因此即使为薄膜也能够形成具有所期望的光谱特性的固化膜。并且,c.i.颜料红272与以往的红色颜料相比红色的色值高,因此能够以比为了实现与以往的红色颜料等同的光谱特性而所需的掺合量少的掺合量来实现所期望的光谱,因此也能够提高除了颜料以外的成分的掺合量,配方设计的自由度高。
59.本发明的着色组合物能够适当地用作固体摄像元件用着色组合物。并且,本发明的着色组合物能够适当地用作滤色器用着色组合物。具体而言,能够适当地用作滤色器的像素形成用着色组合物,能够更适当地用作滤色器的红色像素形成用着色组合物。并且,本发明的着色组合物能够适当地用作固体摄像元件中所使用的滤色器的像素形成用着色组
合物。并且,本发明的着色组合物也能够用作光刻用着色组合物及干式蚀刻用着色组合物中的任一种,但是从形成像素时的工序简略且工序负荷小的理由考虑,可适当地用作光刻用着色组合物。在用作光刻用着色组合物的情况下,本发明的着色组合物优选使用作为固化性化合物包含树脂及聚合性化合物(优选为聚合性单体)的着色组合物。并且,优选还包含光聚合引发剂。并且,本发明的着色组合物也能够用作红外线透射滤波器形成用着色组合物。
60.以下,对本发明的着色组合物中所使用的各成分进行说明。
61.《色料》
62.本发明的着色组合物含有色料。作为色料,可使用包含颜料的色料。色料中的颜料的含量优选为30质量%以上,更优选为50质量%以上,进一步优选为60质量%以上,特别优选为80质量%以上。并且,色料可以仅为颜料。
63.本发明的着色组合物中,作为上述颜料,可使用包含c.i.颜料红272的颜料。c.i.颜料红272为红色颜料。
64.着色组合物中所包含的颜料总量中的c.i.颜料红272的含量优选为10质量%以上,更优选为15质量%以上,进一步优选为20质量%以上。上限也能够设为100质量%以下,也能够设为95质量%以下,也能够设为85质量%以下,也能够设为75质量%以下,也能够设为50质量%以下。
65.并且,红色颜料总量中的c.i.颜料红272的含量优选为25~100质量%,更优选为30~100质量%,进一步优选为40~100质量%。c.i.颜料红272的含量的上限也能够设为90质量%以下,也能够设为80质量%以下。
66.本发明的着色组合物中所使用的颜料还可以包含除了c.i.颜料红272以外的红色颜料。根据该方式,即使在高湿度的环境下长时间放置使用着色组合物获得的膜的情况下,也能够更有效地抑制杂质的产生。
67.并且,本发明的着色组合物中所使用的颜料中所包含的红色颜料实质上也可以仅由c.i.颜料红272构成。根据该方式,能够制造分色性能更高的红色像素。红色颜料实质上仅由c.i.颜料红272构成的情况是指红色颜料中的c.i.颜料红272的含量为99质量%以上,优选为99.9质量%以上,更优选为100质量%。
68.作为除了c.i.颜料红272以外的红色颜料,可举出二酮吡咯并吡咯颜料、蒽醌颜料、偶氮颜料、萘酚颜料、偶氮甲碱颜料、呫吨颜料、喹吖啶酮颜料、苝颜料、硫靛颜料等,优选为二酮吡咯并吡咯颜料、蒽醌颜料、偶氮颜料,进一步优选为二酮吡咯并吡咯颜料。作为其他红色颜料的具体例,可举出后述的实施例中所记载的化合物、c.i.颜料红1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、81:4、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、269、270、279、291、294、295、296、297等。并且,作为其他红色颜料,也能够使用日本特开2020-083982号公报中所记载的苝颜料、日本特开2020-164814号公报中所记载的苝颜料、日本特开2018-035345号公报中所记载的呫吨颜料、日本特开2017-114957号公报中所记载的呫吨颜料等。并且,作为其他红色颜料,也能够使用lumogen f orange 240(basf公司制造、苝颜
料)。作为其他红色颜料,从容易更显著地获得上述的效果的理由考虑,优选为c.i.颜料红81:4、177、179、254、264、269、291、296、297,更优选为c.i.颜料红177、254、264、269、291、296、297,进一步优选为c.i.颜料红254。
69.本发明的着色组合物中所使用的颜料优选还包含黄色颜料。根据该方式,容易形成具有适于红色的像素的光谱特性的膜。进而还能够提高着色组合物的保存稳定性。
70.作为黄色颜料,可举出喹酞酮颜料、异吲哚啉颜料、偶氮颜料、偶氮甲碱颜料、苯并咪唑酮颜料、蝶啶颜料及喹噁啉颜料,优选为喹酞酮颜料、异吲哚啉颜料、偶氮颜料、偶氮甲碱颜料及蝶啶颜料,更优选为异吲哚啉颜料及偶氮颜料,从容易形成具有更适于红色的光谱特性的膜的理由考虑,特别优选为异吲哚啉颜料。
71.作为黄色颜料的具体例,可举出c.i.颜料黄1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214、215、228、231、232(次甲基类)、233(喹啉类)、234(氨基酮类)、235(氨基酮类)、236(氨基酮类)等(以上为黄色颜料)。
72.并且,作为黄色颜料,也能够使用日本特开2017-201003号公报中所记载的化合物、日本特开2017-197719号公报中所记载的化合物、日本特开2017-171912号公报的0011~0062段、0137~0276段中所记载的化合物、日本特开2017-171913号公报的0010~0062段、0138~0295段中所记载的化合物、日本特开2017-171914号公报的0011~0062段、0139~0190段中所记载的化合物、日本特开2017-171915号公报的0010~0065段、0142~0222段中所记载的化合物、日本特开2013-054339号公报的0011~0034段中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014-026228号公报的0013~0058段中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-062644号公报中所记载的异吲哚啉化合物、日本特开218-203798号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-062578号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本专利第6432077号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本专利第6432076号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-155881号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-111757号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-040835号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2017-197640号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2016-145282号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014-085565号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014-021139号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-209614号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-209435号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-181015号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-061622号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-054339号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-032486号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2012-226110号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-074987号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-081565号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-074986号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-074985号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-050420号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-031281号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特公昭48-032765号
公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2019-008014号公报中所记载的喹酞酮化合物、由式(qp1)表示的化合物、由式(qp2)表示的化合物、韩国公开专利第10-2014-0034963号公报中所记载的化合物、日本特开2017-095706号公报中所记载的化合物、中国台湾省专利申请公开第201920495号公报中所记载的化合物、日本专利第6607427号公报中所记载的化合物、日本特开2020-023652号公报中所记载的异吲哚啉化合物。并且,从提高色值的观点考虑,也可适当地使用对这些化合物进行多聚体化而获得的化合物。
73.[化学式1]
[0074][0075]
式(qp1)中,x1~x
16
各自独立地表示氢原子或卤原子,z1表示碳原子数1~3的亚烷基。作为由式(qp1)表示的化合物的具体例,可举出日本专利第6443711号公报的0016段中所记载的化合物。
[0076]
[化学式2]
[0077][0078]
式(qp2)中,y1~y3分别独立地表示卤原子。n、m表示0~6的整数,p表示0~5的整数。(n+m)为1以上。作为由式(qp2)表示的化合物的具体例,可举出日本专利6432077号公报的0047~0048段中所记载的化合物。
[0079]
黄色颜料优选为选自c.i.颜料黄129、c.i.颜料黄138、c.i.颜料黄139、c.i.颜料黄150、c.i.颜料黄185及c.i.颜料黄215、c.i.颜料黄231、c.i.颜料黄233中的至少1种,更优选为c.i.颜料黄139、185、231、233,从能够制造分色性能更高的红色像素的理由考虑,进一步优选为c.i.颜料黄139。
[0080]
作为本发明的着色组合物所包含的颜料中还能够使用橙色颜料、绿色颜料、紫色颜料、蓝色颜料、青色颜料等彩色颜料。作为这些的具体例,可举出以下所示的颜料。
[0081]
c.i.颜料橙2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73等(以上为橙色颜料)、
[0082]
c.i.颜料绿7、10、36、37、58、59、62、63、64(酞菁类)、65(酞菁类)、66(酞菁类)等(以上为绿色颜料)、
[0083]
c.i.颜料紫1、19、23、27、32、37、42、60(三芳基甲烷类)、61(呫吨类)等(以上为紫色颜料)、
[0084]
c.i.颜料蓝1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、29、60、64、66、79、80、87(单偶氮类),88(次甲基类)等(以上为蓝色颜料)。
[0085]
并且,作为绿色颜料,也能够使用一分子中的卤原子数平均为10~14个、溴原子数平均为8~12个、氯原子数平均为2~5个的卤化锌酞菁颜料。作为具体例,可举出国际公开第2015/118720号公报中所记载的化合物。并且,作为绿色颜料,也能够使用中国专利申请第106909027号说明书中所记载的化合物、具有国际公开第2012/102395号中所记载的磷酸酯作为配体的酞菁化合物、日本特开2019-008014号公报中所记载的酞菁化合物、日本特开2018-180023号公报中所记载的酞菁化合物、日本特开2019-038958号公报中所记载的化合物等。
[0086]
并且,作为蓝色颜料,还能够使用具有磷原子的铝酞菁化合物。作为具体例,可举出日本特开2012-247591号公报的0022~0030段、日本特开2011-157478号公报的0047段中记载的化合物。
[0087]
并且,作为绿色颜料、蓝色颜料或青色颜料,也能够使用日本特开2019-152852号公报中所记载的三芳基甲烷化合物。
[0088]
并且,颜料中也能够使用近红外线吸收颜料。近红外线吸收颜料优选为有机颜料。并且,近红外线吸收颜料优选在波长超过700nm且1400nm以下的范围内具有极大吸收波长。并且,近红外线吸收颜料的极大吸收波长优选为1200nm以下,更优选为1000nm以下,进一步优选为950nm以下。并且,近红外线吸收颜料优选波长550nm下的吸光度a
550
与极大吸收波长下的吸光度a
max
的比即a
550
/a
max
为0.1以下,更优选为0.05以下,进一步优选为0.03以下,特别优选为0.02以下。下限并无特别限定,例如能够设为0.0001以上,也能够设为0.0005以上。
[0089]
作为近红外线吸收颜料,并无特别限定,可举出吡咯并吡咯化合物、芮化合物、氧杂菁化合物、方酸化合物、花青化合物、克酮鎓化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物、吡喃鎓化合物、薁化合物、靛蓝化合物及吡咯亚甲基化合物,优选为选自吡咯并吡咯化合物、方酸化合物、花青化合物、酞菁化合物及萘酞菁化合物的至少1种,进一步优选为吡咯并吡咯化合物或方酸化合物,特别优选为吡咯并吡咯化合物。方酸化合物作为近红外线吸收颜料的具体例,可举出后述的实施例中所记载的化合物等。
[0090]
并且,作为色料还能够使用染料。作为染料,并无特别限制,能够使用公知的染料。作为染料,可举出彩色染料、红外线吸收染料等。作为彩色染料,可举出红色染料、橙色染料、绿色染料、紫色染料、蓝色染料、青色染料等。作为近红外线吸收染料,可举出在超过波长700nm且1400nm以下的范围内具有极大吸收波长的染料等。
[0091]
作为彩色染料,可举出吡唑偶氮化合物、苯胺基偶氮化合物、三芳基甲烷化合物、蒽醌化合物、蒽吡啶酮化合物、苯亚甲基化合物、氧杂菁化合物、吡唑并三唑偶氮化合物、吡啶酮偶氮化合物、花青化合物、吩噻嗪化合物、吡咯并吡唑次甲基偶氮化合物、呫吨化合物、酞菁化合物、苯并哌喃化合物、靛蓝化合物、吡咯亚甲基化合物。并且,也能够使用日本特开2012-158649号公报中所记载的噻唑化合物、日本特开2011-184493号公报中所记载的偶氮化合物、日本特开2011-145540号公报中所记载的偶氮化合物、日本特开2020-117638号公报中所记载的呫吨化合物、日本特开2020-079397号公报中所记载的苝染料、日本特开2020-084169号公报中所记载的呫吨染料、日本特开2019-053303号公报中所记载的呫吨染料、日本特开2019-116544号公报中所记载的四氮杂卟啉染料、日本特开2020-021063号公报中所记载的方酸染料、日本特开2020-128494号公报中所记载的方酸染料、日本特开2020-183509号公报中所记载的方酸染料等。
[0092]
作为近红外线吸收染料,可举出吡咯并吡咯化合物、芮化合物、氧杂菁化合物、方酸化合物、花青化合物、克酮鎓化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物、吡喃鎓化合物、薁化合物、靛蓝化合物及吡咯亚甲基化合物。
[0093]
并且,作为染料,也能够使用色素多聚体。色素多聚体优选在一分子中具有2个以上色素结构,具有3个以上色素结构。上限并无特别限定,但是也能够设为100以下。在一分子中所具有的多个色素结构可以为相同的色素结构,也可以为不同的色素结构。色素多聚体的重均分子量(mw)优选为2000~50000。下限更优选为3000以上,进一步优选为6000以上。上限更优选为30000以下,进一步优选为20000以下。色素多聚体也能够使用日本特开2011-213925号公报、日本特开2013-041097号公报、日本特开2015-028144号公报、日本特开2015-030742号公报、日本特开2016-102191号公报、国际公开第2016/031442号等中所记载的化合物、韩国公开专利第10-2020-0028160号公报中所记载的三芳基甲烷染料聚合物、日本特开2019-139240号公报中所记载的三芳基甲烷染料聚合物等。
[0094]
将本发明的着色组合物设为滤色器的红色像素形成用着色组合物的情况下,着色组合物中所包含的色料中的红色色料的含量优选为30质量%以上,更优选为50质量%以上。作为红色色料,可举出红色颜料及红色染料。并且,将本发明的着色组合物设为滤色器的红色像素形成用着色组合物的情况下,着色组合物也优选还包含黄色色料。作为黄色色料,可举出黄色颜料及黄色染料。黄色色料的含量相对于红色色料100质量份优选为1~100质量份,更优选为30~70质量份。并且,着色组合物中所包含的色料中的红色色料与黄色色料的合计的含量优选为70质量%以上,更优选为90质量%以上。
[0095]
将本发明的着色组合物设为红外线透射滤波器形成用的情况下,优选使用2种以上的彩色色料并且由2种以上的彩色色料的组合形成黑色。作为彩色色料,可举出彩色颜料或彩色染料等。作为由2种以上的彩色色料的组合形成黑色时的彩色色料的组合,例如可举出以下。
[0096]
(1)含有黄色色料、蓝色色料、紫色色料及红色色料的方式。
[0097]
(2)含有黄色色料、青色色料、紫色色料及红色色料的方式。
[0098]
(3)含有黄色色料、蓝色色料及红色色料的方式。
[0099]
(4)含有黄色色料、紫色色料及红色色料的方式。
[0100]
(5)含有绿色色料、蓝色色料、紫色色料及红色色料的方式。
[0101]
(6)含有绿色色料、紫色色料及红色色料的方式。
[0102]
(7)含有绿色色料及红色色料的方式。
[0103]
将本发明的着色组合物设为红外线透射滤波器形成用的情况下,还能够含有近红外线吸收颜料或近红外线吸收染料等近红外线吸收色料。
[0104]
着色组合物的总固体成分中的色料的含量为30质量%以上,优选为40质量%以上,更优选为50质量%以上,进一步优选为55质量%以上,更进一步优选为60质量%以上。并且,着色组合物的总固体成分中的色料的含量的上限优选为95质量%以下,更优选为90质量%以下。
[0105]
并且,着色组合物的总固体成分中的颜料的含量为30质量%以上,优选为40质量%以上,更优选为50质量%以上,进一步优选为55质量%以上,更进一步优选为60质量%以上。并且,着色组合物的总固体成分中的颜料的含量的上限优选为95质量%以下,更优选为90质量%以下。
[0106]
着色组合物的总固体成分中的c.i.颜料红272的含量优选为10质量%以上,更优选为15质量%以上,进一步优选为20质量%以上,更进一步优选为25质量%以上,特别优选为30质量%以上。并且,着色组合物的总固体成分中的c.i.颜料红272的含量的上限优选为95质量%以下,更优选为90质量%以下。
[0107]
着色组合物中所包含的颜料包含黄色颜料的情况下,黄色颜料的含量相对于c.i.颜料红272的100质量份优选为10~300质量份,更优选为20~200质量份,进一步优选为30~100质量份。
[0108]
着色组合物中所包含的颜料包含除了c.i.颜料红272以外的红色颜料(以下,也称为其他红色颜料)的情况下,其他红色颜料的含量相对于c.i.颜料红272的100质量份优选为10~400质量份。下限优选为20质量份以上,更优选为30质量份以上,进一步优选为50质量份以上。上限优选为300质量份以下,更优选为250质量份以下,进一步优选为200质量份以下。
[0109]
在着色组合物中所包含的颜料作为其他红色颜料包含c.i.颜料红254的情况下,c.i.颜料红254的含量相对于c.i.颜料红272的100质量份优选为10~400质量份。下限优选为20质量份以上,更优选为30质量份以上,进一步优选为50质量份以上。上限优选为300质量份以下,更优选为250质量份以下,进一步优选为200质量份以下。
[0110]
《固化性化合物》
[0111]
本发明的着色组合物含有固化性化合物。作为固化性化合物,可举出聚合性化合物、树脂等。树脂可以为非聚合性树脂(不具有聚合性基团的树脂),也可以为聚合性树脂(具有聚合性基团的树脂)。作为聚合性基团,可举出含烯属不饱和键的基团、环状醚基、羟甲基、烷氧基甲基等。作为含烯属不饱和键的基团,可举出乙烯基、乙烯基苯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰氧基、(甲基)丙烯酰基酰胺基等,优选为(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基及(甲基)丙烯酰氧基,更优选为(甲基)丙烯酰氧基。作为环状醚基,可举出
环氧基、氧杂环丁基等,优选为环氧基。聚合性化合物优选为聚合性单体。
[0112]
本发明中,作为固化性化合物,优选使用至少包含树脂的化合物。并且,在将着色组合物设为光刻用着色组合物的情况下,作为固化性化合物优选使用树脂及聚合性单体(单体类型聚合性化合物),更优选使用树脂及具有含烯属不饱和键的基团的聚合性单体(单体类型聚合性化合物)。
[0113]
(聚合性化合物)
[0114]
作为聚合性化合物,可举出具有含烯属不饱和键的基团的化合物、具有环状醚基的化合物、具有羟甲基的化合物、具有烷氧基甲基的化合物等。具有含烯属不饱和键的基团的化合物能够适当地用作自由基聚合性化合物。并且,具有环状醚基的化合物、具有羟甲基的化合物、具有烷氧基甲基的化合物能够适当地用作阳离子聚合性化合物。
[0115]
单体类型聚合性化合物(聚合性单体)的分子量优选小于2000,更优选为1500以下。聚合性单体的分子量的下限优选为100以上,更优选为200以上。树脂类型聚合性化合物的重均分子量(mw)优选为2000~2000000。重均分子量的上限优选为1000000以下,更优选为500000以下。重均分子量的下限优选为3000以上,更优选为5000以上。
[0116]
作为聚合性单体的具有含烯属不饱和键的基团的化合物优选为3~15官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,更优选为3~6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。作为具体例,可举出日本特开2009-288705号公报的0095~0108段、日本特开2013-029760号公报的0227段、日本特开2008-292970号公报的0254~0257段、日本特开2013-253224号公报的0034~0038段、日本特开2012-208494号公报的0477段、日本特开2017-048367号公报、日本专利第6057891号公报、日本专利第6031807号公报、日本特开2017-194662号公报中所记载的化合物,且这些内容被编入本说明书中。
[0117]
作为具有含烯属不饱和键的基团的化合物,可举出二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为kayarad d-330;nippon kayaku co.,ltd.制造)、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为kayarad d-320;nippon kayaku co.,ltd.制造)、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为kayarad d-310;nippon kayaku co.,ltd.制造)、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为kayarad dpha;nippon kayaku co.,ltd.制造、nkester a-dph-12e;shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)及经由乙二醇和/或丙二醇残基而键合有这些化合物的(甲基)丙烯酰基的结构的化合物(例如,由sartomer company,inc.市售的sr454、sr499)等。并且,作为具有含烯属不饱和键的基团的化合物,还能够使用二甘油eo(环氧乙烷)改性(甲基)丙烯酸酯(作为市售品,m-460;toagosei co.,ltd.制造)、季戊四醇四丙烯酸酯(shin nakamura chemical co.,ltd.制造,nk ester a-tmmt)、1、6-己二醇二丙烯酸酯(nippon kayaku co.,ltd.制造,kayarad hdda)、rp-1040(nippon kayaku co.,ltd.制造)、aronix t0-2349(toagoseic0.,ltd.制造)、nk oligo ua-7200(shin nakamura chemical co.,ltd.制造)、8uh-1006、8uh-1012(taisei fine chemical co.,ltd.制造)、light acrylate pob-ao(kyoeisha chemical co.,ltd.制造)等。
[0118]
并且,作为具有含烯属不饱和键的基团的化合物,也优选使用三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧丙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、异氰脲酸环氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。作为3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的市售品,可举
出aronix m-309、m-310、m-321、m-350、m-360、m-313、m-315、m-306、m-305、m-303、m-452、m-450(toagosei co.,ltd.制造)、nk ester a9300、a-gly-9e、a-gly-20e、a-tmm-3、a-tmm-3l、a-tmm-3lm-n、a-tmpt、tmpt(shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)、kayarad gpo-303、tmpta、the-330、tpa-330、pet-30(nippon kayaku co.,ltd.制造)等。
[0119]
具有含烯属不饱和键的基团的化合物还可以具有羧基、磺基、磷酸根等酸根。作为这些化合物的市售品,可举出aronix m-305、m-510、m-520、aronix to-2349(toagosei co.,ltd.制造)等。
[0120]
作为具有含烯属不饱和键的基团的化合物,也能够使用具有己内酯结构的化合物。关于具有己内酯结构的化合物,也能够参考日本特开2013-253224号公报的0042~0045段的记载,该内容被编入本说明书中。关于具有己内酯结构的化合物,例如可举出作为kayarad dpca系列而由nippon kayaku co.,ltd.市售的dpca-20、dpca-30、dpca-60、dpca-120等。
[0121]
作为具有含烯属不饱和键的基团的化合物,也能够使用具有含烯属不饱和键的基团及亚烷氧基的化合物。这种化合物优选为具有含烯属不饱和键的基团及亚乙氧基及/或亚丙基氧基的化合物,更优选为具有含烯属不饱和键的基团及亚乙氧基的化合物,进一步优选为具有4~20个亚乙氧基的3~6官能(甲基)丙烯酸酯化合物。作为市售品,例如可举出sartomer company,inc制造的作为具有4个亚乙氧基的4官能(甲基)丙烯酸酯的sr-494、nippon kayaku co.,ltd.制造的作为具有3个异亚丁氧基的3官能(甲基)丙烯酸酯的kayarad tpa-330等。
[0122]
作为具有含烯属不饱和键的基团的化合物,也能够使用具有茀骨架的聚合性化合物。作为市售品,可举出ogsol ea-0200、ea-0300(osaka gas chemicals co.,ltd.制造、具有茀骨架的(甲基)丙烯酸酯单体)等。
[0123]
具有含烯属不饱和键的基团的化合物也优选使用实质上不包含甲苯等环境管制物质的化合物。作为这种化合物的市售品,可举出kayarad dpha lt、kayarad dpea-12lt(nippon kayaku co.,ltd.制造)等。
[0124]
具有含烯属不饱和键的基团的化合物也优选使用ua-7200(shin-nakamura chemical co.,ltd.制造)、dpha-40h(nippon kayaku co.,ltd.制造)、ua-306h、ua-306t、ua-306i、ah-600、t-600、ai-600、linc-202ua(kyoeisha chemical co.,ltd.制造)、8uh-1006、8uh-1012(以上为taisei fine chemical co,.ltd.制造)、light acrylatepob-ao(kyoeisha chemical co.,ltd.制造)等。
[0125]
作为具有环状醚基的化合物,可举出具有环氧基的化合物、具有氧杂环丁基的化合物等,优选为具有环氧基的化合物。作为具有环氧基的化合物,可举出在1分子内具有1~100个环氧基的化合物。环氧基的数的上限例如能够设为10个以下,还能够设为5个以下。环氧基的数的下限优选为2个以上。作为具有环氧基的化合物,也能够使用日本特开2013-011869号公报的0034~0036段、日本特开2014-043556号公报的0147~0156段、日本特开2014-089408号公报的0085~0092段中所记载的化合物、日本特开2017-179172号公报中所记载的化合物,这些内容被编入本说明书中。
[0126]
具有环氧基的化合物可以为低分子化合物(例如,分子量小于1000),也可以为高分子化合物(macromolecule)(例如,分子量1000以上,聚合物的情况下,重均分子量为1000
以上)。具有环氧基的化合物的重均分子量优选为200~100000,更优选为500~50000。重均分子量的上限优选为10000以下,更优选为5000以下,进一步优选为3000以下。
[0127]
作为具有环状醚基的化合物的市售品,例如可举出ehpe3150(daicel corporation制造)、epiclon n-695(dic corporation制造)、marproof g-0150m、g-0105sa、g-0130sp、g-0250sp、g-1005s、g-1005sa、g-1010s、g-2050m、g-01100、g-01758(以上为nof corporation制造,含有环氧基的聚合物)等。
[0128]
作为具有羟甲基的化合物(以下,也称为羟甲基化合物),可举出羟甲基与氮原子或形成芳环的碳原子键合的化合物。并且,作为具有烷氧基甲基的化合物(以下,也称为烷氧基甲基化合物),可举出烷氧基甲基与氮原子或形成芳环的碳原子键合的化合物。作为烷氧基甲基或羟甲基与氮原子键合的化合物,优选为烷氧基甲基化三聚氰胺、羟甲基化三聚氰胺、烷氧基甲基化苯并胍胺、羟甲基化苯并胍胺、烷氧基甲基化甘脲、羟甲基化甘脲、烷氧基甲基化脲及羟甲基化脲等。并且,也能够使用日本特开2004-295116号公报的0134~0147段、日本特开2014-089408号公报的0095~0126段中所记载的化合物。
[0129]
(树脂)
[0130]
本发明的着色组合物能够使用树脂作为固化性化合物。固化性化合物优选使用至少包含树脂的化合物。树脂例如以将颜料等分散于树脂组合物中的用途或粘合剂的用途进行掺合。另外,将主要为了将颜料等分散于树脂组合物中而使用的树脂称为分散剂。但是,树脂的这种用途为一例,也能够以这种用途以外的目的使用树脂。另外,具有聚合性基团的树脂也相当于聚合性化合物。
[0131]
树脂的重均分子量(mw)优选为3000~2000000。上限优选为1000000以下,更优选为500000以下。下限优选为4000以上,更优选为5000以上。
[0132]
作为树脂,可举出(甲基)丙烯酸树脂、环氧树脂、烯-硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚苯撑树脂、聚亚芳基醚氧化膦树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂等。可以从这些树脂中单独使用1种,也可以将2种以上混合使用。并且,作为树脂,也能够使用国际公开第2016/088645号的实施例中所记载的树脂、日本特开2017-057265公报中所记载的树脂、日本特开2017-032685公报中所记载的树脂、日本特开2017-075248公报中所记载的树脂、日本特开2017-066240公报中所记载的树脂、日本特开2017-167513公报中所记载的树脂、日本特开2017-173787公报中所记载的树脂、日本特开2017-206689号公报的0041~0060段中所记载的树脂、日本特开2018-010856号公报的0022~0071段中所记载的树脂、日本特开2016-222891公报中所记载的嵌段聚异氰酸酯树脂(cyanate resin)、日本特开2020-122052公报中所记载的树脂、日本特开2020-111656公报中所记载的树脂、日本特开2020-139021公报中所记载的树脂、日本特开2017-138503号公报中所记载的包含在主链上具有环结构的构成单元及在侧链上具有联苯基的构成单元的树脂、日本特开2020-164814号公报中所记载的树脂、日本特开2019-168686号公报中所记载的树脂、日本特开2020-084169号公报中所记载的树脂。
[0133]
作为树脂,优选使用具有酸根的树脂。作为酸根,例如可举出羧基、磷酸根、磺基、酚性羟基等。这些酸根可以仅为1种,也可以为2种以上。具有酸根的树脂也能够用作分散剂。通过本发明的着色组合物含有具有酸根的树脂,能够通过碱性显影形成所期望的图案。
具有酸根的树脂的酸值优选为30~500mgkoh/g。下限优选为50mgkoh/g以上,更优选为70mgkoh/g以上。上限优选为400mgkoh/g以下,更优选为200mgkoh/g以下,进一步优选为150mgkoh/g以下,最优选为120mgkoh/g以下。
[0134]
本发明的着色组合物也优选包含具有碱性基团的树脂。具有碱性基团的树脂优选为包含在侧链上具有碱性基团的重复单元的树脂,更优选为具有在侧链上具有碱性基团的重复单元及不包含碱性基团的重复单元的共聚物,进一步优选为具有在侧链上具有碱性基团的重复单元及不包含碱性基团的重复单元的嵌段共聚物。具有碱性基团的树脂也能够用作分散剂。具有碱性基团的树脂的胺值优选为5~300mgkoh/g。下限优选为10mgkoh/g以上,更优选为20mgkoh/g以上。上限优选为200mgkoh/g以下,更优选为100mgkoh/g以下。作为具有碱性基团的树脂中所包含的碱性基团,可举出由式(a-1)表示的基团、由式(a-2)表示的基团等。
[0135]
[化学式3]
[0136][0137]
式(a-1)中,r
a1
及r
a2
分别独立地表示氢原子、烷基或芳基,r
a1
与r
a2
可以键合而形成环;
[0138]
式(a-2)中,r
a11
表示氢原子、羟基、烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、酰基或氧自由基,r
a12
~r
a19
分别独立地表示氢原子、烷基或芳基。
[0139]ra1
、r
a2
、r
a11
~r
a19
所表示的烷基的碳原子数优选为1~30,更优选为1~15,进一步优选为1~8,特别优选为1~5。烷基可以为直链、支链、环状中的任一种,优选为直链或支链,更优选为直链。烷基可以具有取代基。
[0140]ra1
、r
a2
、r
a11
~r
a19
所表示的芳基的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~12。芳基可以具有取代基。
[0141]ra11
所表示的烷氧基的碳原子数优选为1~30,更优选为1~15,进一步优选为1~8,特别优选为1~5。烷氧基可以具有取代基。
[0142]ra11
所表示的芳氧基的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~12。芳氧基可以具有取代基。
[0143]ra11
所表示的酰基的碳原子数优选为2~30,更优选为2~20,进一步优选为2~12。酰基可以具有取代基。
[0144]
作为具有碱性基团的树脂的市售品,可举出disperbyk-161、162、163、164、166、167、168、174、182、183、184、185、2000、2001、2050、2150、2163、2164、byk-lpn6919(以上为byk-chemie gmbh制造)、solsperse11200、13240、13650、13940、24000、26000、28000、32000、32500、32550、32600、33000、34750、35100、35200、37500、38500、39000、53095、
56000、7100(以上为lubrizol jaμan limited.制造)、efkapx 4300、4330、4046、4060、4080(以上为basf公司制造)等。并且,具有碱性基团的树脂也能够使用日本特开2014-219665号公报的0063~0112段中所记载的嵌段共聚物(b)、日本特开2018-156021号公报的0046~0076段中所记载的嵌段共聚物a1,这些内容被编入本说明书中。
[0145]
本发明的着色组合物也优选分别包含具有酸根的树脂及具有碱性基团的树脂。根据该方式,能够更提高着色组合物的保存稳定性。并用具有酸根的树脂及具有碱性基团的树脂的情况下,具有碱性基团的树脂的含量相对于具有酸根的树脂的100质量份优选为20~500质量份,更优选为30~300质量份,进一步优选为50~200质量份。
[0146]
作为树脂,也优选含有包含来自于由式(ed1)表示的化合物及/或由式(ed2)表示的化合物(以下,有时将这些化合物也称为“醚二聚物”。)的重复单元的树脂。
[0147]
[化学式4]
[0148][0149]
式(ed1)中,r1及r2分别独立地表示氢原子或可以具有取代基的碳原子数1~25的烃基。
[0150]
[化学式5]
[0151][0152]
式(ed2)中,r表示氢原子或碳原子数1~30的有机基。作为式(ed2)的具体例,能够参考日本特开2010-168539号公报的记载。
[0153]
关于醚二聚物的具体例,能够参考日本特开2013-029760号公报的0317段,该内容被编入本说明书中。
[0154]
作为树脂,也优选使用具有聚合性基团的树脂。聚合性基团优选为含烯属不饱和键的基团及环状醚基,更优选为含烯属不饱和键的基团。
[0155]
作为树脂,也优选使用包含来自于由式(x)表示的化合物的重复单元的树脂。
[0156]
[化学式6]
[0157][0158]
式中,r1表示氢原子或甲基,r
21
及r
22
分别独立地表示亚烷基,n表示0~15的整数。r
21
及r
22
所表示的亚烷基的碳原子数优选为1~10,更优选为1~5,进一步优选为1~3,特别优选为2或3。n表示0~15的整数,优选为0~5的整数,更优选为0~4的整数,进一步优选为0~3的整数。
[0159]
作为由式(x)表示的化合物,可举出对枯基苯酚的环氧乙烷或环氧丙烷改性(甲基)丙烯酸酯等。作为市售品,可举出aronix m-110(toagosei co.,ltd.制造)等。
[0160]
作为树脂,也优选使用具有芳香族羧基的树脂(以下,也称为树脂ac)。树脂ac中,芳香族羧基可以包含在重复单元的主链上,也可以包含在重复单元的侧链上。芳香族羧基优选包含于重复单元的主链上。另外,本说明书中,芳香族羧基是指在芳环键合1个以上羧基的结构的基团。芳香族羧基中,与芳环键合而成的羧基的数量优选为1~4个,更优选为1或2个。
[0161]
树脂ac优选为包含选自由式(ac-1)表示的重复单元及由式(ac-2)表示的重复单元中的至少1种重复单元的树脂。具有芳香族羧基的树脂为具有由式(ac-2)表示的重复单元的树脂的情况下,该树脂可适当地用作分散剂。
[0162]
[化学式7]
[0163][0164]
式(ac-1)中,ar1表示包含芳香族羧基的基团,l1表示-coo-或-conh-,l2表示2价的连结基团。
[0165]
式(ac-2)中,ar
10
表示包含芳香族羧基的基团,l
11
表示-coo-或-conh-,l
12
表示3价的连结基团,p
10
表示聚合物链。
[0166]
作为式(ac-1)中ar1所表示的包含芳香族羧基的基团,可举出来自于芳香族三羧酸酐的结构、来自于芳香族四羧酸酐的结构等。作为芳香族三羧酸酐及芳香族四羧酸酐,可举出下述结构的化合物。
[0167]
[化学式8]
[0168][0169]
上述式中,q1表示单键、-o-、-co-、-cooch2ch2oco-、-so
2-、-c(cf3)
2-、由式(q-1)表示的基团或由式(q-2)表示的基团。
[0170]
[化学式9]
[0171][0172]
ar1所表示的包含芳香族羧基的基团可以具有聚合性基团。聚合性基团优选为含烯属不饱和键的基团及环状醚基,更优选为含烯属不饱和键的基团。
[0173]
作为ar1所表示的包含芳香族羧基的基团的具体例,可举出由式(ar-11)表示的基团、由式(ar-12)表示的基团、由式(ar-13)表示的基团等。
[0174]
[化学式10]
[0175][0176]
式(ar-11)中,n1表示1~4的整数,优选为1或2,更优选为2。
[0177]
式(ar-12)中,n2表示1~8的整数,优选为1~4的整数,更优选为1或2,进一步优选为2。
[0178]
式(ar-13)中,n3及n4分别独立地表示0~4的整数,优选为0~2的整数,更优选为1或2,进一步优选为1。其中,n3及n4的至少一个为1以上的整数。
[0179]
式(ar-13)中,q1表示单键、-o-、-co-、-cooch2ch2oco-、-so
2-、-c(cf3)
2-、由上述式(q-1)表示的基团或由上述式(q-2)表示的基团。
[0180]
式(ar-11)~(ar-13)中,*1表示与l1的键合位置。
[0181]
式(ac-1)中,l1表示-coo-或-conh-,优选表示-coo-。
[0182]
作为式(ac-1)中l2所表示的2价的连结基团,可举出亚烷基、亚芳基、-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-、-s-及组合这些中的2种以上而成的基团。亚烷基的碳原子数优选为1~30,更优选为1~20,进一步优选为1~15。亚烷基可以为直链、支链、环状中的任一种。亚芳基的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~10。亚烷基及亚芳基可以具有取代基。作为取代基,可举出羟基等。l2所表示的2价的连结基团优选为由-l
2a-o-表示的基团。l
2a
可举出亚烷基;亚芳基;亚烷基与亚芳基组合而成的基团;选自亚烷基及亚芳基中的至少1种与选自-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-及-s-中的至少1种组合而成的基团,优选为亚烷基。亚烷基的碳原子数优选为1~30,更优选为1~20,进一步优选为1~15。亚烷基可以为直链、支链、环状中的任一种。亚烷基及亚芳基可以具有取代基。作为取代基,可举出羟基等。
[0183]
作为式(ac-2)中ar
10
所表示的包含芳香族羧基的基团,与式(ac-1)的ar1的含义相同,优选的范围也相同。
[0184]
式(ac-2)中,l
11
表示-coo-或-conh-,优选表示-coo-。
[0185]
作为式(ac-2)中l
12
所表示的3价的连结基团,可举出烃基、-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-、-s-及组合这些中的2种以上而成的基团。烃基可举出脂肪族烃基、芳香族烃基。
脂肪族烃基的碳原子数优选为1~30,更优选为1~20,进一步优选为1~15。脂肪族烃基可以为直链、支链、环状中的任一种。芳香族烃基的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~10。烃基可以具有取代基。作为取代基,可举出羟基等。l
12
所表示的3价的连结基团优选为由式(l12-1)表示的基团,更优选为由式(l12-2)表示的基团。
[0186]
[化学式11]
[0187][0188]
式(l12-1)中,l
12b
表示3价的连结基团,x1表示s,*1表示与式(ac-2)的l
11
的键合位置,*2表示与式(ac-2)的p
10
的键合位置。作为l
12b
所表示的3价的连结基团,可举出烃基;烃基与选自-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-及-s-中的至少1种组合而成的基团等,优选为烃基或烃基与-o-组合而成的基团。
[0189]
式(l12-2)中,l
12c
表示3价的连结基团,x1表示s,*1表示与式(ac-2)的l
11
的键合位置,*2表示与式(ac-2)的p
10
的键合位置。作为l
12c
所表示的3价的连结基团,可举出烃基;烃基与选自-o-、-co-、-coo-、-oco-、-nh-及-s-中的至少1种组合而成的基团等,优选为烃基。
[0190]
式(ac-2)中,p
10
表示聚合物链。p
10
所表示的聚合物链优选具有选自聚(甲基)丙烯酸重复单元、聚醚重复单元、聚酯重复单元及多元醇重复单元中的至少1种重复单元。聚合物链p
10
的重均分子量优选为500~20000。下限优选为1000以上。上限优选为10000以下,更优选为5000以下,进一步优选为3000以下。若p
10
的重均分子量在上述范围内,则组合物中的颜料的分散性良好。
[0191]
p
10
所表示的聚合物链可以包含聚合性基团。聚合性基团优选为含烯属不饱和键的基团及环状醚基,更优选为含烯属不饱和键的基团。
[0192]
式(ac-2)中,p
10
所表示的聚合物链优选为包含由下述式(p-1)~(p-5)表示的重复单元的聚合物链,更优选为包含由(p-5)表示的重复单元的聚合物链。
[0193]
[化学式12]
[0194][0195]
上述式中,r
p1
及r
p2
分别表示亚烷基。作为由r
p1
及r
p2
表示的亚烷基,优选为碳原子
数1~20的直链状或支链状的亚烷基,更优选为碳原子数2~16的直链状或支链状的亚烷基,进一步优选为碳原子数3~12的直链状或支链状的亚烷基。
[0196]
上述式中,r
p3
表示氢原子或甲基。
[0197]
上述式中,l
p1
表示单键或亚芳基,l
p2
表示单键或2价的连结基团。l
p1
优选为单键。作为l
p2
所表示的2价的连结基团,可举出亚烷基(优选为碳原子数1~12的亚烷基)、亚芳基(优选为碳原子数6~20的亚芳基)、-nh-、-so-、-so
2-、-co-、-o-、-coo-、-oco-、-s-、-nhco-、-conh-及组合这些中的2个以上而成的基团。
[0198]rp4
表示氢原子或取代基。作为取代基,可举出羟基、羧基、烷基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基、杂芳氧基、烷基硫醚基、芳基硫醚基、杂芳基硫醚基、含烯属不饱和键的基团等。
[0199]
并且,p
10
所表示的聚合物链更优选为在侧链上具有包含含烯属不饱和键的基团的重复单元的聚合物链。并且,在构成p
10
的总重复单元中,在侧链上包含含烯属不饱和键的基团的重复单元的比例优选为5质量%以上,更优选为10质量%以上,进一步优选为20质量%以上。上限能够设为100质量%,优选为90质量%以下,进一步优选为60质量%以下。
[0200]
并且,p
10
所表示的聚合物链也优选为具有包含酸根的重复单元。作为酸根,可举出羧基、磷酸根、磺基、酚性羟基等。根据该方式,能够更提高着色组合物中的颜料等着色剂的分散性。另外,也能够更提高显影性,并且能够更抑制显影残渣的产生。包含酸根的重复单元的比例优选为1~30质量%,更优选为2~20质量%,进一步优选为3~10质量%。
[0201]
树脂ac还可以包含由式(ac-10)表示的重复单元。
[0202]
[化学式13]
[0203][0204]
式(ac-10)中,ar
21
表示包含芳香族羧基的基团,l
21
及l
22
分别独立地表示-coo-或-conh-,r
21
表示包含含烯属不饱和键的基团的基团。
[0205]
作为ar
21
所表示的包含芳香族羧基的基团,可举出来自于芳香族三羧酸酐的结构、来自于芳香族四羧酸酐的结构等。
[0206]
作为ar
21
所表示的包含芳香族羧基的基团的具体例,可举出由式(ar-21)表示的基团、由式(ar-22)表示的基团、由式(ar-23)表示的基团等。
[0207]
[化学式14]
[0208][0209]
式(ar-21)中,n11表示1~3的整数,优选为1或2。
[0210]
式(ar-22)中,n12表示1~7的整数,优选为1~4的整数,更优选为1或2。
[0211]
式(ar-23)中,n13及n14分别独立地表示0~4的整数,优选为0~2的整数,更优选
为1或2,进一步优选为1。其中,n13及n14中的至少一个为1以上的整数。
[0212]
式(ar-23)中,q1表示单键、-o-、-co-、-cooch2ch2oco-、-so
2-、-c(cf3)
2-、由上述式(q-1)表示的基团或由上述式(q-2)表示的基团。
[0213]
式(ac-10)中,l
21
及l
22
优选为-coo-。
[0214]
作为式(ac-10)中的r
21
所表示的包含含烯属不饱和键的基团的基团中的含烯属不饱和键的基团,可举出乙烯基、乙烯基苯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰氧基、(甲基)丙烯酰基酰胺基等,优选为(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基及(甲基)丙烯酰氧基,更优选为(甲基)丙烯酰氧基。
[0215]r21
所表示的基团中所包含的含烯属不饱和键的基团的数量并无特别限制,从显影性及固化性的观点考虑,优选为1~10,更优选为1~6,进一步优选为1或2,特别优选为1。
[0216]
式(ac-10)的r
21
中,含烯属不饱和键的基团可以直接与式(ac-10)中的ar
21
键合,也可以经由连结基团键合。上述连结基团的碳原子数并无特别限制,优选为1~40,更优选为1~20,进一步优选为2~9,特别优选为3~5。并且,上述连结基团优选为脂肪族基团,优选为二价的脂肪族烃基或将1个以上的二价的脂肪族烃基与选自醚键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键及脲键群中的1个以上的结构键合而成的基团。另外,上述连结基团也可以具有羟基、氨基等取代基。其中,作为取代基,可适当地举出羟基。
[0217]
树脂优选包含作为分散剂的树脂。作为分散剂,可举出酸性分散剂(酸性树脂)、碱性分散剂(碱性树脂)。在此,酸性分散剂(酸性树脂)表示酸根的量多于碱性基团的量的树脂。并且,碱性分散剂(碱性树脂)表示碱性基团的量多于酸根的量的树脂。
[0218]
作为酸性分散剂(酸性树脂),将酸根的量与碱性基团的量的总计量设为100摩尔%时,优选为酸根的量为70摩尔%以上的树脂。酸性分散剂(酸性树脂)所具有的酸根优选为羧基。酸性分散剂(酸性树脂)的酸值优选为5~200mgkoh/g。上限优选为150mgkoh/g以下,更优选为100mgkoh/g以下,进一步优选为80mgkoh/g以下。下限优选为10mgkoh/g以上,更优选为15mgkoh/g以上,进一步优选为20mgkoh/g以上。
[0219]
作为碱性分散剂(碱性树脂),优选为将酸根的量与碱性基团的量的总量设为100摩尔%时碱性基团的量为60摩尔%以上的树脂。碱性分散剂所具有的碱性基团优选为氨基。碱性分散剂(碱性树脂)的胺值优选为5~100mgkoh/g。上限优选为80mgkoh/g以下,更优选为60mgkoh/g以下,进一步优选为45mgkoh/g以下。下限优选为10mgkoh/g以上,更优选为15mgkoh/g以上,进一步优选为20mgkoh/g以上。
[0220]
用作分散剂的树脂也优选接枝树脂。关于接枝树脂的详细内容,能够参考日本特开2012-255128号公报的0025~0094段的记载,且该内容被编入本说明书中。
[0221]
用作分散剂的树脂也优选具有芳香族羧基的树脂(树脂ac)。作为具有芳香族羧基的树脂,可举出上述树脂。
[0222]
用作分散剂的树脂也优选为在主链及侧链中的至少一处包含氮原子的聚亚胺类分散剂。作为聚亚胺类分散剂,优选为具有主链及侧链且在主链及侧链中的至少一处具有碱性氮原子的树脂,该主链包含具有pka14以下的官能团的部分结构,该侧链的原子数为40~10000。碱性氮原子只要是呈碱性的氮原子,则并没有特别限制。关于聚亚胺类分散剂,能够参考日本特开2012-255128号公报的0102~0166段的记载,且该内容被编入本说明书中。
[0223]
用作分散剂的树脂也优选为在芯部键合有多个聚合物链的结构的树脂。作为这种
树脂,例如可举出树状聚合物(包含星型聚合物)。并且,作为树状聚合物的具体例,可举出日本特开2013-043962号公报的0196~0209段中所记载的高分子化合物c-1~c-31等。
[0224]
用作分散剂的树脂也优选为含有在侧链上具有含烯属不饱和键的基团的重复单元的树脂。在侧链上具有含烯属不饱和键的基团的重复单元的含量在树脂的所有重复单元中优选为10摩尔%以上,更优选为10~80摩尔%,进一步优选为20~70摩尔%。并且,分散剂也能够使用日本特开2018-087939号公报中所记载的树脂。
[0225]
分散剂也能够作为市售品而获得,作为其具体例,可举出byk chemie gmbh的disperbyk系列、byk chemie gmbh的byk系列、lubrizol japan limited.制造的solsperse系列、basf公司制造的efka系列、ajinomoto fine-techno co.,inc.制造的ajisper系列等。并且,也能够将日本特开2012-137564号公报的0129段中所记载的产品、日本特开2017-194662号公报的0235段中所记载的产品用作分散剂。
[0226]
并且,用作分散剂的树脂也能够使用日本专利第6432077号公报的0219~0221段中所记载的嵌段共聚物(eb-1)~(eb-9)、日本特开2014-130338号公报的0041~0130段中所记载的颜料分散剂、国际公开第2016/104803号中所记载的具有聚酯侧链的聚乙烯亚胺、国际公开第2019/125940号中所记载的嵌段共聚物、日本特开2020-066687号公报中所记载的具有丙烯酰胺结构单元的嵌段聚合物、日本特开2020-066688号公报中所记载的具有丙烯酰胺结构单元的嵌段聚合物、国际公开第2016/104803号中所记载的分散剂、日本特开2019-095548号公报中所记载的树脂等。
[0227]
着色组合物的总固体成分中的固化性化合物的含量优选为0.1质量%以上且小于70质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上,进一步优选为5质量%以上。上限优选小于50质量%,更优选为45质量%以下。固化性化合物可以仅为1种,也可以为2种以上。2种以上的情况下,这些的总量优选在上述范围内。
[0228]
本发明的着色组合物作为固化性化合物含有聚合性化合物的情况下,着色组合物的总固体成分中的聚合性化合物的含量优选为0.1质量%以上且小于70质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限优选小于50质量%,更优选为45质量%以下。
[0229]
并且,本发明的着色组合物作为固化性化合物含有聚合性单体的情况下,着色组合物的总固体成分中的聚合性单体的含量优选为0.1~50质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限优选为40质量%以下,更优选为35质量%以下。
[0230]
并且,本发明的着色组合物作为固化性化合物含有具有含烯属不饱和键的基团的化合物的情况下,着色组合物的总固体成分中的具有含烯属不饱和键的基团的化合物的含量优选为0.1质量%以上且小于70质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限优选小于50质量%,更优选为45质量%以下。并且,着色组合物的总固体成分中的具有单体类型含烯属不饱和键的基团的化合物(聚合性单体)的含量优选为0.1~50质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限优选为40质量%以下,更优选为35质量%以下。
[0231]
本发明的着色组合物作为固化性化合物含有具有环状醚基的化合物的情况下,着色组合物的总固体成分中的具有环状醚基的化合物的含量优选为0.1~20质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限优选为15质量%以下,更优选为10质量%
trillion:兆分率)级别的有机溶剂,这种有机溶剂例如由toyo gosei co.,ltd提供(化学工业日报,2015年11月13日)。
[0237]
作为自有机溶剂中去除金属等杂质的方法,例如能够举出蒸馏(分子蒸馏或薄膜蒸馏等)或使用了过滤器的过滤。作为过滤中所使用的过滤器的过滤器孔径,优选为10μm以下,更优选为5μm以下,进一步优选为3μm以下。过滤器的材质优选为聚四氟乙烯、聚乙烯或尼龙。
[0238]
有机溶剂可以包含异构体(虽然原子数相同,但是结构不同的化合物)。并且,异构体可以仅包含1种,也可以包含多种。
[0239]
有机溶剂中的过氧化物的含有率优选为0.8mmol/l以下,更优选实质上不包含过氧化物。
[0240]
着色组合物中的溶剂的含量优选为10~95质量%,更优选为20~90质量%,进一步优选为30~90质量%。
[0241]
并且,从环境管制的观点考虑,本发明的着色组合物优选实质上不含环境管制物质。另外,本发明中,实质上不含有环境管制物质是指着色组合物中的环境管制物质的含量为50质量ppm以下,优选为30质量ppm以下,进一步优选为10质量ppm以下,特别优选为1质量ppm以下。环境管制物质例如可举出苯;甲苯、二甲苯等烷基苯类;氯苯等卤化苯类等。这些在reach(registration evaluation authorization and restriction of chemicals)管制、prtr(pollutant release and transfer register)法、voc(volatile organic compounds)管制等下注册为环境管制物质,使用量和处理方法受到严格管制。这些化合物有时在制造用于着色组合物的各成分等时用作溶剂,有时会作为残留溶剂混入着色组合物中。从对人的安全性、对环境的考虑的观点而言,优选尽可能地减少这些物质。作为减少环境管制物质的方法,可举出将系统内部进行加热和减压而设为环境管制物质的沸点以上,并从系统内部中蒸馏去除环境管制物质并将其减少的方法。并且,在蒸馏去除少量的环境管制物质的情况下,为了提高效率而与具有与该溶剂相同的沸点的溶剂共沸也为有用。并且,当含有具有自由基聚合性的化合物时,可以在添加阻聚剂之后减压蒸馏去除,以便抑制在减压蒸馏去除中进行自由基聚合反应导致在分子间进行交联。这些蒸馏去除方法能够在原料阶段、使原料进行反应的产物(例如聚合后的树脂溶液或多官能单体溶液)的阶段或通过混合这些化合物而制作的着色组合物的阶段等中的任一阶段中进行。
[0242]
《颜料衍生物》
[0243]
本发明的着色组合物优选含有颜料衍生物。作为颜料衍生物,可举出具有在色素骨架上键合有酸根或碱性基团的结构的化合物。
[0244]
作为酸根,可举出羧基、磺基、磷酸根、硼酸根、羧酸酰胺基、磺酰胺基、酰亚胺酸基及这些的盐等。作为构成盐的原子或原子团,可举出碱金属离子(li
+
、na
+
、k
+
等)、碱土类金属离子(ca
2+
、mg
2+
等)、铵离子、咪唑鎓离子、吡啶鎓离子、鏻离子等。作为羧酸酰胺基,优选由-nhcor
x1
表示的基团。作为磺酰胺基,优选由-nhso2r
x2
表示的基团。作为酰亚胺酸基,优选由-so2nhso2r
x3
、-conhso2r
x4
、-conhcor
x5
或-so2nhcor
x6
表示的基团,更优选-so2nhso2r
x3
。r
x1
~r
x6
分别独立地表示烷基或芳基。r
x1
~r
x6
所表示的烷基及芳基可以具有取代基。作为取代基,优选为卤原子,更优选为氟原子。
[0245]
作为碱性基团,可举出氨基、吡啶基及其盐、铵基的盐以及邻苯二甲酸亚胺甲基。
作为构成盐的原子或原子团,可举出氢氧根离子、卤离子、羧酸根离子、磺酸根离子、苯氧离子等。
[0246]
从容易形成更抑制杂质的产生的膜的理由考虑,颜料衍生物优选为具有在色素骨架上键合碱性基团的结构的化合物。并且,作为颜料衍生物使用具有在色素骨架上键合酸根的结构的化合物的情况下,通过使用碱性树脂型分散剂能够获得优异的分散稳定性。
[0247]
作为构成颜料衍生物的色素骨架,可举出喹啉色素骨架、苯并咪唑酮色素骨架、苯并异吲哚色素骨架、苯并噻唑色素骨架、亚胺色素骨架、方酸色素骨架、克酮鎓色素骨架、氧杂菁色素骨架、吡咯并吡咯色素骨架、二酮吡咯并吡咯色素骨架、偶氮色素骨架、偶氮甲碱色素骨架、酞菁色素骨架、萘酞菁色素骨架、蒽醌色素骨架、二蒽醌色素骨架、喹吖啶酮色素骨架、二噁嗪色素骨架、紫环酮色素骨架、苝色素骨架、噻嗪靛蓝色素骨架、硫靛色素骨架、异吲哚啉色素骨架、异吲哚啉酮色素骨架、喹酞酮色素骨架、亚胺色素骨架、二硫醇色素骨架、三芳基甲烷色素骨架、吡咯亚甲基色素骨架等,优选为二酮吡咯并吡咯色素骨架、苯并异吲哚色素骨架、蒽醌色素骨架、二蒽醌色素骨架、噻嗪靛蓝色素骨架、偶氮色素骨架、喹酞酮色素骨架及喹吖啶酮色素骨架,更优选为二酮吡咯并吡咯色素骨架。即,颜料衍生物优选为二酮吡咯并吡咯化合物。根据该方式,能够形成红色的色值更高的膜,可更适当地用作红色像素用着色组合物。
[0248]
作为颜料衍生物,优选为由式(syn)表示的化合物。
[0249]
p-(l)m……
(syn)
[0250]
上述式中,p表示色素骨架,
[0251]
m表示1~4的整数,
[0252]
l表示-oh;-so3h、-cooh或这些基团的盐;邻苯二甲酸亚胺甲基;由下述式(a)、(b)、(c)、(d)、(e)或(f)表示的基团。
[0253]
[化学式15]
[0254][0255]
上述式中,x表示-so
2-、-co-、-ch
2-、-ch2nhcoch
2-、-ch2nhso2ch
2-或单键,
[0256]
y表示-nh-、-o-、-s-或单键,
[0257]
n表示1~10的整数,
[0258]r16
及r
17
分别独立地表示氢原子、碳原子数1~30的烷基或碳原子数2~30的烯基,r16
与r
17
可以键合而形成环,
[0259]r18
、r
19
、r
20
、r
21
及r
22
分别独立地表示氢原子、碳原子数1~20的烷基或碳原子数2~20的烯基,
[0260]r23
表示由式(a)表示的基团或由式(b)表示的基团,
[0261]r24
表示卤原子、-oh、烷氧基、由式(a)表示的基团或由式(b)表示的基团,
[0262]
z表示-conh-、-nhco-、-so2nh-或-nhso
2-,
[0263]r25
表示氢原子、-nh2、-nhcoch3、-nhr
26
或由式(c)表示的基团,r
26
表示碳原子数1~20的烷基或碳原子数2~20的烯基。
[0264]
作为式(syn)的p所表示的色素骨架,可举出喹啉色素骨架、苯并咪唑酮色素骨架、苯并异吲哚色素骨架、苯并噻唑色素骨架、亚胺色素骨架、方酸色素骨架、克酮鎓色素骨架、氧杂菁色素骨架、吡咯并吡咯色素骨架、二酮吡咯并吡咯色素骨架、偶氮色素骨架、偶氮甲碱色素骨架、酞菁色素骨架、萘酞菁色素骨架、蒽醌色素骨架、二蒽醌色素骨架、喹吖啶酮色素骨架、二噁嗪色素骨架、紫环酮色素骨架、苝色素骨架、噻嗪靛蓝色素骨架、硫靛色素骨架、异吲哚啉色素骨架、异吲哚啉酮色素骨架、喹酞酮色素骨架、亚胺色素骨架、二硫醇色素骨架、三芳基甲烷色素骨架、吡咯亚甲基色素骨架等,优选为二酮吡咯并吡咯色素骨架、苯并异吲哚色素骨架、蒽醌色素骨架、二蒽醌色素骨架、噻嗪靛蓝色素骨架、偶氮色素骨架、喹酞酮色素骨架及喹吖啶酮色素骨架,更优选为二酮吡咯并吡咯色素骨架。
[0265]
作为式(syn)的l所表示的-so3h或-cooh的盐,可举出钠、钾、镁、钙、铁或铝等1价~3价的金属的盐、铵盐等。作为铵盐,可举出辛基胺、月桂胺及硬脂胺等长链单烷基胺的铵盐;棕榈酸三甲基铵盐、二月桂基二甲基铵盐及二硬脂基二甲基铵盐等季烷基铵盐。
[0266]
作为颜料衍生物的具体例,可举出后述的实施例中所记载的化合物、日本特开昭56-118462号公报、日本特开昭63-264674号公报、日本特开平01-217077号公报、日本特开平03-009961号公报、日本特开平03-026767号公报、日本特开平03-153780号公报、日本特开平03-045662号公报、日本特开平04-285669号公报、日本特开平06-145546号公报、日本特开平06-212088号公报、日本特开平06-240158号公报、日本特开平10-030063号公报、日本特开平10-195326号公报、国际公开第2011/024896号的0086~0098段、国际公开第2012/102399号的0063~0094段、国际公开第2017/038252号的0082段、日本特开2015-151530号公报的0171段、日本特开2011-252065号公报的0162~0183段、日本特开2003-081972号公报、日本专利第5299151号公报、日本特开2015-172732号公报、日本特开2014-199308号公报、日本特开2014-085562号公报、日本特开2014-035351号公报、日本特开2008-081565号公报中所记载的化合物、日本特开2017-138417号公报的0054~0074段中所记载的化合物。
[0267]
含有颜料衍生物的情况下,颜料衍生物的含量相对于颜料100质量份优选为1~30质量份,更优选为1~20质量份,进一步优选为2~10质量份,特别优选为3~8质量份。颜料衍生物可以仅使用1种,也可以并用2种以上。在并用2种以上的情况下,这些的总量优选在上述范围内。
[0268]
《光聚合引发剂》
[0269]
本发明的着色组合物优选包含光聚合引发剂。作为光聚合引发剂,并无特别限制,能够从公知的光聚合引发剂中适当地进行选择。例如,优选为对紫外线区域至可见区域的光线具有感光性的化合物。光聚合引发剂优选为光自由基聚合引发剂。
[0270]
作为光聚合引发剂,可举出卤化烃衍生物(例如具有三嗪骨架的化合物、具有噁二唑骨架的化合物等)、酰基膦化合物、六芳基联咪唑、肟化合物、有机过氧化物、硫代化合物、酮化合物、芳香族鎓盐、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物等。从曝光灵敏度的观点考虑,优选为光聚合引发剂为三卤甲基三嗪化合物、苄基二甲基缩酮化合物、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物、酰基膦化合物、氧化膦化合物、茂金属化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物、环戊二烯-苯-铁错合物、卤代甲基噁二唑化合物及3-芳基取代香豆素化合物,更优选为选自肟化合物、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物及酰基膦化合物中的化合物,从能够形成矩形性及粘附性优异的像素的理由考虑,进一步优选为肟化合物或α-氨基酮化合物,特别优选为肟化合物。并且,作为光聚合引发剂,可举出日本特开2014-130173号公报的0065~0111段、日本专利第6301489公报中所记载的化合物、material stage 37~60p,vol.19,no.3,2019中所记载的过氧化物类光聚合引发剂、国际公开第2018/221177号中所记载的光聚合引发剂、国际公开第2018/110179号中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019-043864号公报中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019-044030号公报中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019-167313号公报中所记载的过氧化物类引发剂、日本特开2020-055992号公报中所记载的具有噁唑烷基的氨基苯乙酮类引发剂、日本特开2013-190459号公报中所记载的肟类光聚合引发剂等,这些内容被编入本说明书中。
[0271]
作为三卤甲基三嗪化合物的市售品,可举出taz-pp(dksh japan制造、2,4-双(三氯甲基)-6-哌啶基-1,3,5-三嗪)等。作为a-羟基酮化合物的市售品,可举出omnirad 184、omnirad 1173、omnirad2959、omnirad127(以上为igm resins b.v.公司制造)、irgacure184、irgacure1173、irgacure 2959、irgacure 127(以上为basf公司制造)等。作为α-氨基酮化合物的市售品,omnirad 907、omnirad 369、omnirad 369e、omnirad 379eg(以上为igm resins b.v.公司制造)、irgacure 907、irgacure 369、irgacure 369e、irgacure 379eg(以上为basf公司制造)等。作为酰基膦化合物的市售品,可举出omnirad 819、omnirad tpo(以上为igm resins b.v.公司制造)、irgacure 819、irgacure tpo(以上为basf公司制造)等。
[0272]
作为肟化合物,可举出日本特开2001-233842号公报中所记载的化合物、日本特开2000-080068号公报中所记载的化合物、日本特开2006-342166号公报中所记载的化合物、j.c.s.perkin ii(1979年、pp.1653-1660)中所记载的化合物、j.c.s.perkin ii(1979年、pp.156-162)中所记载的化合物、journal of photopolymer science and technology(1995年、pp.202-232)中所记载的化合物、日本特开2000-066385号公报中所记载的化合物、日本特表2004-534797号公报中所记载的化合物、日本特开2006-342166号公报中所记载的化合物、日本特开2017-019766号公报中所记载的化合物、日本专利第6065596号公报中所记载的化合物、国际公开第2015/152153号中所记载的化合物、国际公开第2017/051680号中所记载的化合物、日本特开2017-198865号公报中所记载的化合物、国际公开第2017/164127号的0025~0038段中所记载的化合物、国际公开第2013/167515号中所记载的化合物等。作为肟化合物的具体例,可举出3-苯甲酰氧基亚胺基丁烷-2-酮、3-乙酰氧基亚胺基丁烷-2-酮、3-丙酰氧基亚胺基丁烷-2-酮、2-乙酰氧基亚胺基戊烷-3-酮、2-乙酰氧基亚胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲酰氧基亚胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺酰氧基)
亚胺基丁烷-2-酮及2-乙氧基羰氧基亚胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。作为市售品,可举出irgacure oxe01、irgacure oxe02、irgacure oxe03、irgacure oxe04(以上为basf公司制造)、tr-pbg-304(changzhou tronly new electronic materials co.,ltd.制造)、adeka optomer n-1919(adekacorporation制造,日本特开2012-014052号公报中所记载的光聚合引发剂2)。并且,作为肟化合物,也优选使用无着色性的化合物或透明性高且不易变色的化合物。作为市售品,可举出adeka arkls nci-730、nci-831、nci-930(以上为adeka corporation制造)等。
[0273]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有芴环的肟化合物。作为具有芴环的肟化合物的具体例,可举出日本特开2014-137466号公报中所记载的化合物。
[0274]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有咔唑环中的至少一个苯环成为萘环的骨架的肟化合物。作为该种肟化合物的具体例,可举出国际公开第2013/083505号中所记载的化合物。
[0275]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有氟原子的肟化合物。作为具有氟原子的肟化合物的具体例,可举出日本特开2010-262028号公报中所记载的化合物、日本特表2014-500852号公报中所记载的化合物24、36~40、日本特开2013-164471号公报中所记载的化合物(c-3)等。
[0276]
作为光聚合引发剂,能够使用具有硝基的肟化合物。将具有硝基的肟化合物也优选设为二聚体。作为具有硝基的肟化合物的具体例,可举出日本特开2013-114249号公报的0031~0047段、日本特开2014-137466号公报的0008~0012、0070~0079段中所记载的化合物、日本专利4223071号公报的0007~0025段中所记载的化合物、adeka arkls nci-831(adeka corporation制造)。
[0277]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有苯并呋喃骨架的肟化合物。作为具体例,可举出国际公开第2015/036910号中所记载的oe-01~oe-75。
[0278]
作为光聚合引发剂,也能够使用在咔唑骨架键合有具有羟基的取代基的肟化合物。作为这种光聚合引发剂,可举出国际公开第2019/088055号中所记载的化合物等。
[0279]
作为光聚合引发剂,也能够使用具有在芳环导入吸电子基团而成的芳环基ar
ox1
的肟化合物(以下,也称为肟化合物ox)。作为上述芳环基ar
ox1
所具有的吸电子基团,可举出酰基、硝基、三氟甲基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、氰基,优选为酰基及硝基,从容易形成耐光性优异的膜的理由考虑,更优选为酰基,进一步优选为苯甲酰基。苯甲酰基可以具有取代基。作为取代基,优选为卤原子、氰基、硝基、羟基、烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烯基、烷基硫烷基、芳基硫烷基、酰基或氨基,更优选为烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环氧基、烷基硫烷基、芳基硫烷基或氨基,进一步优选为烷氧基、烷基硫烷基或氨基。
[0280]
肟化合物ox优选为选自由式(ox1)表示的化合物及由式(ox2)表示的化合物中的至少1种,更优选为由式(ox2)表示的化合物。
[0281]
[化学式16]
[0282][0283]
式中,r
x1
表示烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫烷基、芳基硫烷基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、酰基、酰氧基、氨基、膦酰基、氨基甲酰基或胺磺酰基,
[0284]rx2
表示烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫烷基、芳基硫烷基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、酰氧基或氨基,
[0285]rx3
~r
x14
分别独立地表示氢原子或取代基;
[0286]
其中,r
x10
~r
x14
中的至少一个为吸电子基团。
[0287]
上述式中,r
x1
优选为烷基、烷氧基、芳基、芳氧基或杂环基,更优选为烷基、芳基或杂环基,进一步优选为烷基。并且,r
x2
优选为烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基或酰氧基,更优选为烷基、烯基、芳基或杂环基,进一步优选为烷基。
[0288]
上述式中,r
x3
~r
x14
分别独立地表示氢原子或取代基。
[0289]rx3
~r
x5
优选分别独立地为氢原子、卤原子、氰基、硝基、烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫烷基、芳基硫烷基、酰基或氨基,更优选为氢原子、卤原子、硝基、烷基、芳基或杂环基,进一步优选为氢原子、硝基、烷基或芳基,特别优选为氢原子。
[0290]rx6
~r
x10
优选分别独立地为氢原子、卤原子、氰基、烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫烷基、芳基硫烷基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、氨基、由式(or-11)表示的基团或由式(or-12)表示的基团,更优选为氢原子、卤原子、氰基、烷基、芳基、杂环基或氨基,进一步优选为氢原子、氰基、烷基或芳基,更进一步优选为氢原子、烷基或芳基,更进一步优选为氢原子或烷基,特别优选为氢原子。
[0291]
[化学式17]
[0292][0293]
式中,r
ox11
表示烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫烷基、
芳基硫烷基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、酰基、酰氧基、氨基、膦酰基、氨基甲酰基或胺磺酰基,
[0294]rox12
表示烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫烷基、芳基硫烷基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、酰氧基或氨基,
[0295]
波线表示键合键。
[0296]rx10
~r
x14
所表示的取代基优选为硝基、卤原子、氰基、烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烯基、烷基硫烷基、芳基硫烷基、酰基或氨基。其中,r
x10
~r
x14
中的至少一个为吸电子基团。
[0297]
作为r
x10
~r
x14
所表示的吸电子基团,可举出酰基、硝基、三氟甲基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、氰基,优选为酰基及硝基,从容易形成耐光性优异的膜的理由考虑,更优选为酰基,进一步优选为苯甲酰基。苯甲酰基可以具有取代基。作为取代基,优选为卤原子、氰基、硝基、羟基、烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烯基、烷基硫烷基、芳基硫烷基、酰基或氨基,更优选为烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环氧基、烷基硫烷基、芳基硫烷基或氨基,进一步优选为烷氧基、烷基硫烷基或氨基。
[0298]
上述式中,优选r
x12
为吸电子基团,r
x10
、r
x11
、r
x13
、r
x14
为氢原子。
[0299]
作为肟化合物ox的具体例,可举出日本专利第4600600号公报的0083~0105段中所记载的化合物。
[0300]
以下示出在本发明中适当地使用的肟化合物的具体例,但本发明并不限定于这些。
[0301]
[化学式18]
[0302][0303]
[化学式19]
[0304][0305]
[化学式20]
[0306][0307]
[化学式21]
[0308][0309]
[化学式22]
[0310][0311]
[化学式23]
[0312][0313]
肟化合物优选为在波长350~500nm的范围内具有极大吸收波长的化合物,更优选为在波长360~480nm的范围内具有极大吸收波长的化合物。并且,从灵敏度的观点考虑,优选肟化合物在波长365nm或波长405nm下的摩尔吸光系数高,更优选为1000~300000,进一步优选为2000~300000,特别优选为5000~200000。化合物的摩尔吸光系数能够使用公知的方法进行测量。例如,优选通过分光光度计(varian公司制造的cary-5分光光度计(spectrophotometer)),使用乙酸乙酯溶剂以0.01g/l的浓度测量。
[0314]
作为光聚合引发剂,可以使用2官能或3官能以上的光自由基聚合引发剂。通过使用这种光自由基聚合引发剂,由光自由基聚合引发剂的一分子产生2个以上的自由基,因此可获得良好的灵敏度。并且,在使用非对称结构的化合物的情况下,结晶性下降而在溶剂等中的溶解性得到提高,随时间而变得难以析出,从而能够提高着色组合物的经时稳定性。作为2官能或3官能以上的光自由基聚合引发剂的具体例,可举出日本特表2010-527339号公报、日本特表2011-524436号公报、国际公开第2015/004565号、日本特表2016-532675号公报的0407~0412段、国际公开第2017/033680号的0039~0055段中所记载的肟化合物的二聚体、日本特表2013-522445号公报中所记载的化合物(e)及化合物(g)、国际公开第2016/034963号中所记载的cmpd1~7、日本特表2017-523465号公报的0007段中所记载的肟酯类光引发剂、日本特开2017-167399号公报的0020~0033段中所记载的光引发剂、日本特开
2017-151342号公报的0017~0026段中所记载的光聚合引发剂(a)、日本专利第6469669号公报中所记载的肟酯光引发剂等。
[0315]
着色组合物的总固体成分中的光聚合引发剂的含量优选为0.1~20质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限优选为10质量%以下,更优选为7.5质量%以下,进一步优选为5质量%以下。光聚合引发剂可以为单独1种,也可以并用2种以上。并用2种以上的情况下,这些的合计优选在上述范围内。
[0316]
《固化促进剂》
[0317]
本发明的着色组合物可以包含固化促进剂。作为固化促进剂,可举出硫醇化合物、羟甲基化合物、胺化合物、鏻盐化合物、脒氯化合物、酰胺化合物、碱产生剂、异氰酸酯化合物、烷氧基硅烷化合物、鎓盐化合物等。作为固化促进剂的具体例,可举出国际公开第2018/056189号的0094~0097段中所记载的化合物、日本特开2015-034963号公报的0246~0253段中所记载的化合物、日本特开2013-041165号公报的0186~0251段中所记载的化合物、日本特开2014-055114号公报中所记载的离子性化合物、日本特开2012-150180号公报的0071~0080段中所记载的化合物、日本特开2011-253054号公报中所记载的具有环氧基的烷氧基硅烷化合物、日本专利第5765059号公报的0085~0092段中所记载的化合物、日本特开2017-036379号公报中所记载的含羧基的环氧固化剂等。含有固化促进剂的情况下,着色组合物的总固体成分中的固化促进剂的含量优选为0.3~8.9质量%,更优选为0.8~6.4质量%。
[0318]
《紫外线吸收剂》
[0319]
本发明的着色组合物能够含有紫外线吸收剂。紫外线吸收剂能够使用共轭二烯化合物、氨基二烯化合物、水杨酸酯化合物、二苯甲酮化合物、苯并三唑化合物、丙烯腈化合物、羟基苯基三嗪化合物、吲哚化合物、三嗪化合物等。作为这些化合物,可举出日本特开2009-217221号公报的0038~0052段、日本特开2012-208374号公报的0052~0072段、日本特开2013-068814号公报的0317~0334段、日本特开2016-162946号公报的0061~0080段中所记载的化合物,这些内容被编入本说明书中。作为紫外线吸收剂的具体例,可举出下述结构的化合物等。作为紫外线吸收剂的市售品,例如可举出uv-503(daito chemical co.,ltd.制造)、basf公司制造的tinuvin系列、uvinul(uvinul)系列、sumika chemtex company,limited制造的sumisorb系列等。并且,作为苯并三唑化合物,可举出miyoshi oil&fat co.,ltd.制造的myua系列(化学工业日报、2016年2月1日)。并且,紫外线吸收剂也能够使用日本专利第6268967号公报的0049~0059段中所记载的化合物、国际公开第2016/181987号的0059~0076段中所记载的化合物、国际公开第2020/137819号中所记载的硫代芳基取代苯并三唑型紫外线吸收剂。
[0320]
[化学式24]
[0321][0322]
含有紫外线吸收剂的情况下,着色组合物的总固体成分中的紫外线吸收剂的含量优选为0.01~10质量%,更优选为0.01~5质量%。本发明中,紫外线吸收剂可以仅使用1种,也可以使用2种以上。当使用2种以上时,优选总量成为上述范围。
[0323]
《阻聚剂》
[0324]
本发明的着色组合物能够含有阻聚剂。作为阻聚剂,可举出对苯二酚、对甲氧基苯酚、二叔丁基-对甲酚、邻苯三酚、叔丁基儿茶酚、苯醌、4,4
’‑
硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2
’‑
亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、n-亚硝基苯基羟胺盐(铵盐、亚铈盐等)。其中,优选为对甲氧基苯酚。含有阻聚剂的情况下,着色组合物的总固体成分中的阻聚剂的含量优选为0.0001~5质量%。阻聚剂可以仅为1种,也可以为2种以上。2种以上的情况下,总量优选在上述范围内。
[0325]
《硅烷偶联剂》
[0326]
本发明的着色组合物能够含有硅烷偶联剂。本发明中,硅烷偶联剂是指具有水解性基和除其以外的官能团的硅烷化合物。并且,水解性基是指与硅原子直接键合,并通过水解反应及缩合反应中的至少一种而可产生硅氧烷键的取代基。作为水解性基,例如可举出卤原子、烷氧基、酰氧基等,优选为烷氧基。即,硅烷偶联剂优选为具有烷氧基硅基的化合物。并且,作为除了水解性基以外的官能团,例如,可举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基、巯基、环氧基、氧杂环丁基、氨基、脲基、硫醚基、异氰酸酯基、苯基等,优选为氨基、(甲基)丙烯酰基及环氧基。作为硅烷偶联剂的具体例,有n-β-氨基乙基-γ-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名kbm-602)、n-β-氨基乙基-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名kbm-603)、n-β-氨基乙基-γ-氨基丙基三乙氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名kbe-602)、γ-氨基丙基三甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名kbm-903)、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名kbe-903)、3-甲基丙烯酰氧丙基甲基二甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名kbm-502)、3-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、产品名kbm-503)等。并且,关于硅烷偶联剂的具体例,可举出日本特开2009-288703号公报的0018~0036段中所记载的化合物、日本特开2009-242604号公报的0056~0066段中所记载的化合物,且这些内容被编入本说明书中。含有硅烷偶联剂的情况下,着色组合物的总固体成分中的硅烷偶联剂的含量优选为0.01~15.0质量%,更优选为0.05~10.0质量%。硅烷偶联剂可以仅为1种,也可以为2种以上。2种以上的情况下,总量优选在上述范围内。
[0327]
《表面活性剂》
[0328]
本发明的着色组合物能够含有表面活性剂。作为表面活性剂,能够使用氟系表面活性剂、非离子系表面活性剂、阳离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂、硅酮系表面活性剂等各种表面活性剂。关于表面活性剂,可举出国际公开第2015/166779号的0238~0245段中所记载的表面活性剂,且该内容被编入本说明书中。
[0329]
表面活性剂优选为氟系表面活性剂。通过在着色组合物中含有氟系表面活性剂,液特性(尤其是流动性)得到进一步提高,能够进一步改善省液性。并且,也能够形成厚度不均匀小的膜。
[0330]
并且,作为表面活性剂,也优选使用硅酮系表面活性剂。
[0331]
氟系表面活性剂中的含氟率优选为3~40质量%,更优选为5~30质量%,特别优选为7~25质量%。含氟率在该范围内的氟系表面活性剂在涂布膜的厚度均匀性和省液性的观点上有效,在着色组合物中的溶解性也良好。
[0332]
作为氟系表面活性剂,可举出日本特开2014-041318号公报的0060~0064(对应的国际公开第2014/017669号的0060~0064段)段等中所记载的表面活性剂、日本特开2011-132503号公报的0117~0132段中所记载的表面活性剂、日本特开2020-008634号公报中所记载的表面活性剂,这些内容被编入本说明书中。作为氟系表面活性剂的市售品,例如可举出megaface f-171、f-172、f-173、f-176、f-177、f-141、f-142、f-143、f-144、r30、f-437、f-475、f-477、f-479、f-482、f-554、f-555-a、f-556、f-557、f-558、f-559、f-560、f-561、f-565、f-563、f-568、f-575、f-780、exp、mfs-330、r-01、r-40、r-40-lm、r-41、r-41-lm、rs-43、r-43、tf-1956、rs-90、r-94、rs-72-k、ds-21(以上为dic corporation制造)、fluorad fc430、fc431、fc171(以上为sumitomo 3m limited制造)、surflon s-382、sc-101、sc-103、sc-104、sc-105、sc-1068、sc-381、sc-383、s-393、kh-40(以上为agc inc.制造)、polyfox pf636、pf656、pf6320、pf6520、pf7002(以上为omnova solutions inc.制造)、futurgent208g、215m、245f、601ad、601adh2、602a、610fm、710fl、710fm、710fs、ftx-218、(以上为neos制造)等。
[0333]
并且,氟系表面活性剂也能够适当地使用丙烯酸类化合物,该丙烯酸类化合物具备具有含有氟原子的官能团的分子结构,且施加热时含有氟原子的官能团部分被切断而氟原子挥发。作为这种氟系表面活性剂,可举出dic corporation制造的megaface ds系列(化学工业日报(2016年2月22日)、日经产业新闻(2016年2月23日)),例如可举出megaface ds-21。
[0334]
并且,关于氟系表面活性剂,也优选使用具有氟化烷基或氟化亚烷基醚基的含氟原子的乙烯基醚化合物与亲水性乙烯基醚化合物的聚合物。这种氟系表面活性剂可举出日本特开2016-216602号公报中所记载的氟系表面活性剂,该内容被编入本说明书中。
[0335]
氟系表面活性剂也能够使用嵌段聚合物。氟系表面活性剂也能够适当地使用含氟高分子化合物,该含氟高分子化合物包含:来自于具有氟原子的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元;及来自于具有2个以上(优选为5个以上)的亚烷氧基(优选为亚乙氧基、亚丙氧基)的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元。并且,日本特开2010-032698号公报的0016~0037段中所记载的含氟表面活性剂、下述化合物也例示为本发明中所使用的氟系表面活性剂。
[0336]
[化学式25]
[0337][0338]
上述化合物的重均分子量优选为3000~50000,例如为14000。上述化合物中,表示重复单元的比例的%为摩尔%。
[0339]
并且,氟系表面活性剂也能够使用在侧链上具有含烯属不饱和键的基团的含氟聚合物。作为具体例,可举出日本特开2010-164965号公报的0050~0090段及0289~0295段中所记载的化合物、dic corporation制造的megaface rs-101、rs-102、rs-718k、rs-72-k等。并且,氟系表面活性剂也能够使用日本特开2015-117327号公报的0015~0158段中所记载的化合物。
[0340]
并且,从环境管制的观点考虑,也优选将国际公开第2020/084854号中所记载的表面活性剂用作具有碳原子数6以上的全氟烷基的表面活性剂的代替。
[0341]
并且,也优选将由式(fi-1)表示的含氟酰亚胺氯化合物用作表面活性剂。
[0342]
[化学式26]
[0343][0344]
式(fi-1)中,m表示1或2,n表示1~4的整数,a表示1或2,x
a+
表示a价的金属离子、伯铵离子、仲铵离子、叔铵离子、季铵离子或nh
4+

[0345]
作为非离子系表面活性剂,可举出丙三醇(glycerol)、三羟甲基丙烷、三羟甲基乙烷及这些的乙氧基化物及丙氧基化物(例如,丙三醇丙氧基化物、丙三醇乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、pluronic l10、l31、l61、l62、10r5、17r2、25r2(basf公司制造)、tetronic 304、701、704、901、904、150r1(basf公司制造)、solsperse 20000(japan lubrizol corporation制造)、ncw-101、ncw-1001、ncw-1002(fujifilm wako pure chemical corporation制造)、pionin d-6112、d-6112-w、d-6315(takemoto oil&fat co.,ltd.制造)、olfin e1010、surfynol 104、400、440(nissin chemical co.,ltd.制造)等。
[0346]
作为硅酮系表面活性剂,例如可举出dc3pa、sh7pa、dcl1pa、sh21pa、sh28pa、sh29pa、sh30pa、sh8400、fz-2122(以上为dow toray co.,ltd.制造)、tsf-4440、tsf-4300、
tsf-4445、tsf-4460、tsf-4452(以上为momentive performance materials inc.制造)、kp-341、kf-6000、kf-6001、kf-6002、kf-6003(以上为shin-etsu chemical co.,ltd.制造)、byk-307、byk-323、byk-330、byk-333、byk-3760、byk-uv3510(以上为bykchemie gmbh制造)等可举出。
[0347]
含有表面活性剂的情况下,着色组合物的总固体成分中的表面活性剂的含量优选为0.001质量%~5.0质量%,更优选为0.005~3.0质量%。表面活性剂可以仅为1种,也可以为2种以上。2种以上的情况下,总量优选在上述范围内。
[0348]
《抗氧化剂》
[0349]
本发明的着色组合物能够含有抗氧化剂。作为抗氧化剂,可举出酚化合物、亜磷酸酯化合物、硫醚化合物等。作为酚化合物,能够使用被称作酚系抗氧化剂的任意的酚化合物。作为优选的酚化合物,可举出受阻酚化合物。优选在与酚性羟基相邻的部位(邻位)具有取代基的化合物。作为所述取代基,优选为碳原子数1~22的经取代或未经取代的烷基。并且,抗氧化剂也优选在同一分子内具有酚基和亜磷酸酯基的化合物。并且,抗氧化剂也能够适当地使用磷系抗氧化剂。着色组合物的总固体成分中的抗氧化剂的含量优选为0.01~20质量%,更优选为0.3~15质量%。含有抗氧化剂的情况下,抗氧化剂可以仅使用1种,也可以使用2种以上。当使用2种以上时,优选总量成为上述范围。
[0350]
《其他成分》
[0351]
根据需要,本发明的着色组合物还可以含有敏化剂、固化促进剂、填充剂、热固化促进剂、增塑剂及其他助剂类(例如,导电性粒子、填充剂、消泡剂、阻燃剂、流平剂、剥离促进剂、香料、表面张力调节剂、链转移剂等)。能够通过适当地含有这些成分来调节膜物性等性质。关于这些成分,例如,能够参考日本特开2012-003225号公报的0183段以后(所对应的美国专利申请公开第2013/0034812号说明书的0237段)的记载、日本特开2008-250074号公报的0101~0104、0107~0109段等的记载,且这些内容被编入本说明书中。并且,根据需要,本发明的着色组合物还可以含有潜在抗氧化剂。作为潜在抗氧化剂,可举出作为抗氧化剂发挥作用的部位被保护基保护的化合物,且保护基通过在100~250℃下进行加热或在酸/碱催化剂存在下在80~200℃下进行加热而脱离并作为抗氧化剂发挥作用的化合物。作为潜在抗氧化剂,可举出国际公开第2014/021023号、国际公开第2017/030005号、日本特开2017-008219号公报中所记载的化合物。作为潜在抗氧化剂的市售品,可举出adeka arkls gpa-5001(adeka corporation制造)等。并且,如日本特开2018-155881号公报中所记载,可以以改良耐候性的目的添加c.i.颜料黄129。
[0352]
为了调节所获得的膜的折射率,本发明的着色组合物可以含有金属氧化物。作为金属氧化物,可举出tio2、zro2、al2o3、sio2等。金属氧化物的一次粒径优选为1~100nm,更优选为3~70nm,进一步优选为5~50nm。金属氧化物可以具有核壳结构。并且,在该情况下,芯部可以为中空状。
[0353]
本发明的着色组合物可以包含耐光性改良剂。作为耐光性改善剂,可举出日本特开2017-198787号公报的0036~0037段中所记载的化合物、日本特开2017-146350号公报的0029~0034段中所记载的化合物、日本特开2017-129774号公报的0036~0037、0049~0052段中所记载的化合物、日本特开2017-129674号公报的0031~0034、0058~0059段中所记载的化合物、日本特开2017-122803号公报的0036~0037、0051~0054段中所记载的化合物、
国际公开第2017/164127号的0025~0039段中所记载的化合物、日本特开2017-186546号公报的0034~0047段中所记载的化合物、日本特开2015-025116号公报的0019~0041段中所记载的化合物、日本特开2012-145604号公报的0101~0125段中所记载的化合物、日本特开2012-103475号公报的0018~0021段中所记载的化合物、日本特开2011-257591号公报的0015~0018段中所记载的化合物、日本特开2011-191483号公报的0017~0021段中所记载的化合物、日本特开2011-145668号公报的0108~0116段中所记载的化合物、日本特开2011-253174号公报的0103~0153段中所记载的化合物等。
[0354]
本发明的着色组合物的含水率通常为3质量%以下,优选为0.01~1.5质量%,更优选为0.1~1.0质量%的范围。含水率能够通过karl fischer法进行测量。
[0355]
以调节膜面状(平坦性等)、调节膜厚等为目的,本发明的着色组合物能够调节粘度来使用。粘度的值能够根据需要适当地选择,但是例如在25℃条件下优选为0.3mpa
·
s~50mpa
·
s,更优选为0.5mpa
·
s~20mpa
·
s。作为粘度的测量方法,例如能够使用锥板类型粘度计在将温度调节成25℃的状态下进行测量。
[0356]
作为本发明的着色组合物的收容容器,并无特别限制,能够使用公知的收容容器。并且,作为收容容器,以抑制杂质混入原材料或组合物中为目的,也优选使用由6种6层的树脂构成容器内壁的多层瓶或将6种树脂设为7层结构的瓶。作为这种容器,例如可举出日本特开2015-123351号公报中所记载的容器。
[0357]
《着色组合物的制备方法》
[0358]
本发明的着色组合物能够通过混合所述成分而制备。制备着色组合物时,可以将所有成分同时溶解和/或分散于溶剂中而制备着色组合物,也可以根据需要,将各成分适当地作为2个以上的溶液或分散液,并在使用时(涂布时)将这些进行混合而制备着色组合物。
[0359]
并且,制备着色组合物时,优选包含使颜料分散的步骤。作为在使颜料分散的步骤中用于颜料的分散的机械力,可举出压缩、压榨、冲击、剪切、气蚀等。作为这些步骤的具体例,可举出珠磨、砂磨、辊磨、球磨、涂料搅拌、微射流、高速叶轮、混砂、喷射流混合、高压湿式微粒化、超声波分散等。并且,在砂磨(珠磨)下的颜料的粉碎中,优选以如下条件进行处理,该条件为通过使用直径小的微珠,且提高微珠的填充率等而提高粉碎效率。并且,优选在粉碎处理后通过过滤、离心分离等而去除粗粒子。并且,关于使颜料分散的步骤及分散机,能够适当地使用“分散技术大全集、johokiko co.,ltd.发行,2005年7月15日”或“以悬浮液(固体/液体分散体系)为中心的分散技术与工业上的实际应用综合资料集,经营开发中心出版部发行,1978年10月10日”、日本特开2015-157893号公报的0022段中所记载的步骤及分散机。并且,在使颜料分散的工序中,可以通过盐磨工序进行粒子的微细化处理。在盐磨工序中所使用的原材料、设备、处理条件等例如能够参考日本特开2015-194521号公报、日本特开2012-046629号公报的记载。
[0360]
制备着色组合物时,为了去除杂质或降低缺陷等,优选用过滤器过滤着色组合物。作为过滤器,只要是一直以来用于过滤用途等的过滤器,则能够无特别限制地进行使用。例如可举出使用聚四氟乙烯(ptfe)等氟树脂、尼龙(例如尼龙-6、尼龙-6,6)等聚酰胺树脂、聚乙烯、聚丙烯(pp)等聚烯烃树脂(包含高密度、超高分子量的聚烯烃树脂)等原材料的过滤器。在这些原材料之中,优选为聚丙烯(包含高密度聚丙烯)及尼龙。
[0361]
过滤器的孔径优选为0.01~7.0μm,更优选为0.01~3.0μm,进一步优选为0.05~
0.5μm。只要过滤器的孔径在上述范围,则能够更可靠地去除微细的杂质。关于过滤器的孔径值,能够参考过滤器制造商标称值。关于过滤器,能够使用由nihon pall ltd.(dfa4201niey等)、advantec toyo kaisha,ltd.,japan entegris inc.(旧japan microlis co.,ltd.)及kitz micro filter corporation等提供的各种过滤器。
[0362]
并且,作为过滤器,也优选使用纤维状的过滤材料。作为纤维状的过滤材料,例如可举出聚丙烯纤维、尼龙纤维、玻璃纤维等。作为市售品,可举出roki techno co.,ltd.制造的sbp类型系列(sbp008等)、tpr类型系列(tpr002、tpr005等)、shpx类型系列(shpx003等)。在使用过滤器时,可以组合不同的过滤器(例如,第1过滤器和第2过滤器等)。此时,用各过滤器的过滤可以仅进行1次,也可以进行2次以上。并且,可以在上述范围内组合不同孔径的过滤器。并且,也可以用第1过滤器的过滤仅对分散液进行,在混合其他成分之后,用第2过滤器进行过滤。
[0363]
《膜》
[0364]
本发明的膜为由上述本发明的着色组合物获得的膜。本发明的膜能够用于滤色器等。具体而言,能够适当地用作滤色器的着色像素,更具体而言,能够适当地用作滤色器的红色像素。并且,本发明的膜也能够用作红外线透射滤波器。
[0365]
本发明的膜的膜厚能够根据目的而适当地进行调节。例如,膜厚优选为5μ m以下,更优选为1μm以下,进一步优选为0.6μm以下。膜厚的下限优选为0.1μm以上,更优选为0.2μm以上,进一步优选为0.3μm以上。
[0366]
《红色像素》
[0367]
本发明的红色像素为由上述的本发明的着色组合物获得的红色像素。本发明的红色像素能够用于滤色器等。本发明的红色像素色值高,能够通过薄膜实现所期望的光谱特性。
[0368]
红色像素的膜厚能够根据目的适当调节。例如,膜厚优选为5μm以下,更优选为1μm以下,进一步优选为0.6μm以下。膜厚的下限优选为0.1μm以上,更优选为0.2μm以上,进一步优选为0.3μm以上。
[0369]
红色像素的宽度优选为0.4~10.0μm。下限优选为0.4μm以上,更优选为0.5μm以上,进一步优选为0.6μm以上。上限优选为5.0μm以下,更优选为2.0μm以下,进一步优选为1.0μm以下,更进一步优选为0.8μm以下。
[0370]
《像素的形成方法》
[0371]
接着,对像素的形成方法进行说明。像素的形成方法能够经由如下工序来制造:将上述的本发明的着色组合物涂布于支承体上而形成着色组合物层的工序及通过光刻法或干式蚀刻法在着色组合物层形成图案的工序。
[0372]
(光刻法)
[0373]
首先,对通过光刻法形成图案来形成像素的情况进行说明。基于光刻法的图案形成优选包括将上述的本发明的着色组合物涂布于支承体上而形成着色组合物层的工序、以图案状曝光着色组合物层的工序及显影去除曝光后的着色组合物层的未曝光部的工序。以下,对各工序进行说明。
[0374]
在形成着色组合物层的工序中,将着色组合物涂布于支承体上而形成着色组合物层。作为支承体,并无特别限制,能够根据用途而适当选择。例如,可举出玻璃基板、硅基板
等,优选为硅基板。并且,在硅基板上可以形成有电荷耦合元件(ccd)、互补金属氧化物半导体(cmos)、透明导电膜等。并且,有时在硅基板上形成有将各像素隔离的黑矩阵(black matrix)。并且,为了改善与上部层的粘附性、防止物质的扩散或者基板表面的平坦化,可以在硅基板上设置基底层。用二碘甲烷测量时基底层的表面接触角优选为20~70
°
。并且,用水测量时优选为30~80
°
。若基底层的表面接触角在上述范围内,则着色组合物的润湿性良好。基底层的表面接触角的调节例如能够通过表面活性剂的添加等方法来进行。
[0375]
作为着色组合物的涂布方法,能够使用公知的方法。例如,可举出滴加法(滴铸);狭缝涂布法;喷雾法;辊涂法;旋涂法;流延涂布法;狭缝旋涂法;预湿法(例如,日本特开2009-145395号公报中所记载的方法);喷墨(例如按需方式、压电方式、热方式)、喷嘴喷射等喷出类印刷、柔版印刷、丝网印刷、凹版印刷、逆转偏移印刷、金属遮罩印刷法等各种印刷法;使用模具等的转印法;纳米压印法等。作为喷墨中的应用方法并没有特别限定,例如可举出“可推广、使用的喷墨-专利中出现的无限可能性-,2005年2月发行,sumitbe techon research co.,ltd.”所示的方法(尤其第115页~第133页)或日本特开2003-262716号公报、日本特开2003-185831号公报、日本特开2003-261827号公报、日本特开2012-126830号公报、日本特开2006-169325号公报等中所记载的方法。并且,关于着色组合物的涂布方法,能够参考国际公开第2017/030174号、国际公开第2017/018419号的记载,且这些内容被编入本说明书中。
[0376]
形成于支承体上的着色组合物层可以进行干燥(预烘烤)。在通过低温制程制造膜的情况下,可以不进行预烘烤。当进行预烘烤时,预烘烤温度优选为150℃以下,更优选为120℃以下,进一步优选为110℃以下。下限例如能够设为50℃以上,也能够设为80℃以上。预烘烤时间优选为10~300秒钟,更优选为40~250秒钟,进一步优选为80~220秒钟。预烘烤能够用加热板、烘箱等来进行。
[0377]
接着,将着色组合物层曝光成图案状(曝光工序)。例如,使用步进曝光机、扫描曝光机等,隔着具有规定的遮罩图案的遮罩,对着色组合物层进行曝光,由此能够曝光成图案状。由此,能够使曝光部分固化。
[0378]
作为能够在曝光时使用的放射线(光),可举出g射线、i射线等。并且,也能够使用波长300nm以下的光(优选为波长180~300nm的光)。作为波长300nm以下的光,可举出krf射线(波长248nm)、arf射线(波长193nm)等,优选为krf射线(波长248nm)。并且,也能够利用300nm以上的长波长的光源。
[0379]
并且,在曝光时,可以连续照射光而进行曝光,也可以脉冲照射而进行曝光(脉冲曝光)。另外,脉冲曝光是指以短时间(例如,毫秒级以下)的循环反复进行光的照射和暂停而进行曝光的方式的曝光方法。
[0380]
照射量(曝光量)例如优选为0.03~2.5j/cm2,更优选为0.05~1.0j/cm2。关于曝光时的氧浓度,能够适当选择,除在大气下进行以外,例如可以在氧浓度为19体积%以下的低氧环境下(例如,15体积%、5体积%或实质上无氧)下进行曝光,也可以在氧浓度超过21体积%的高氧环境下(例如,22体积%、30体积%或50体积%)下进行曝光。并且,曝光照度能够适当设定,通常能够从1000w/m2~100000w/m2(例如,5000w/m2、15000w/m2或35000w/m2)的范围选择。氧浓度和曝光照度可以适当组合条件,例如能够设为氧浓度10体积%且照度10000w/m2、氧浓度35体积%且照度20000w/m2等。
[0381]
接着,显影去除曝光后的着色组合物层的未曝光部(显影工序)。着色组合物层的未曝光部分的显影去除能够使用显影液来进行。由此,未曝光部的着色组合物层溶出于显影液中,仅残留经光固化的部分。显影液的温度例如优选为20~30℃。显影时间优选为20~180秒钟。并且,为了提高残渣去除性,可以反复进行多次每隔60秒钟甩掉显影液进而供给新的显影液的工序。
[0382]
显影液可举出有机溶剂、碱性显影液等,可适当地使用碱性显影液。作为碱性显影液,优选为用纯水稀释碱剂而得的碱性水溶液(碱性显影液)。作为碱剂,例如可举出氨、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二甘醇胺(diglycolamine)、二乙醇胺、羟胺、乙二胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、乙基三甲基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵、二甲基双(2-羟基乙基)氢氧化铵、胆碱、吡咯、哌啶、1,8-二氮杂双环-[5.4.0]-7-十一碳烯等有机碱性化合物或氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、硅酸钠、偏硅酸钠等无机碱性化合物。在环境方面及安全方面上,碱剂优选为分子量大的化合物。碱性水溶液的碱剂的浓度优选为0.001~10质量%,更优选为0.01~1质量%。并且,显影液可进一步含有表面活性剂。从方便运输或保管等观点考虑,显影液可以暂时制造成浓缩液,使用时稀释成所需浓度。稀释倍率并无特别限定,例如能够设定于1.5~100倍的范围。并且,也优选显影之后用纯水进行清洗(冲洗)。并且,优选通过旋转已形成有显影后的着色组合物层的支承体,并且向显影后的着色组合物层供给冲洗液来进行冲洗。并且,也优选通过使吐出冲洗液的喷嘴从支承体的中心部向支承体的周缘部移动来进行。此时,在从喷嘴的支承体中心部向周缘部移动时,可以在逐渐降低喷嘴的移动速度的同时使其移动。通过以该种方式进行冲洗,能够抑制冲洗的面内偏差。并且,通过使喷嘴从支承体中心部向周缘部移动的同时逐渐降低支承体的转速也可获得相同的效果。
[0383]
显影之后,优选实施干燥之后进行追加曝光处理、加热处理(后烘烤)。追加曝光处理、后烘烤为用于制成完全固化的物质的显影后的固化处理。后烘烤中的加热温度例如优选100~240℃,更优选200~240℃。能够以成为上述条件的方式,使用加热板或对流烘箱(热风循环式干燥机)、高频加热机等加热机构,以连续式或间歇式对显影后的膜(像素)进行后烘烤。在进行追加曝光处理的情况下,优选用于曝光的光是波长400nm以下的光。并且,追加曝光处理可以通过韩国公开专利第10-2017-0122130号公报中所记载的方法进行。
[0384]
(干式蚀刻法)
[0385]
基于干式蚀刻法的图案形成优选包括如下工序:使用上述的本发明的着色组合物在支承体上形成着色组合物层,并使该整个着色组合物层固化而形成固化物层的工序;在该固化物层上形成光阻剂层的工序;将光阻剂层曝光成图案状之后,进行显影而形成阻剂图案的工序;及将该阻剂图案作为遮罩并使用蚀刻气体对固化物层进行干式蚀刻的工序。在形成光阻剂层时,优选进一步实施预烘烤处理。尤其,作为光阻剂层的形成步骤,优选为实施曝光后的加热处理、显影后的加热处理(后烘烤处理)的形态。关于利用干式蚀刻法的图案形成,能够参考日本特开2013-064993号公报的0010~0067段的记载,且该内容被编入本说明书中。
[0386]
《滤色器》
[0387]
接着,对本发明的滤色器进行说明。本发明的滤色器具有上述本发明的膜。具体而言,作为滤色器的着色像素,具有本发明的膜。本发明的滤色器优选作为滤色器的红色像素
具有本发明的膜。
[0388]
并且,本发明的滤色器也优选为具有使用上述的本发明的着色组合物获得的红色像素、蓝色像素及绿色像素的滤色器。
[0389]
本发明的滤色器能够使用于ccd(电荷耦合元件)或cmos(互补型金属氧化膜半导体)等固体摄像元件或图像显示装置等。
[0390]
本发明的滤色器中的膜的膜厚能够根据目的而适当地进行调节。例如,膜厚优选为5μm以下,更优选为1μm以下,进一步优选为0.6μm以下。膜厚的下限优选为0.1μm以上,更优选为0.2μm以上,进一步优选为0.3μm以上。
[0391]
滤色器中所包含的像素的宽度优选为0.4~10.0μm。下限优选为0.4μm以上,更优选为0.5μm以上,进一步优选为0.6μm以上。上限优选为5.0μm以下,更优选为2.0μm以下,进一步优选为1.0μm以下,更进一步优选为0.8μm以下。并且,像素的杨氏模量优选为0.5~20gpa,更优选为2.5~15gpa。
[0392]
滤色器中所包含的各像素优选具有高平坦性。具体而言,像素的表面粗糙度ra优选为100nm以下,更优选为40nm以下,进一步优选为15nm以下。下限并无规定,但例如优选为0.1nm以上。关于像素的表面粗糙度,例如能够使用veeco公司制造的afm(原子力显微镜)dimension3100来进行测量。并且,像素上的水接触角能够适当设定为优选的值,典型地为50~110
°
的范围。接触角例如能够使用接触角仪cv-dt
·
a型(kyowa interface science co.,ltd.制造)来进行测量。并且,像素的体积电阻值优选高。具体而言,像素的体积电阻值优选为109ω
·
cm以上,更优选为10
11
ω
·
cm以上。上限并无规定,例如优选为10
14
ω
·
cm以下。像素的体积电阻值例如能够使用超高电阻计5410(advantest corporation制)来进行测量。
[0393]
滤色器中,可以在本发明的膜(像素)的表面设置保护层。通过设置保护层,能够赋予阻氧化、低反射化、亲疏水化、既定波长的光(紫外线、近红外线等)的遮蔽等各种作用。作为保护层的厚度,优选为0.01~10μm,更优选为0.1~5μm。作为保护层的形成方法,可举出涂布已溶解于有机溶剂中的树脂组合物而形成的方法、化学气相沉积法、用粘接材料贴付所成型的树脂的方法等。作为构成保护层的成分,可举出(甲基)丙烯酸树脂、烯-硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚苯撑树脂、聚亚芳基醚氧化膦树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂、多元醇树脂、聚偏二氯乙烯树脂、三聚氰胺树脂、聚胺酯树脂、芳族聚酰胺树脂、聚酰胺树脂、醇酸树脂、环氧树脂、改性硅酮树脂、氟树脂、聚碳酸酯树脂、聚丙烯腈树脂、纤维素树脂、si、c、w、al2o3、mo、sio2、si2n4等,可以含有两种以上的这些成分。例如,在用于阻氧化的保护层的情况下,保护层优选包含多元醇树脂、sio2及si2n4。并且,在用于低反射化的保护层的情况下,保护层优选包含(甲基)丙烯酸树脂和氟树脂。
[0394]
在涂布树脂组合物而形成保护层的情况下,作为树脂组合物的涂布方法,能够使用旋涂法、流延法、网板印刷法、喷墨法等公知的方法。树脂组合物中所含的有机溶剂能够使用公知的有机溶剂(例如,丙二醇1-单甲醚2-乙酸酯、环戊酮、乳酸乙酯等)。在通过化学气相沉积法形成保护层的情况下,作为化学气相沉积法,能够使用公知的化学气相沉积法(热化学气相沉积法、电浆化学气相沉积法、光化学气相沉积法)。
[0395]
根据需要,保护层还可以含有有机
·
无机微粒子、既定波长的光(例如,紫外线、近
红外线等)的吸收剂、折射率调节剂、抗氧化剂、密合剂、表面活性剂等添加剂。作为有机
·
无机微粒的例子,例如,可举出高分子微粒(例如,硅酮树脂微粒、聚苯乙烯微粒、三聚氰胺树脂微粒)、氧化钛、氧化锌、氧化锆、氧化铟、氧化铝、氮化钛、氧氮化钛、氟化镁、中空二氧化硅、二氧化硅、碳酸钙、硫酸钡等。既定波长的光的吸收剂能够使用公知的吸收剂。这些添加剂的含量能够适当地进行调节,但是相对于保护层的总质量优选为0.1~70质量%,进一步优选为1~60质量%。
[0396]
并且,作为保护层,也能够使用日本特开2017-151176号公报的0073~0092段中所记载的保护层。
[0397]
滤色器也可以具有如下结构:在通过隔壁例如以格子状隔开的空间嵌入有各像素。
[0398]
《固体摄像元件》
[0399]
本发明的固体摄像元件具有上述本发明的膜。作为固体摄像元件的结构,只要是具备本发明的膜,且作为固体摄像元件而发挥作用的结构,则并无特别限定,例如可举出如下结构。
[0400]
摄像元件的结构如下:在基板上具有由构成固体摄像元件(ccd(电荷耦合元件)影像传感器、cmos(互补型金属氧化膜半导体)影像传感器等)的受光区域的多个光电二极体及多晶硅等构成的传输电极,在光电二极体及传输电极上具有仅光电二极体的受光部开口的遮光膜,在遮光膜上具有以覆盖遮光膜整个表面及光电二极体受光部的方式形成的由氮化硅等构成的设备保护膜,在设备保护膜上具有滤色器。而且,可以为在设备保护膜上且在滤色器的下侧(靠近基板的侧)具有聚光机构(例如,微透镜等。以下相同)的结构或在滤色器上具有聚光机构的结构等。并且,滤色器也可以具有如下结构:在通过隔壁例如以方格状隔开的空间嵌入有各着色像素。此时的隔壁优选相对于各着色像素为低折射率。作为具有这种结构的摄像装置的例,可举出日本特开2012-227478号公报、日本特开2014-179577号公报、国际公开第2018/043654号中所记载的装置。具备本发明的固体摄像元件的摄像装置除了能够用作数位相机或具有摄像功能的电子设备(移动电话等)的外,也能够用作车载摄像机或监视摄像机。
[0401]
《图像显示装置》
[0402]
本发明的图像显示装置具有上述的本发明的膜。作为图像显示装置,可举出液晶显示装置或有机电致发光显示装置等。关于图像显示装置的定义或各图像显示装置的详细内容,例如记载于“电子显示器设备(佐佐木昭夫著,kogyo chosakai publishing co.,ltd.,1990年发行)”、“显示器设备(伊吹顺章著,sangyo tosho publishing co.,ltd.,1989年发行)”等。并且,关于液晶显示装置,例如记载于“下一代液晶显示器技术(内田龙男编辑,kogyo chosakai publishing co.,ltd.,1994年发行)”。对能够应用本发明的液晶显示装置并没有特别限制,例如能够应用于上述的“下一代液晶显示器技术”中所记载的各种方式的液晶显示装置。
[0403]
《试剂盒》
[0404]
本发明的试剂盒具有上述的本发明的着色组合物、蓝色像素形成用着色组合物及绿色像素形成用着色组合物。本发明的试剂盒可适当地用作滤色器制造用试剂盒。试剂盒中所使用的上述的本发明的着色组合物优选为红色像素形成用着色组合物。即,本发明的
试剂盒优选为具备红色像素、蓝色像素及绿色像素的滤色器制造用试剂盒。
[0405]
蓝色像素形成用着色组合物及绿色像素形成用着色组合物优选分别包含色料及固化性化合物。作为固化性化合物,可举出上述的原材料。蓝色像素形成用着色组合物及绿色像素形成用着色组合物还能够含有颜料衍生物、溶剂、光聚合引发剂、表面活性剂、硅烷偶联剂、紫外线吸收剂、阻聚剂等。关于这些原材料,可举出上述原材料。
[0406]
蓝色像素形成用着色组合物中所使用的色料优选为至少包含蓝色色料的色料,更优选为分别包含蓝色色料及紫色色料的色料。
[0407]
绿色像素形成用着色组合物中所使用的色料优选为至少包含绿色色料的色料,更优选为分别包含绿色色料及黄色色料的色料。
[0408]
实施例
[0409]
以下,举出实施例对本发明进行进一步具体的说明。以下实施例所示的材料、使用量、比例、处理内容、处理顺序等,只要不脱离本发明的趣旨,则能够适当变更。因此,本发明的范围并不限定于以下所示的具体例。
[0410]
《重均分子量的测量方法》
[0411]
树脂的重均分子量(mw)在下述测量条件下通过gpc(gel permeation chromatography)测量进行了计算。
[0412]
管柱的种类:连接tosoh tskgel super hzm-h、tosoh tskgel super hz4000与tosoh tskgel super hz2000的管柱
[0413]
展开溶剂:四氢呋喃
[0414]
管柱温度:40℃
[0415]
流量(试样注入量):1.0μl(试样浓度0.1质量%)
[0416]
装置名:tosoh corporation制hlc-8220gpc
[0417]
检测器:差示折射计(ri检测器)
[0418]
校准曲线基础树脂:聚苯乙烯树脂
[0419]
《分散液的制造》
[0420]
(分散液配方1)
[0421]
使用珠磨(直径为0.1mm的氧化锆珠),将合计为13质量份的颜料及颜料衍生物、15质量份的分散剂、72质量份的溶剂的混合液进行混合及分散3小时,制备了分散液。之后,使用附减压机构的高压分散机nano-3000-10(nippon bee co.,ltd.制造)在压力2000kg/cm3及流量500g/分钟的条件下进行了分散处理。重复该分散处理直至共计10次,获得了分散液。另外,颜料、颜料衍生物及分散剂分别使用下述表所示的原材料。
[0422]
(分散液配方2)
[0423]
使用珠磨(直径为0.1mm的氧化锆珠),将合计为12质量份的颜料及颜料衍生物、10质量份的分散剂、78质量份的溶剂的混合液进行混合及分散3小时,制备了分散液。之后,使用附减压机构的高压分散机nano-3000-10(nippon bee co.,ltd.制造)在压力2000kg/cm3及流量500g/分钟的条件下进行了分散处理。重复该分散处理直至共计10次,获得了分散液。另外,颜料、颜料衍生物及分散剂分别使用下述表所示的原材料。
[0424]
(分散液配方3)
[0425]
使用珠磨(直径为0.1mm的氧化锆珠),将合计为12质量份的颜料及颜料衍生物、8
质量份的分散剂、80质量份的溶剂的混合液进行混合及分散3小时,制备了分散液。之后,使用附减压机构的高压分散机nano-3000-10(nippon bee co.,ltd.制造)在压力2000kg/cm3及流量500g/分钟的条件下进行了分散处理。重复该分散处理直至共计10次,获得了分散液。另外,颜料、颜料衍生物及分散剂分别使用下述表所示的原材料。
[0426]
(分散液配方4)
[0427]
使用珠磨(直径为0.1mm的氧化锆珠),将合计为12质量份的色料及颜料衍生物、10质量份的分散剂、78质量份的溶剂的混合液进行混合及分散3小时,制备了分散液。之后,使用附减压机构的高压分散机nano-3000-10(nippon bee co.,ltd.制造)在压力2000kg/cm3及流量500g/分钟的条件下进行了分散处理。重复该分散处理直至共计10次,获得了分散液。另外,色料、颜料衍生物及分散剂分别使用了下述表所示的原材料。
[0428]
[表1]
[0429][0430]
[表2]
[0431][0432]
[表3]
[0433][0434]
[表4]
[0435][0436]
[表5]
[0437][0438]
[表6]
[0439][0440]
[表7]
[0441][0442]
[表8]
[0443][0444]
[表9]
[0445][0446]
[表10]
[0447][0448]
表示上述分散液的配方的表中的以缩写表示的原材料的详细内容如下。
[0449]
(着色剂)
[0450]
p-1:c.i.颜料红177(红色颜料)
[0451]
p-2、p-102:c.i.颜料红254(红色颜料)
[0452]
p-3:c.i.颜料红264(红色颜料)
[0453]
p-4:c.i.颜料红269(红色颜料)
[0454]
p-5、p-101:c.i.颜料红272(红色颜料)
[0455]
p-6、p-103:c.i.颜料红29l(红色颜料)
[0456]
p-7:c.i.颜料红296(红色颜料)
[0457]
p-8:c.i.颜料红297(红色颜料)
[0458]
p-9:c.i.颜料黄129(黄色颜料)
[0459]
p-10:c.i.颜料黄138(黄色颜料)
[0460]
p-11、p-115:c.i.颜料黄139(黄色颜料)
[0461]
p-12:c.i.颜料黄150(黄色颜料)
[0462]
p-13、p-116:c.i.颜料黄185(黄色颜料)
[0463]
p-14:c.i.颜料黄215(黄色颜料)
[0464]
p-15:c.i.颜料黄231(黄色颜料)
[0465]
p-16:c.i.颜料黄233(黄色颜料)
[0466]
p-104:下述结构的化合物(红色染料、苝染料)
[0467]
[化学式27]
[0468][0469]
p-105:下述结构的化合物(红色染料、苝染料)
[0470]
[化学式28]
[0471][0472]
p-106:下述结构的化合物(红色染料、呫吨染料)
[0473]
[化学式29]
[0474]
[0475]
p-107:下述结构的化合物(红色染料、呫吨染料)
[0476]
[化学式30]
[0477][0478]
p-108:下述结构的化合物(红色染料、四氮杂卟啉染料)
[0479]
[化学式31]
[0480][0481]
p-109:下述结构的化合物(红色颜料、苝颜料)
[0482]
[化学式32]
[0483][0484]
p-110:lumogen f orange 240(basf公司制造、红色颜料、苝颜料)
[0485]
p-111:c.i.颜料红179(红色颜料、苝颜料)
[0486]
p-112:下述结构的化合物的混合物(红色颜料、呫吨颜料)
[0487]
[化学式33]
[0488][0489]
p-113:下述结构的化合物(红色颜料、呫吨颜料)
[0490]
[化学式34]
[0491][0492]
p-114:c.i.颜料红81:4(红色颜料、呫吨颜料)
[0493]
p-117:下述结构的化合物(黄色颜料、异吲哚啉颜料)
[0494]
[化学式35]
[0495][0496]
p-118:下述结构的化合物(青色染料、方酸染料)
[0497]
[化学式36]
[0498][0499]
p-119:下述结构的化合物(青色颜料、三芳基甲烷颜料)
[0500]
[化学式37]
[0501][0502]
p-120:下述结构的化合物的40质量份、甲基丙烯酸苄酯的25质量份、甲基丙烯酸的20质量份与n-苄基顺丁烯二酰亚胺的共聚物(青色染料)
[0503]
[化学式38]
[0504][0505]
p-121:下述结构的化合物(青色染料、方酸染料)
[0506]
[化学式39]
[0507][0508]
p-122:下述结构的化合物(青色染料、方酸染料)
[0509]
[化学式40]
[0510][0511]
p-123:c.i.颜料蓝15:6(蓝色颜料)
[0512]
p-124:c.i.颜料紫23(紫色颜料)
[0513]
p-125:下述结构的化合物(近红外线吸收颜料、吡咯并吡咯颜料)
[0514]
[化学式41]
[0515][0516]
(颜料衍生物)
[0517]
syn-1:下述结构的化合物(喹酞酮化合物)
[0518]
[化学式42]
[0519][0520]
syn-2:下述结构的化合物(偶氮化合物)
[0521]
[化学式43]
[0522][0523]
l1=-nh(ch2)3n(c2h5)
2 l2=-nh(ch2)3n(c2h5)2[0524]
syn-3:下述结构的化合物(蒽醌化合物)
[0525]
[化学式44]
[0526][0527]
l=-so2nh(ch2)3n(ch3)2[0528]
syn-4:下述结构的化合物(二蒽醌化合物)
[0529]
[化学式45]
[0530][0531]
l=-ch2nhcoch2nh(ch2)2n(ch3)2m=2
[0532]
syn-5:下述结构的化合物(噻嗪靛蓝化合物)
[0533]
[化学式46]
[0534][0535]
l=-so2nh(ch2)3n(c2h5)(ch3)m=2
[0536]
syn-6:下述结构的化合物(喹吖啶酮化合物)
[0537]
[化学式47]
[0538][0539]
syn-7:下述结构的化合物(苯并吲哚化合物)
[0540]
[化学式48]
[0541][0542]
syn-8:下述结构的化合物(偶氮化合物)
[0543]
[化学式49]
[0544][0545]
syn-9:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0546]
[化学式50]
[0547][0548]
l=-so2nh(ch2)2n(c2h5)2m=2
[0549]
syn-10:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0550]
[化学式51]
[0551][0552]
syn-11:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0553]
[化学式52]
[0554][0555]
l=-so2nh(ch2)2n(c2h5)2m=2
[0556]
syn-12:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0557]
[化学式53]
[0558][0559]
syn-13:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0560]
[化学式54]
[0561][0562]
syn-14:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0563]
[化学式55]
[0564][0565]
syn-15:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0566]
[化学式56]
[0567][0568]
syn-16:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0569]
[化学式57]
[0570][0571]
syn-17:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0572]
[化学式58]
[0573][0574]
syn-101:下述结构的化合物(二酮吡咯并吡咯化合物)
[0575]
[化学式59]
[0576][0577]
syn-102:下述结构的化合物(吡咯并吡咯化合物)
[0578]
[化学式60]
[0579][0580]
(分散剂)
[0581]
d-1:通过以下方法合成的树脂d-1的树脂溶液(固体成分浓度30质量%)。
[0582]
向反应容器装入甲基丙烯酸甲酯50质量份、甲基丙烯酸正丁酯30质量份、甲基丙烯酸叔丁酯20质量份、丙二醇单甲醚乙酸酯(pgmea)45.4质量份,将环境气体置换成氮气。将反应容器内加热到70℃,添加3-巯基-1,2-丙二醇6质量份,进而加入aibn(偶氮双异丁腈)0.12质量份,反应了12小时。通过固体成分的测量确认到反应进行了95%。接着,添加均苯四甲酸酐9.7质量份、pgmea70.3质量份、作为催化剂的dbu(1,8-二吖双环-[5.4.0]-7-十一烯)0.20质量份,在120℃下反应了7小时。通过酸值的测量确认到98%以上的酸酐进行了半酯化并结束了反应。加入pgmea将不挥发量(固体成分浓度)调节为30质量%,获得了酸值43mgkoh/g、重均分子量(mw)9000的下述结构的树脂d-1的树脂溶液。
[0583]
[化学式61]
[0584][0585]
d-2:通过以下方法合成的树脂d-2的树脂溶液(固体成分浓度30质量%)。
[0586]
向反应容器装入3-巯基-1,2-丙二醇6.0质量份、均苯四甲酸酐9.5质量份、pgmea62质量份、1,8-二吖双环-[5.4.0]-7-十一烯0.2质量份,将环境气体置换成氮气。将反应容器内加热到100℃,使其反应了7小时。通过酸值的测量确认到98%以上的酸酐进行了半酯化之后,将体系内的温度冷却至70℃,添加甲基丙烯酸甲酯65质量份、丙烯酸乙酯5.0质量份、丙烯酸叔丁酯15质量份、甲基丙烯酸5.0质量份、甲基丙烯酸羟乙酯10质量份、溶解有2,2
’‑
偶氮双异丁腈0.1质量份的pgmea溶液53.5质量份,使其反应了10小时。通过固体成分的测量确认到聚合进行了95%,结束了反应。加入pgmea将不挥发量(固体成分浓度)调节为30质量%,获得了酸值70.5mgkoh/g、重均分子量(mw)10000的下述结构的树脂d-2的树脂溶液。
[0587]
[化学式62]
[0588][0589]
d-3:通过以下方法合成的树脂d-3的树脂溶液(固体成分浓度30质量%)。
[0590]
树脂d-1的合成中,将甲基丙烯酸叔丁酯20质量份变更为(3-乙基氧环丁烷-3-基)甲基丙烯酸甲酯20质量份,除此以外,以相同的方式获得了酸值43mgkoh/g、重均分子量(mw)9000的下述结构的树脂d-3的树脂溶液。
[0591]
[化学式63]
[0592][0593]
d-4:通过以下方法合成的树脂d-4的树脂溶液(固体成分浓度30质量%)。
[0594]
向反应容器装入1-硫甘油108质量份、均苯四甲酸酐174质量份、乙酸甲氧基丙酯650质量份、作为催化剂的单丁基氧化锡0.2质量份,将环境气体置换成氮气之后,在120℃下反应了5小时(第一工序)。通过酸值的测量确认到95%以上的酸酐进行了半酯化。接着,向反应容器装入将在第一工序中得到的化合物以固体成分换算计为160质量份、甲基丙烯酸2-羟丙酯200质量份、丙烯酸乙酯200质量份、丙烯酸叔丁酯150质量份、丙烯酸2-甲氧基乙酯200质量份、丙烯酸甲酯200质量份、甲基丙烯酸50质量份、pgmea663质量份,将反应容器内加热到80℃,添加2,2
’‑
偶氮双(2,4-二甲基戊腈)1.2质量份,反应了12小时(第二工序)。通过固体成分的测量确认到反应进行了95%。最后,向反应容器装入在第二工序中得到的化合物的50质量%的pgmea溶液500质量份、2-甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯(moi)27.0质量份、氢醌0.1质量份,进行了反应直至确认到基于异氰酸酯基的2270cm-1
的峰值消失(第三工序)。确认到峰值消失之后,冷却反应溶液,加入pgmea将不挥发量(固体成分浓度)调节为30质量%,获得了酸值68mgkoh/g、烯属不饱和键基团值0.62mmol/g、重均分子量(mw)13000的下述结构的树脂d-4的树脂溶液。
[0595]
[化学式64]
[0596][0597]
d-5:下述结构的树脂(附注于主链的数值为摩尔比,附注于侧链的数值为重复单元的数量。重均分子量16000、酸值67mgkoh/g)的30质量%pgmea溶液
[0598]
[化学式65]
[0599][0600]
d-6:下述结构的树脂(附注于主链的数值为摩尔比,附注于侧链的数值为重复单元的数量。重均分子量20000)的30质量%pgmea溶液
[0601]
[化学式66]
[0602][0603]
d-7:向disperbyk-111(byk chemie gmbh制造)加入pgmea,将不挥发量(固体成分浓度)调节为30质量%的溶液
[0604]
d-8:向byk-lpn-21116(byk chemie gmbh制造)加入pgmea,将不挥发量(固体成分浓度)调节为30质量%的溶液
[0605]
d-9:向solsperse 20000(lubrizol japan limited.制造)加入pgmea,将不挥发量(固体成分浓度)调节为30质量%的溶液
[0606]
d-10:向ajisper pb821(ajinomoto fine-techno co.,inc.制造)加入pgmea,将不挥发量(固体成分浓度)调节为30质量%的溶液
[0607]
d-101:向byk-lpn-6919(byk chemie gmbh制造)加入pgmea,将不挥发量(固体成分浓度)调节为30质量%的溶液
[0608]
(溶剂)
[0609]
s-1、s-101:丙二醇单甲醚乙酸酯(pgmea)
[0610]
s-102:丙二醇单甲醚
[0611]
s-103:环戊酮
[0612]
s-104:苯甲醚
[0613]
s-105:二丙酮醇
[0614]
《着色组合物的制造》
[0615]
以以下所示的配方1~9的比例混合各原材料,通过孔径0.45μm的尼龙制过滤器(nihon pall corporation制造)进行过滤,制造了各着色组合物。实施例1~4、9~104、比较例1、比较例2为光刻用着色组合物,实施例5~8为干式蚀刻用着色组合物。下述表中,将着色组合物的总固体成分中的颜料的含量的值记载于“颜料浓度”的栏中。
[0616]
(配方1)
[0617]
下述表中所记载的分散液
……
31.2质量份
[0618]
下述表中所记载的聚合性单体
……
4.5质量份
[0619]
下述表中所记载的粘合剂
……
15.6质量份
[0620]
下述表中所记载的光聚合引发剂
……
0.4质量份
[0621]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0622]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0623]
下述表中所记载的溶剂
……
48.3质量份
[0624]
(配方2)
[0625]
下述表中所记载的分散液
……
46.7质量份
[0626]
下述表中所记载的聚合性单体
……
3.4质量份
[0627]
下述表中所记载的粘合剂
……
6.4质量份
[0628]
下述表中所记载的光聚合引发剂
……
0.7质量份
[0629]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0630]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0631]
下述表中所记载的溶剂
……
42.8质量份
[0632]
(配方3)
[0633]
下述表中所记载的分散液
……
67.5质量份
[0634]
下述表中所记载的聚合性单体
……
1.3质量份
[0635]
下述表中所记载的粘合剂
……
6.7质量份
[0636]
下述表中所记载的光聚合引发剂
……
0.7质量份
[0637]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0638]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0639]
下述表中所记载的溶剂
……
23.8质量份
[0640]
(配方4)
[0641]
下述表中所记载的分散液
……
78.8质量份
[0642]
下述表中所记载的聚合性单体
……
0.6质量份
[0643]
下述表中所记载的粘合剂
……
5.5质量份
[0644]
下述表中所记载的光聚合引发剂
……
0.5质量份
[0645]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0646]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0647]
下述表中所记载的溶剂
……
14.7质量份
[0648]
(配方5)
[0649]
下述表中所记载的分散液
……
90.0质量份
[0650]
下述表中所记载的添加剂
……
0.5质量份
[0651]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0652]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0653]
下述表中所记载的溶剂
……
9.5质量份
[0654]
(配方6)
[0655]
下述表中所记载的分散液
……
93.7质量份
[0656]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0657]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0658]
下述表中所记载的溶剂
……
6.3质量份
[0659]
(配方7)
[0660]
下述表中所记载的分散液
……
78.8质量份
[0661]
下述表中所记载的聚合性单体
……
0.6质量份
[0662]
下述表中所记载的粘合剂
……
4.3质量份
[0663]
下述表中所记载的光聚合引发剂
……
0.5质量份
[0664]
下述表中所记载的添加剂
……
0.3质量份
[0665]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0666]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0667]
下述表中所记载的溶剂
……
15.6质量份
[0668]
(配方8)
[0669]
下述表中所记载的分散液
……
26.0质量份
[0670]
下述表中所记载的聚合性单体
……
4.9质量份
[0671]
下述表中所记载的粘合剂
……
18.5质量份
[0672]
下述表中所记载的光聚合引发剂
……
0.4质量份
[0673]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0674]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0675]
下述表中所记载的溶剂
……
50.2质量份
[0676]
(配方9)
[0677]
下述表中所记载的分散液
……
15.6质量份
[0678]
下述表中所记载的聚合性单体
……
5.5质量份
[0679]
下述表中所记载的粘合剂
……
24.2质量份
[0680]
下述表中所记载的光聚合引发剂
……
0.4质量份
[0681]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0682]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0683]
下述表中所记载的溶剂
……
54.3质量份
[0684]
(配方10)
[0685]
下述表中所记载的分散液
……
67.5质量份
[0686]
下述表中所记载的聚合性单体
……
1.3质量份
[0687]
下述表中所记载的粘合剂
……
6.7质量份
[0688]
下述表中所记载的光聚合引发剂
……
0.4质量份
[0689]
下述表中所记载的添加剂
……
0.3质量份
[0690]
下述表中所记载的表面活性剂
……
0.0001质量份
[0691]
下述表中所记载的阻聚剂
……
0.00135质量份
[0692]
下述表中所记载的溶剂
……
23.8质量份
[0693]
[表11]
[0694][0695]
[表12]
[0696][0697]
[表13]
[0698][0699]
[表14]
[0700][0701]
[表15]
[0702][0703]
[表16]
[0704][0705]
[表17]
[0706][0707]
[表18]
[0708][0709]
[表19]
[0710][0711]
[表20]
[0712] 粘合剂的种类添加剂的种类表面活性剂的种类阻聚剂的种类溶剂的种类实施例201b-101a-103su-101in-101s-101实施例202b-101a-103su-101in-101s-101实施例203b-101a-103su-101in-101s-101实施例204b-101a-103su-101in-101s-101实施例205b-101a-103su-101in-101s-101实施例206b-101a-103su-101in-101s-101实施例207b-101a-103su-101in-101s-101实施例208b-101a-103su-101in-101s-101实施例209b-101a-103su-101in-101s-101实施例210b-101a-103su-101in-101s-101实施例211b-101a-103su-101in-101s-101
实施例212b-101a-103su-101in-101s-101实施例213b-101a-103su-101in-101s-101实施例214b-101a-103su-101in-101s-101实施例215b-101a-103su-101in-101s-101实施例216b-101a-103su-101in-101s-101实施例217b-101a-103su-101in-101s-101实施例218b-101a-103su-101in-101s-101实施例219b-101a-103su-101in-101s-101实施例220b-101a-103su-101in-101s-101实施例221b-101a-103su-101in-101s-101实施例222b-101a-103su-101in-101s-101实施例223b-101a-103su-101in-101s-101实施例224b-101a-103su-101in-101s-101实施例225b-101a-103su-101in-101s-101实施例226b-102a-103su-101in-101s-101实施例227b-103a-103su-101in-101s-101实施例228b-103a-101su-101in-101s-101实施例229b-103a-102su-101in-101s-101实施例230b-101a-103su-102in-101s-101
[0713]
[表21]
[0714][0715]
[表22]
[0716] 粘合剂的种类添加剂的种类表面活性剂的种类阻聚剂的种类溶剂的种类
实施例301b-1a-103su-101in-101s-101实施例302b-1a-103su-101in-101s-101实施例305b-101a-103su-101in-101s-101实施例304b-101a-103su-101in-101s-101实施例305b-101a-103su-101in-101s-101实施例306b-101a-103su-101in-101s-101实施例307b-101a-103su-101in-101s-101实施例308b-101a-103su-101in-101s-101实施例309b-1a-103su-101in-101s-101实施例310b-101a-103su-101in-101s-101实施例311b-101a-103su-101in-101s-101实施例312b-101a-103su-101in-101s-101实施例313b-1a-103su-101in-101s-101实施例314b-101a-103su-101in-101s-101实施例315b-101a-103su-101in-101s-101实施例316b-101a-103su-101in-101s-101实施例317b-101a-103su-101in-101s-101实施例318b-101a-103su-101in-101s-101实施例319b-101a-103su-101in-101s-101实施例320b-1a-103su-101in-101s-101
[0717]
[表23]
[0718][0719]
[表24]
[0720] 粘合剂的种类添加剂的种类表面活性剂的种类阻聚剂的种类溶剂的种类实施例321b-101a-103su-101in-101s-101实施例322b-101a-103su-101in-101s-101实施例323b-101a-103su-101in-101s-101实施例324b-101a-103su-101in-101s-101实施例325b-101a-103su-101in-101s-101实施例326b-101a-103su-101in-101s-101实施例327b-101a-103su-101in-101s-101实施例328b-101a-103su-101in-101s-101实施例329b-102a-103su-101in-101s-101实施例330b-103a-103su-101in-101s-101实施例331b-103a-101su-101in-101s-101实施例332b-103a-102su-101in-101s-101实施例333b-101a-103su-102in-101s-101实施例334b-101a-103su-101in-101s-101实施例335b-101a-103su-101in-101s-101实施例336b-101a-103su-101in-101s-101实施例337b-101a-103su-101in-101s-101
实施例338b-101a-103su-101in-101s-101实施例339b-102a-103su-101in-101s-101实施例340b-103a-103su-101in-101s-101实施例341b-103a-101su-101in-101s-101实施例342b-103a-102su-101in-101s-101实施例343b-101a-103su-102in-101s-101
[0721]
以表示上述着色组合物的配方的表中的略写表示的原材料的详细内容如下。
[0722]
(分散液)
[0723]
分散液1~77、201~219、301~319、r1:上述的分散液1~77、201~219、301~319r1。另外,分散液1~77、201~219、301~319、r1均为包含c.i.颜料红272的分散液。
[0724]
(聚合性单体)
[0725]
m-1、m-102:下述结构的化合物
[0726]
[化学式67]
[0727][0728]
m-2、m-103:下述结构的化合物
[0729]
[化学式68]
[0730][0731]
m-3:kayarad dpha(nippon kayaku co.,ltd.制造)
[0732]
m-4、m-101:下述结构的化合物
[0733]
[化学式69]
[0734][0735]
(光聚合引发剂)
[0736]
i-1:irgacure oxe01(basf公司制造、肟化合物)
[0737]
i-2、i-101:irgacure oxe02(basf公司制造、肟化合物)
[0738]
i-3~i-8:下述结构的化合物
[0739]
[化学式70]
[0740][0741]
i-9:omnirad 379(igm resins b.v.公司制造、α-氨基酮化合物)
[0742]
1-10:omnirad 907(igm resins b.v.公司制造、α-氨基酮化合物)
[0743]
i-102:omnirad 369(igm resins b.v.公司制造、α-氨基酮化合物)
[0744]
1-103:2,4-双(三氯甲基)-6-哌啶基-1,3,5-三嗪(taz-pp;dksh japan制造)
[0745]
i-104:下述结构的化合物
[0746]
[化学式71]
[0747][0748]
i-105:下述结构的化合物
[0749]
[化学式72]
[0750][0751]
(粘合剂)
[0752]
b-1:下述结构的树脂(重均分子量11000、附注于主链的数值表示重复单元的摩尔比。)的20质量%pgmea溶液
[0753]
[化学式73]
[0754][0755]
b-2:下述结构的树脂(重均分子量21000)的20质量%环己酮溶液
[0756]
[化学式74]
[0757][0758]
b-101:下述结构的树脂(重均分子量9200)的20质量%pgmea溶液
[0759]
[化学式75]
[0760][0761]
b-102:下述结构的树脂(重均分子量12000、附注于主链的数表示重复单元的摩尔比。)的20质量%pgmea溶液
[0762]
[化学式76]
[0763][0764]
b-103:向混合以固体成分换算计为66.6质量份的双酚a型环氧丙烯酸酯的pgmea溶液、17.4质量份的1,2,4,5-环己烷四羧酸二酐、32.7质量份的pgmea进行升温在100~105℃下反应了14小时获得的共聚物(重均分子量6400)加入pgmea,将固体成分浓度制备为20质量%的溶液。
[0765]
(添加剂)
[0766]
a-1:ehpe3150(daicel corporation制造、2,2
’‑
双(羟基甲基)-1-丁醇的1,2-环氧-4-(2-环氧乙烷基)环己烷加成物)
[0767]
a-101:eab-f(hodogaya chemical co.,ltd.制造、4,4
’‑
双(二乙基胺基)二苯甲酮、敏化剂)
[0768]
a-102:sumisorb 130(sumika chemtex company,limited制造、2-羟基-4-n-辛氧基二苯甲酮、紫外线吸收剂)
[0769]
a-103:sumisorb 200(sumika chemtex company,limited制造、2-(2-羟基-5-甲基苯基)苯并三唑、紫外线吸收剂)
[0770]
(表面活性剂)
[0771]
su-1:下述结构的化合物(重均分子量14000)。下述式中,表示重复单元的比例的%为摩尔%。(氟系表面活性剂)
[0772]
[化学式77]
[0773][0774]
su-2:fz-2122(dow toray co.,ltd.制造、硅酮系表面活性剂)
[0775]
su-101:sh8400(dow toray co.,ltd.制造、硅酮系表面活性剂)
[0776]
su-102:kf-6001(shin-etsu chemical co.,ltd.制造、硅酮系表面活性剂、两末端甲醇改性聚二甲基硅氧烷、羟基值62mgkoh/g)
[0777]
(阻聚剂)
[0778]
in-1:对甲氧基苯酚
[0779]
(溶剂)
[0780]
s-1、s-101:丙二醇单甲醚乙酸酯(pgmea)
[0781]
s-2:丙二醇单甲醚
[0782]
s-3:环戊酮
[0783]
《像素的形成方法》
[0784]
(实施例1~4、9~104、201~230、301~343、比较例1、比较例2)
[0785]
通过旋涂法将基底层用组合物涂布于直径为8英时(20.32cm)的硅晶圆上,接着使用加热板在100℃下加热2分钟,接着使用加热板在230℃下加热2分钟形成了膜厚10nm的基底层。基底层用组合物的详细内容待留后述。
[0786]
接着,通过旋涂法将实施例1~4、9~104、201~230、301~343、比较例1、比较例2的着色组合物涂布于形成有基底层的硅晶圆上,以使制膜后的膜厚成为0.4μm,接着使用加热板,在100℃下加热了2分钟。接着,使用i射线步进曝光装置fpa-3000i5+(canon inc.制造),隔着具有1.0μm的岛形图案的遮罩,以150mj/cm2的曝光量进行了曝光。接着,在温度23℃、湿度50%的环境下保管硅晶圆30分钟之后,使用氢氧化四甲基铵(tmah)0.3质量%水溶液,在23℃的条件下进行了60秒钟的旋覆浸没显影。之后,用旋转喷淋器进行冲洗,进而用纯水进行了水洗之后,使用加热板在220℃下加热5分钟,形成了岛形图案的像素。
[0787]
(实施例5~8)
[0788]
通过旋涂法将基底层用组合物涂布于直径为8英时(20.32cm)的硅晶圆上,接着使用加热板在100℃下加热2分钟,接着使用加热板在230℃下加热2分钟形成了膜厚10nm的基底层。基底层用组合物的详细内容待留后述。
[0789]
接着,通过旋涂法将实施例5~8的着色组合物涂布于形成有基底层的硅晶圆上,以使制膜后的膜厚成为0.4μm,接着使用加热板,在100℃下加热了2分钟之后,在220℃下加热5分钟形成了固化膜。针对固化膜,通过干式蚀刻法形成了1.0μm的岛形图案的像素。
[0790]
混合下述原料来制造了基底层用组合物。
[0791]
树脂a
……
0.7质量份
[0792]
表面活性剂a
……
0.8质量份
[0793]
丙二醇单甲醚乙酸酯(pgmea)
……
98.5质量份
[0794]
原料的详细内容如下。
[0795]
树脂a:cyclomer p(aca)230aa(daicel corporation制造、酸值=30mgkoh/g、重均分子量15000、54质量%pgme溶液)
[0796]
表面活性剂a:下述结构的化合物(重均分子量14000、表示重复单元的比例的%的数值为摩尔%。氟系表面活性剂)的0.2质量%pgmea溶液
[0797]
[化学式78]
[0798][0799]
《杂质的评价》
[0800]
针对形成有岛形图案的像素的硅晶圆,实施了恒温恒湿试验(在温度110℃、湿度85%的环境下保持528小时)之后,通过光学显微镜观察硅晶圆面内的30个点,确认了是否在膜中产生杂质。将评价结果示于下述表中。
[0801]
7:在恒温恒湿试验之后观察到杂质的部位为0处
[0802]
6:在恒温恒湿试验之后观察到杂质的部位为1~5处
[0803]
5:在恒温恒湿试验之后观察到杂质的部位为6~10处
[0804]
4:在恒温恒湿试验之后观察到杂质的部位为11~15处
[0805]
3:在恒温恒湿试验之后观察到杂质的部位为16~20处
[0806]
2:在恒温恒湿试验之后观察到杂质的部位为21~25处
[0807]
1:在恒温恒湿试验之后观察到杂质的部位为26~30处
[0808]
[表25]
[0809][0810]
[表26]
[0811] 评价实施例2017实施例2027实施例2036实施例2046实施例2056实施例2066实施例2076实施例2087实施例2097实施例2107实施例2117实施例2127
实施例2137实施例2147实施例2157实施例2167实施例2177实施例2187实施例2197实施例2207实施例2217实施例2227实施例2237实施例2247实施例2257实施例2267实施例2277实施例2287实施例2297实施例2307
[0812]
[表27]
[0813] 评价实施例3017实施例3027实施例3036实施例3046实施例3056实施例3066实施例3076实施例3086实施例3097实施例3106实施例3116实施例3126实施例3137实施例3146实施例3156实施例3166实施例3176实施例3186实施例3196
实施例3207实施例3216实施例3226实施例3236实施例3247实施例3257实施例3267实施例3277实施例3287实施例3297实施例3307实施例3317实施例3327实施例3337实施例3347实施例3357实施例3367实施例3377实施例3387实施例3397实施例3407实施例3417实施例3427实施例3437
[0814]
如上述表所示,实施例的着色组合物能够形成在恒温恒湿试验之后也抑制杂质的产生的膜。并且,由实施例1~104、201~230的着色组合物获得的膜的红色的色值高,并且具有作为滤色器的红色着色像素优选的光谱特性。
[0815]
(实施例1001)
[0816]
通过旋涂法将绿色着色组合物涂布于硅晶圆上,以使制膜后的膜厚成为0.4μm。接着,使用加热板,在100℃的条件下加热了2分钟。接着,使用i射线步进曝光装置fpa-3000i5+(canon inc.制造),以1000mj/cm2的曝光量隔着1.0μm见方的点图案的遮罩进行了曝光。接着,使用氢氧化四甲基铵(tmah)0.3质量%水溶液,在23℃的条件下进行了60秒钟的旋覆浸没显影。然后,通过旋转喷淋进行冲洗,进一步用纯水进行了水洗。接着,使用加热板在220℃下加热5分钟,由此对绿色着色组合物进行图案化而形成了绿色像素。同样地,通过相同的制程对红色着色组合物、蓝色着色组合物进行图案化,依次形成了红色像素、蓝色像素,从而形成了具有绿色像素、红色像素及蓝色像素的滤色器。该滤色器中,以拜耳图案形成有绿色像素,在其相邻的区域中,以岛形图案形成有红色像素、蓝色像素。按照公知的方法将所获得的滤色器嵌入于固体摄像元件。该固体摄像元件优选具有图像识别能力。另外,作为红色着色组合物,使用了实施例43的着色组合物。关于绿色着色组合物、蓝色着色组合
物的详细内容待留后述。
[0817]
(绿色着色组合物的制备)
[0818]
混合下述成分,并且进行搅拌之后,以孔径0.45μm的尼龙制过滤器(nihon pall corporation制造)进行过滤,从而制备了绿色着色组合物。
[0819]
绿色颜料分散液:73.7质量份
[0820]
树脂101:0.3质量份
[0821]
聚合性化合物101:1.2质量份
[0822]
光聚合引发剂101:0.6质量份
[0823]
表面活性剂101:4.2质量份
[0824]
pgmea:19.5质量份
[0825]
(蓝色着色组合物的制备)
[0826]
混合下述成分,并且进行搅拌之后,以孔径0.45μm的尼龙制过滤器(nihon pall corporation制造)进行过滤,从而制备了蓝色着色组合物。
[0827]
蓝色颜料分散液:44.9质量份
[0828]
树脂101:2.1质量份
[0829]
聚合性化合物101:1.5质量份
[0830]
聚合性化合物102:0.7质量份
[0831]
光聚合引发剂101:0.8质量份
[0832]
表面活性剂101:4.2质量份
[0833]
pgmea:45.8质量份
[0834]
用于制备绿色着色组合物、蓝色着色组合物的原料如下。
[0835]
绿色颜料分散液
[0836]
通过珠磨(直径为0.3mm的氧化锆珠),将由9.4质量份的c.i.颜料绿58、2.3质量份的c.i.颜料黄185、5.2质量份的分散剂(disperbyk-161、byk chemie gmbh制造)及83.1质量份的pgmea构成的混合液混合及分散了3小时,从而制备了颜料分散液。然后,进一步使用附减压机构的高压分散机nano-3000-10(nippon bee chemical co.,ltd.制造)在2000kg/cm3的压力下以流量500g/分钟进行了分散处理。重复10次该分散处理,从而获得了绿色颜料分散液。
[0837]
蓝色颜料分散液
[0838]
通过珠磨(直径为0.3mm的氧化锆珠),将由9.7质量份的c.i.颜料蓝15:6、2.4质量份的c.i.颜料紫23、5.5质量份的分散剂(disperbyk-161、byk chemie gmbh制)及82.4质量份的pgmea构成的混合液进行了3小时的混合及分散。然后,进一步使用附减压机构的高压分散机nano-3000-10(nippon bee chemical co.,ltd.制造)在2000kg/cm3的压力下以流量500g/分钟进行了分散处理。重复10次该分散处理,从而获得了蓝色颜料分散液。
[0839]
聚合性化合物101:kayarad dpha(nippon kayaku co.,ltd.制造)
[0840]
聚合性化合物102:下述结构的化合物
[0841]
[化学式79]
[0842][0843]
树脂101:下述结构的树脂(重均分子量11000、附注于主链的数值为摩尔比。)
[0844]
[化学式80]
[0845][0846]
光聚合引发剂101:irgacure oxe01(basf公司制造)
[0847]
表面活性剂101:下述结构的化合物(重均分子量14000、表示重复单元的比例的%的数值为摩尔%)的1质量%pgmea溶液。
[0848]
[化学式81]
[0849]
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