双轴平动自传感超分辨率成像平台及方法与流程

本发明涉及压电精密成像技术领域，具体涉及一种双轴平动自传感超分辨率成像平台、作动方法及微位移传感测量方法。

背景技术：

随着近年来科学技术的快速发展和航天应用需求的不断提升，空间相机调节机构已成为构成高精度成像系统的关键技术。由于卫星平台的镜头自身光学衍射极限的限制及微振动干扰，极限分辨率导致的成像模糊，像质退化，严重影响图像品质。对于空间相机，采取快速主动调整相机指向机构位置措施可以增大相机视野，实现超分辨率成像并获取各种信息和图像。

目前已有的压电双轴平动台虽然重量轻、响应快和作动精度高，但由于通光口径较小，线位移作动行程不大且平台传感单元未独立，限制了其应用范围。

技术实现要素：

为了克服上述现有技术的不足，本发明目的在于提供一种双轴平动自传感超分辨率成像平台、作动方法及微位移传感测量方法,该双轴平动台基于压电材料驱动，在具有结构紧凑、响应快、高作动精度等特点的同时，还能提供大通光口径，增大位移行程，实现双轴位移独立自传感测量。

为了达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种双轴平动自传感超分辨率成像平台，从上至下包括通光顶盖1、平动自传感部件3和底座4，位于通光顶盖1四角的四个安装孔与平动自传感部件3四角安装孔通过螺钉相连接；平动自传感部件3包括中部的通光孔以及设置在通光孔周围的输入单元、输出单元和传感单元；所述输出单元包括位于y负半轴上的第一“h”型解耦导向机构、位于x负半轴上的第二“h”型解耦导向机构、位于y正半轴上的第三“h”型解耦导向机构和位于x正半轴上的第四“h”型解耦导向机构；所述输入单元包括位于第一“h”型解耦导向机构和第四“h”型解耦导向机构间的第一驱动装置、位于第一“h”型解耦导向机构和第二“h”型解耦导向机构间的第二驱动装置、位于第二“h”型解耦导向机构和第三“h”型解耦导向机构间的第三驱动装置以及位于第三“h”型解耦导向机构和第四“h”型解耦导向机构间的第四驱动装置，相邻的驱动装置间夹角为90°；

所述第一驱动装置包括第一驱动压电堆2-1通过预压安装在平动自传感部件3中的第一菱形环3-1内，第一菱形环3-1靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第一内侧凸台4-1相固结；第一菱形环3-1远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第一菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第一杠杆3-3相连接；一对关于第一菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第一固定支点块3-2靠四颗螺钉与底座4上的第一外侧凸台4-2相固结，同时第一固定支点块3-2通过两个柔性铰链分别与一对第一杠杆3-3相连接；一对关于第一菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第一连接直杆3-4靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“v”型凸台通过一对柔性铰链相连接，远离通光孔端与一对第一杠杆3-3通过一对柔性铰链相连接；同样的，第二驱动装置包括第二驱动压电堆2-2通过预压安装在平动自传感部件3中的第二菱形环3-1内，第二菱形环3-1靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第二内侧凸台4-5相固结；第二菱形环3-1远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第二菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第二杠杆3-11相连接；一对关于第二菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第二固定支点块3-10靠四颗螺钉与底座4上的第二外侧凸台4-4相固结，同时第二固定支点块3-10通过两个柔性铰链分别与一对第二杠杆3-11相连接；一对关于第二菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第二连接直杆3-12靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“v”型凸台通过一对柔性铰链相连接，远离通光孔端与一对第二杠杆3-11通过一对柔性铰链相连接；同样的，第三驱动装置包括第三驱动压电堆2-3通过预压安装在平动自传感部件3中的第三菱形环3-17内，第三菱形环3-17靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第三内侧凸台4-8相固结；第三菱形环3-17远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第三菱形环3-17短轴对角线镜像对称的第三杠杆3-19相连接；一对关于第三菱形环3-17短轴对角线镜像对称的第三固定支点块3-18靠四颗螺钉与底座4上的第三外侧凸台4-7相固结，同时第三固定支点块3-18通过两个柔性铰链分别与一对第三杠杆3-19相连接；一对关于第三菱形环3-17短轴对角线镜像对称的第三连接直杆3-20靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“v”型凸台通过一对柔性铰链相连接，远离通光孔端与一对第三杠杆3-19通过一对柔性铰链相连接；同样的，第四驱动装置包括第四驱动压电堆2-4通过预压安装在平动自传感部件3中的第四菱形环3-25内，第四菱形环3-25靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第四内侧凸台4-11相固结；第四菱形环3-25远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第四菱形环3-25短轴对角线镜像对称的第四杠杆3-27相连接；一对关于第四菱形环3-25短轴对角线镜像对称的第四固定支点块3-26靠四颗螺钉与底座4上的第四外侧凸台4-10相固结，同时第四固定支点块3-26通过两个柔性铰链分别与一对第四杠杆3-27相连接；一对关于第四菱形环3-25短轴对角线镜像对称的第四连接直杆3-28靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“v”型凸台通过一对柔性铰链相连接，远离通光孔端与一对第四杠杆3-27通过一对柔性铰链相连接；

所述位于y负半轴上的第一“h”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第一“t”型凸台3-7，第一“t”型凸台3-7短边通过第一四段柔性梁3-8与外部“п”形框连接；同理，位于x负半轴上的第二“h”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第二“t”型凸台3-15，第二“t”型凸台3-15短边与通过第二四段柔性梁3-16与外部“п”形框连接；位于y正半轴上的第三“h”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第三“t”型凸台3-23，第三“t”型凸台3-23短边与通过第三四段柔性梁3-24与外部“п”形框连接；位于x正半轴上的第四“h”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第四“t”型凸台3-31，第四“t”型凸台3-31短边与通过第四四段柔性梁3-32与外部“п”形框连接；

所述传感单元包括第一传感装置、第二传感装置、第三传感装置和第四传感装置；所述第一传感装置包括一对平行于x轴的第一柔性悬臂梁3-6的始端分别与第一固定支撑角3-5和第二固定支撑角3-13固定连接，第一柔性悬臂梁3-6的末端固定连接于第一“h”型解耦导向机构，第一柔性悬臂梁3-6靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片，接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路；同理，第二传感装置包括一对平行于y轴的第二柔性悬臂梁3-14的始端分别与第二固定支撑角3-13和第三固定支撑角3-21固定连接，第二柔性悬臂梁3-14的末端固定连接于第二“h”型解耦导向机构，第二柔性悬臂梁3-14靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片，接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路；第三传感装置包括一对平行于x轴的第三柔性悬臂梁3-22的始端分别与第三固定支撑角3-21和第四固定支撑角3-29固定连接，第三柔性悬臂梁3-22的末端固定连接于第三“h”型解耦导向机构，第三柔性悬臂梁3-22靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片，接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路；第四传感装置包括一对平行于y轴的第四柔性悬臂梁3-30的始端分别与第四固定支撑角3-29和第一固定支撑角3-5固定连接，第四柔性悬臂梁3-30的末端固定连接于第四“h”型解耦导向机构，第四柔性悬臂梁3-30靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片，接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路。

所述底座4上设置有支撑单元，支撑单元包括第一支撑解耦虎克铰4-3、第二支撑解耦虎克铰4-6、第三支撑解耦虎克铰4-9和第四支撑解耦虎克铰4-12，第一支撑解耦虎克铰4-3与通光孔延伸出来的“v”型凸台上的第一安装孔3-41配合，第二支撑解耦虎克铰4-6与通光孔延伸出来的“v”型凸台上的第二安装孔3-42配合，第三支撑解耦虎克铰4-9与通光孔延伸出来的“v”型凸台上的第三安装孔3-43配合，第四支撑解耦虎克铰4-12与通光孔延伸出来的“v”型凸台上的第四安装孔3-44配合。

所述第一支撑解耦虎克铰4-3包括一对平行的柔性铰链4-3-1和柔性铰链4-3-2与另一对相互平行的柔性铰链4-3-3和柔性铰链4-3-4，两组铰链分别垂直，实现支撑解耦功能；第二支撑解耦虎克铰4-6、第三支撑解耦虎克铰4-9和第四支撑解耦虎克铰4-12与第一支撑解耦虎克铰4-3的结构相同。

所述的一种双轴平动自传感超分辨率成像平台的作动方法，当第一驱动装置中第一驱动压电堆2-1施加正电压控制信号时，第一驱动压电堆2-1沿轴向伸长，带动第一菱形环3-1沿长轴对角线方向伸长，从而短轴对角线相应缩短，通过柔性铰链连接带动一对第一杠杆3-3分别绕第一固定支点块3-2沿第一菱形环3-1短轴对角线呈镜像转动，带动一对第一连接直杆(3-4)同时实现沿与x正半轴呈45°且与y负半轴也呈45°的离心运动；同理，当第四驱动装置中第四驱动压电堆2-4施加正电压控制信号时，第四驱动压电堆2-4沿轴向伸长，带动第四菱形环3-25沿长轴对角线方向伸长，从而短轴对角线相应缩短，通过柔性铰链连接带动一对第四杠杆3-27分别绕第四固定支点块3-26沿第四菱形环3-25短轴对角线呈镜像转动，带动一对第四连接直杆3-28同时实现沿与x正半轴呈45°且与y正半轴也呈45°的离心运动；相反，当第二驱动装置中第二驱动压电堆2-2施加相反负电压控制信号时，第二驱动压电堆2-2沿轴向收缩，带动第二菱形环3-9沿长轴对角线方向缩短，从而短轴对角线相应伸长，通过柔性铰链连接带动一对第二杠杆3-11分别绕第二固定支点块3-10沿第二菱形环3-9短轴对角线呈镜像转动，带动一对第二连接直杆3-12同时实现沿与x负半轴呈45°且与y负半轴也呈45°的向心运动；当第三驱动装置中第三驱动压电堆2-3施加负电压控制信号时，第三驱动压电堆2-3沿轴向收缩，带动第三菱形环3-17沿长轴对角线方向缩短，从而短轴对角线相应伸长，通过柔性铰链连接带动一对第三杠杆3-19分别绕第三固定支点块3-18沿第三菱形环3-17短轴对角线呈镜像转动，带动一对第三连接直杆3-20同时实现沿与x负半轴呈45°且与y正半轴也呈45°的向心运动；第一驱动装置和第四驱动装置共同作用，实现沿y方向运动相互抵消，沿x正向运动叠加合成，构成一组对通光孔的驱动拉力；第二驱动装置和第三驱动装置共同作用，实现沿y方向运动相互抵消，沿x正向运动叠加合成，构成一组对通光孔的驱动推力，四组驱动装置共同作用，实现通光孔沿x正向运动；所述通光孔沿y正向运动基于类似的控制方法，对第一驱动压电堆2-1和第二驱动压电堆2-2施加负电压控制信号，第三驱动压电堆2-3和第四驱动压电堆2-4施加正电压控制信号时，四组驱动装置共同作用，实现通光孔沿y正向运动。

所述的一种双轴平动自传感超分辨率成像平台的微位移传感测量方法，当第一驱动压电堆2-1和第四驱动压电堆2-4施加正电压控制信号，第二驱动压电堆2-2和第三驱动压电堆2-3施加负电压控制信号时，通光孔沿x正向运动，带动第二h”型解耦导向机构和第四“h”型解耦导向机构沿x正向运动，由于第二传感装置中第二“h”型解耦导向机构与一对平行于x轴的第二柔性悬臂梁3-14末端相连，第四传感装置中第四“h”型解耦导向机构与一对平行于x轴的第四柔性悬臂梁3-30末端相连，当第二h”型解耦导向机构和第四“h”型解耦导向机构沿x正向运动带动时，第二柔性悬臂梁3-14和第四柔性悬臂梁3-30在末端产生沿x正向的挠度，同时在第二柔性悬臂梁3-14和第四柔性悬臂梁3-30分别靠近对应固定支撑角根部产生大的应变；此时，贴在第二柔性悬臂梁3-14和第四柔性悬臂梁3-30靠近始端根部附近的电阻应变片会产生应变，且根部产生的应变与相应端部产生的挠度成线性关系；因此，通过测量第二柔性悬臂梁3-14和第四柔性悬臂梁3-30的根部应变信息就能够计算相应的挠度，从而得到通光孔沿x正向微位移；所述通光孔沿y向微位移测量原理与通光孔沿x向微位移测量原理相同；从而实现以应变反馈方式传感测量出平台微位移的功能。

与现有技术相比较，本发明具有如下优点：

1)、双轴平动台输入单元和输出单元分离，机构通过构建悬臂梁结构，增加系统刚度，提高平动响应频率的同时实现机构自传感功能，避免了其它昂贵传感装置的复杂安装。

2)、输入单元通过菱形环和杠杆结构串联实现位移两级放大；双轴平动台输入单元与输出单元呈“米”字形排布，结构空间更加紧凑，且驱动单元沿平台对角线交叉排布使平台沿双主轴向有效行程增大，实现大通光口径相机超分辨率成像。

3)、平台采用了柔性铰链支撑和传动结构，柔性铰链利用弹性材料微小变形及其自回复的特性，消除了传动过程中的空程和机械摩擦，使机构具有位移分辨率高等特点。

附图说明

图1为本发明装置三维爆炸图。

图2为本发明装置平动自传感部件正视图。

图3为本发明装置应变片传感位置图。

图4为本发明装置底座三维图。

图5为本发明装置支撑解耦虎克铰三维图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

如图1、图2和图4所示，本发明一种双轴平动自传感超分辨率成像平台，

从上至下包括通光顶盖1、平动自传感部件3和底座4，位于通光顶盖1四角的四个安装孔与平动自传感部件3四角安装孔通过螺钉相连接；平动自传感部件3包括中部的通光孔以及设置在通光孔周围的输入单元、输出单元和传感单元；所述输出单元包括位于y负半轴上的第一“h”型解耦导向机构、位于x负半轴上的第二“h”型解耦导向机构、位于y正半轴上的第三“h”型解耦导向机构和位于x正半轴上的第四“h”型解耦导向机构；所述输入单元包括位于第一“h”型解耦导向机构和第四“h”型解耦导向机构间的第一驱动装置、位于第一“h”型解耦导向机构和第二“h”型解耦导向机构间的第二驱动装置、位于第二“h”型解耦导向机构和第三“h”型解耦导向机构间的第三驱动装置以及位于第三“h”型解耦导向机构和第四“h”型解耦导向机构间的第四驱动装置，相邻的驱动装置间夹角为90°；第一驱动装置包括第一驱动压电堆2-1通过预压安装在平动自传感部件3中的第一菱形环3-1内，第一菱形环3-1靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第一内侧凸台4-1相固结；第一菱形环3-1远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第一菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第一杠杆3-3相连接；一对关于第一菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第一固定支点块3-2靠四颗螺钉与底座4上的第一外侧凸台4-2相固结，同时第一固定支点块3-2通过两个柔性铰链分别与一对第一杠杆3-3相连接；一对关于第一菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第一连接直杆3-4靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“v”型凸台通过一对柔性铰链相连接，远离通光孔端与一对第一杠杆3-3通过一对柔性铰链相连接；同样的，第二驱动装置包括第二驱动压电堆2-2通过预压安装在平动自传感部件3中的第二菱形环3-1内，第二菱形环3-1靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第二内侧凸台4-5相固结；第二菱形环3-1远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第二菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第二杠杆3-11相连接；一对关于第二菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第二固定支点块3-10靠四颗螺钉与底座4上的第二外侧凸台4-4相固结，同时第二固定支点块3-10通过两个柔性铰链分别与一对第二杠杆3-11相连接；一对关于第二菱形环3-1短轴对角线镜像对称的第二连接直杆3-12靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“v”型凸台通过一对柔性铰链相连接，远离通光孔端与一对第二杠杆3-11通过一对柔性铰链相连接；同样的，第三驱动装置包括第三驱动压电堆2-3通过预压安装在平动自传感部件3中的第三菱形环3-17内，第三菱形环3-17靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第三内侧凸台4-8相固结；第三菱形环3-17远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第三菱形环3-17短轴对角线镜像对称的第三杠杆3-19相连接；一对关于第三菱形环3-17短轴对角线镜像对称的第三固定支点块3-18靠四颗螺钉与底座4上的第三外侧凸台4-7相固结，同时第三固定支点块3-18通过两个柔性铰链分别与一对第三杠杆3-19相连接；一对关于第三菱形环3-17短轴对角线镜像对称的第三连接直杆3-20靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“v”型凸台通过一对柔性铰链相连接，远离通光孔端与一对第三杠杆3-19通过一对柔性铰链相连接；同样的，第四驱动装置包括第四驱动压电堆2-4通过预压安装在平动自传感部件3中的第四菱形环3-25内，第四菱形环3-25靠近通光孔侧通过螺钉与底座4上的第四内侧凸台4-11相固结；第四菱形环3-25远离通光孔侧通过两个柔性铰链分别与一对关于第四菱形环3-25短轴对角线镜像对称的第四杠杆3-27相连接；一对关于第四菱形环3-25短轴对角线镜像对称的第四固定支点块3-26靠四颗螺钉与底座4上的第四外侧凸台4-10相固结，同时第四固定支点块3-26通过两个柔性铰链分别与一对第四杠杆3-27相连接；一对关于第四菱形环3-25短轴对角线镜像对称的第四连接直杆3-28靠近通光孔端与通光孔延伸出来的“v”型凸台通过一对柔性铰链相连接，远离通光孔端与一对第四杠杆3-27通过一对柔性铰链相连接。。

如图2所示，所述位于y负半轴上的第一“h”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第一“t”型凸台3-7，第一“t”型凸台3-7短边通过第一四段柔性梁3-8与外部“п”形框连接；同理，位于x负半轴上的第二“h”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第二“t”型凸台3-15，第二“t”型凸台3-15短边与通过第二四段柔性梁3-16与外部“п”形框连接；位于y正半轴上的第三“h”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第三“t”型凸台3-23，第三“t”型凸台3-23短边与通过第三四段柔性梁3-24与外部“п”形框连接；位于x正半轴上的第四“h”型解耦导向机构包括与通光孔一体连接的第四“t”型凸台3-31，第四“t”型凸台3-31短边与通过第四四段柔性梁3-32与外部“п”形框连接。

如图2和图3所示，所述传感单元包括第一传感装置、第二传感装置、第三传感装置和第四传感装置；所述第一传感装置包括一对平行于x轴的第一柔性悬臂梁3-6的始端分别与第一固定支撑角3-5和第二固定支撑角3-13固定连接，第一柔性悬臂梁3-6的末端固定连接于第一“h”型解耦导向机构，第一柔性悬臂梁3-6靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片，接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路；同理，第二传感装置包括一对平行于y轴的第二柔性悬臂梁3-14的始端分别与第二固定支撑角3-13和第三固定支撑角3-21固定连接，第二柔性悬臂梁3-14的末端固定连接于第二“h”型解耦导向机构，第二柔性悬臂梁3-14靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片，接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路；第三传感装置包括一对平行于x轴的第三柔性悬臂梁3-22的始端分别与第三固定支撑角3-21和第四固定支撑角3-29固定连接，第三柔性悬臂梁3-22的末端固定连接于第三“h”型解耦导向机构，第三柔性悬臂梁3-22靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片，接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路；第四传感装置包括一对平行于y轴的第四柔性悬臂梁3-30的始端分别与第四固定支撑角3-29和第一固定支撑角3-5固定连接，第四柔性悬臂梁3-30的末端固定连接于第四“h”型解耦导向机构，第四柔性悬臂梁3-30靠近始端根部附近上下表面分别对称贴有两片电阻应变片，接入相应的外部信号处理电路组成两个半桥电路；

如图4所示，所述底座4上设置有支撑单元，支撑单元包括第一支撑解耦虎克铰4-3、第二支撑解耦虎克铰4-6、第三支撑解耦虎克铰4-9和第四支撑解耦虎克铰4-12，第一支撑解耦虎克铰4-3与通光孔延伸出来的“v”型凸台上的第一安装孔3-41配合，第二支撑解耦虎克铰4-6与通光孔延伸出来的“v”型凸台上的第二安装孔3-42配合，第三支撑解耦虎克铰4-9与通光孔延伸出来的“v”型凸台上的第三安装孔3-43配合，第四支撑解耦虎克铰4-12与通光孔延伸出来的“v”型凸台上的第四安装孔3-44配合。

如图5所示，所述第一支撑解耦虎克铰4-3包括一对平行的柔性铰链4-3-1和柔性铰链4-3-2与另一对相互平行的柔性铰链4-3-3和柔性铰链4-3-4，两组铰链分别垂直，实现支撑解耦功能；第二支撑解耦虎克铰4-6、第三支撑解耦虎克铰4-9和第四支撑解耦虎克铰4-12与第一支撑解耦虎克铰4-3的结构相同。

本发明一种双轴平动自传感超分辨率成像平台的作动原理为：工作时，当第一驱动装置中第一驱动压电堆2-1施加正电压控制信号时，第一驱动压电堆2-1沿轴向伸长，带动第一菱形环3-1沿长轴对角线方向伸长，从而短轴对角线相应缩短，通过柔性铰链连接带动一对第一杠杆3-3分别绕第一固定支点块3-2沿第一菱形环3-1短轴对角线呈镜像转动，带动一对第一连接直杆3-4同时实现沿与x正半轴呈45°且与y负半轴也呈45°的离心运动；同理，当第四驱动装置中第四驱动压电堆2-4施加正电压控制信号时，第四驱动压电堆2-4沿轴向伸长，带动第四菱形环3-25沿长轴对角线方向伸长，从而短轴对角线相应缩短，通过柔性铰链连接带动一对第四杠杆3-27分别绕第四固定支点块3-26沿第四菱形环3-25短轴对角线呈镜像转动，带动一对第四连接直杆3-28同时实现沿与x正半轴呈45°且与y正半轴也呈45°的离心运动；相反，当第二驱动装置中第二驱动压电堆2-2施加相反负电压控制信号时，第二驱动压电堆2-2沿轴向收缩，带动第二菱形环3-9沿长轴对角线方向缩短，从而短轴对角线相应伸长，通过柔性铰链连接带动一对第二杠杆3-11分别绕第二固定支点块3-10沿第二菱形环3-9短轴对角线呈镜像转动，带动一对第二连接直杆3-12同时实现沿与x负半轴呈45°且与y负半轴也呈45°的向心运动；当第三驱动装置中第三驱动压电堆2-3施加负电压控制信号时，第三驱动压电堆2-3沿轴向收缩，带动第三菱形环3-17沿长轴对角线方向缩短，从而短轴对角线相应伸长，通过柔性铰链连接带动一对第三杠杆3-19分别绕第三固定支点块3-18沿第三菱形环3-17短轴对角线呈镜像转动，带动一对第三连接直杆3-20同时实现沿与x负半轴呈45°且与y正半轴也呈45°的向心运动；第一驱动装置和第四驱动装置共同作用，实现沿y方向运动相互抵消，沿x正向运动叠加合成，构成一组对通光孔的驱动拉力；第二驱动装置和第三驱动装置共同作用，实现沿y方向运动相互抵消，沿x正向运动叠加合成，构成一组对通光孔的驱动推力，四组驱动装置共同作用，实现通光孔沿x正向运动；所述通光孔沿y正向运动基于类似的控制方法，对第一驱动压电堆2-1和第二驱动压电堆2-2施加负电压控制信号，第三驱动压电堆2-3和第四驱动压电堆2-4施加正电压控制信号时，四组驱动装置共同作用，实现通光孔沿y正向运动。

如图3所示，本发明的一种双轴平动自传感超分辨率成像平台的微位移传感测量原理为：当第一驱动压电堆2-1和第四驱动压电堆2-4施加正电压控制信号，第二驱动压电堆2-2和第三驱动压电堆2-3施加负电压控制信号时，通光孔沿x正向运动，带动第二h”型解耦导向机构和第四“h”型解耦导向机构沿x正向运动，由于第二传感装置中第二“h”型解耦导向机构与一对平行于x轴的第二柔性悬臂梁3-14末端相连，第四传感装置中第四“h”型解耦导向机构与一对平行于x轴的第四柔性悬臂梁3-30末端相连，当第二h”型解耦导向机构和第四“h”型解耦导向机构沿x正向运动带动时，第二柔性悬臂梁3-14和第四柔性悬臂梁3-30在末端产生沿x正向的挠度，同时在柔性悬臂梁靠近固定支撑角根部产生较大的应变；此时，贴在第二柔性悬臂梁3-14和第四柔性悬臂梁3-30根部附近的电阻应变片会产生应变，且根部产生的应变与相应端部产生的挠度成线性关系；因此，通过测量第二柔性悬臂梁3-14和第四柔性悬臂梁3-30的根部应变信息就能够计算相应的挠度δh1和δh2，从而得到通光孔沿x正向微位移所述通光孔沿y向微位移测量原理与通光孔沿x向微位移测量原理相同。

因此通过柔性悬臂梁的设计，实现以应变反馈方式传感测量出平台微位移的功能。