技术特征：
1.一种抛光材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将聚丙烯腈溶液与有机硅烷混合，得到混合浆料；向所述混合浆料中加入助剂，混合均匀，得到混合物；以及将所述混合物梯度加热处理，获取所述抛光材料。2.根据权利要求1所述的一种抛光材料的制备方法，其特征在于，所述梯度加热处理的步骤包括：将所述混合物从室温升温加热至第一预设温度，并保持预设时间。3.根据权利要求2所述的一种抛光材料的制备方法，其特征在于，所述混合物从室温升温加热至所述第一预设温度的升温速率为1℃/min-3℃/min。4.根据权利要求2所述的一种抛光材料的制备方法，其特征在于，所述梯度加热处理的步骤包括：将所述混合物从所述第一预设温度升温加热至第二预设温度，并保持预设时间，且所述第一预设温度至所述第二预设温度的升温速率为2℃/min-4℃/min。5.根据权利要求4所述的一种抛光材料的制备方法，其特征在于，所述梯度加热处理的步骤还包括：将所述混合物从所述第二预设温度升温加热至第三预设温度，并保持预设时间。6.根据权利要求1所述的一种抛光材料的制备方法，其特征在于，所述抛光材料的尺寸为0.1μm-1μm。7.根据权利要求1所述的一种抛光材料的制备方法，其特征在于，所述聚丙烯腈溶液包括聚丙烯腈/二甲基甲酰胺、聚丙烯腈/碳酸丙烯、聚丙烯腈/二甲基亚砜、聚丙烯腈/四氢呋喃或聚丙烯腈/二甲基乙酰胺中的任意一种。8.根据权利要求1所述的一种碳抛光材料制备方法，其特征在于，所述有机硅烷包括聚碳硅烷、聚硅氧烷、全氢聚碳硅烷或聚硅烷中的任意一种或几种。9.根据权利要求1所述的一种抛光材料的制备方法，其特征在于，所述有机硅烷的数均分子量为1000-1100。10.一种抛光垫，其特征在于，包括以权利要求1-9中任一所述的制备方法获得的所述抛光材料。
技术总结
本发明提出了一种抛光材料的制备方法及应用，所述制备方法至少包括以下步骤：将聚丙烯腈溶液与有机硅烷混合，得到混合浆料；向所述混合浆料中加入助剂，混合均匀，得到混合物；以及将所述混合物梯度加热处理，获取所述抛光材料。本发明提供的一种抛光材料的制备方法及应用，能有效提高衬底片的抛光质量。能有效提高衬底片的抛光质量。能有效提高衬底片的抛光质量。
技术研发人员：陈豆 李梦佳 马远 潘尧波
受保护的技术使用者：中电化合物半导体有限公司
技术研发日：2022.08.08
技术公布日：2022/11/8